本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)...
2、顆粒增韌顆粒增韌是指用顆粒做增韌劑,添加入ZrO2陶瓷粉體中,盡管效果不及晶須與纖維,但若顆粒種類、粒徑、含量和基體材料選擇得當(dāng),仍有一定的強(qiáng)韌效果。其優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)便易行,增韌的同時(shí)會(huì)帶來(lái)高溫強(qiáng)度和高溫蠕變性能的改善。顆粒增韌的韌化機(jī)理主要有細(xì)化基...
車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手,車床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過(guò)程的完全自動(dòng)化,并采用了集成加工技術(shù),適用于生產(chǎn)線的上下料、工件翻轉(zhuǎn)、工件轉(zhuǎn)序等。在國(guó)內(nèi)的機(jī)械加工, 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式, 這在產(chǎn)品比較單一...
目前,直拉法是生長(zhǎng)晶圓**常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,簡(jiǎn)稱Fz法。1939年,在貝爾實(shí)驗(yàn)室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,后來(lái)在亨利·休勒、丹·多西等人的協(xié)助下,生長(zhǎng)出了高純度的鍺以及硅單晶,并獲...
耐磨陶瓷,選用進(jìn)口氧化鋁作原料以稀有金屬氧化物為熔劑,經(jīng)1700度高溫?zé)Y(jié)而成。具有密度大、硬度高、耐磨損、表面光滑等特點(diǎn)。耐磨性能相當(dāng)于錳鋼的266倍,高鉻鑄鐵的171倍。經(jīng)廣泛應(yīng)用深受廣大用戶好評(píng)。耐磨陶瓷應(yīng)用于礦山選礦部位:一. 選礦廠閉路磨礦循環(huán)的檢查...
它通常有幾個(gè)自由度,用以抓取或移動(dòng)物體(工具或工件)。”所以對(duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng),從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,對(duì)汽車或摩托車車體...
在電子制造行業(yè),微孔陶瓷真空吸盤發(fā)揮著重要作用。隨著電子產(chǎn)品日益小型化和精密化,對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的精度和穩(wěn)定性要求極高。微孔陶瓷真空吸盤以其獨(dú)特的性能成為電子元件組裝和加工的得力工具。例如在芯片制造過(guò)程中,需要將微小的芯片從一個(gè)位置精確地移動(dòng)到另一個(gè)位置進(jìn)行封裝等...
在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域,精密結(jié)構(gòu)陶瓷同樣有著廣泛的應(yīng)用。由于醫(yī)療設(shè)備對(duì)材料的生物相容性、耐腐蝕性和精度要求極高,精密結(jié)構(gòu)陶瓷成為了理想的選擇。例如,在人工關(guān)節(jié)、牙科修復(fù)材料等方面,采用精密結(jié)構(gòu)陶瓷可以提供良好的生物相容性和耐磨性,減少患者的痛苦和并發(fā)癥。此外,精密結(jié)構(gòu)...
耐磨陶瓷內(nèi)襯.弧形氧化鋁耐磨陶瓷襯板具有一定的弧度,主要用于旋流器,也可以根據(jù)具體管道直徑定做各種規(guī)格的弧形襯板,使其完美貼合管道內(nèi)壁。 隨著金礦規(guī)模以及選礦裝備都開始趨向大型化,入選原礦漿粒度、重介質(zhì)懸浮液入口壓力與速度不斷提高,嚴(yán)重影響了旋流器的使用壽命。...
綜上所述,由于氧化鋯陶瓷自身有著諸多***的特點(diǎn),所以近些年來(lái),利用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品也是深受大家的青睞。使用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品,由于其穩(wěn)定性非常好,大家完全可以放心使用。關(guān)鍵詞用氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質(zhì)時(shí)呈黃色或灰色,一般含有HfO2...
半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤(rùn)滑劑的劣化。因此,與配置...
氧化鋯陶瓷是具有獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì),如高硬度,低的熱傳導(dǎo)性,熔點(diǎn)高,抗高溫和腐蝕,化學(xué)惰性和兩性性質(zhì),在電子陶瓷、功能陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷等方面的應(yīng)用迅速發(fā)展。作為特種陶瓷材料在電子、航天、航空和核工業(yè)等高新技術(shù)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而氧化鋯陶瓷材料的致命缺點(diǎn)...
耐磨陶瓷管道性能比較:耐磨陶瓷彎頭能得到市場(chǎng)的青睞并不斷取代一些傳統(tǒng)的防磨材料,根本原因在于其優(yōu)異的產(chǎn)品品質(zhì),以及在與傳統(tǒng)防磨材料,如鑄石、鑄鋼等材料相比所具有的多方面優(yōu)勢(shì)。1、鑄石以前每個(gè)廠的彎頭大部分都是使用鑄石彎頭,這種材料的特點(diǎn)是易碎、開裂...
機(jī)械臂的工作原理: 一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)(如臺(tái)虎鉗)、斜鍥壓緊、 導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)(破碎機(jī)常用)、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)(如抓磚頭的)等等。還有簡(jiǎn)單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購(gòu)買FEST...
傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài),為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測(cè)方面,通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測(cè)量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位...
電子信息產(chǎn)業(yè)也是精密結(jié)構(gòu)陶瓷的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一。隨著電子設(shè)備的不斷小型化、集成化和高性能化,對(duì)材料的要求也越來(lái)越高。精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有良好的絕緣性能、高頻特性和熱穩(wěn)定性,能夠滿足電子元件在高頻、高溫、高功率等條件下的工作要求。例如,在集成電路的封裝材料中,采用陶...
晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的安全性。它采用了多重安全保護(hù)措施,如防止晶圓滑落的吸盤設(shè)計(jì)、防止碰撞的傳感器等,有效地保護(hù)了晶圓的安全。此外,晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂還具有防靜電功能,避免了靜電對(duì)晶圓的損害,保證了產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的靈活性和適應(yīng)性...
(4)致孔劑 加入致孔劑是為了提高陶瓷的氣孔率、擴(kuò)大比表面積。致孔劑主要有天然有機(jī)細(xì)粉、煤粉、石灰石、白云石、燒沸石、珍珠巖、浮石等。一般來(lái)講,增加致孔劑的用量可以提高陶瓷的氣孔率,但是會(huì)引起陶瓷強(qiáng)度下降,因此必須控制致孔劑的添加比例。以石灰石和白云...
二、燒成 氧化鋯在不同溫度下,存在著三種同質(zhì)異形體,即立方晶系、單斜晶系和四方晶系。氧化鋯晶形的轉(zhuǎn)變溫度如下: 由單斜晶系轉(zhuǎn)化為四方晶系時(shí)伴有7%左右的體積變化。加熱時(shí)由單斜一氧化鋯轉(zhuǎn)變?yōu)樗姆揭谎趸啺l(fā)生體積收縮;冷卻時(shí)由四方一氧化鋯轉(zhuǎn)...
四、固化:待耐磨涂層完全固化后(常溫24小時(shí)),即可投入使用。注意事項(xiàng):1、每次配膠不超過(guò)4kg為宜,配好的膠在30min內(nèi)用完,以免膠固化造成浪費(fèi)。2、材料配制時(shí),稱量要準(zhǔn)確,混合要均勻,涂抹時(shí)膠層要壓實(shí)3、溫度低于15度時(shí),涂層固化慢,固化不完...
真空吸盤要求高孔隙率,超微細(xì)孔徑的場(chǎng)合,F(xiàn)ountyl微孔陶瓷正空吸盤,孔大小在30微米到60微米的范圍。微孔陶瓷的結(jié)構(gòu)形狀有很多種,都是由無(wú)數(shù)不同規(guī)格的硅酸鋁瓷質(zhì)顆粒**而成,**時(shí)不同規(guī)則地形成了幾十微米到0.1微米的自由空隙,經(jīng)過(guò)摻入高溫(1500℃)的...
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù): 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,在傳送的過(guò)程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...
氧化鋯陶瓷是具有獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì),如高硬度,低的熱傳導(dǎo)性,熔點(diǎn)高,抗高溫和腐蝕,化學(xué)惰性和兩性性質(zhì),在電子陶瓷、功能陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷等方面的應(yīng)用迅速發(fā)展。作為特種陶瓷材料在電子、航天、航空和核工業(yè)等高新技術(shù)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而氧化鋯陶瓷材料的致命缺點(diǎn)...
綜上所述,由于氧化鋯陶瓷自身有著諸多***的特點(diǎn),所以近些年來(lái),利用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品也是深受大家的青睞。使用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品,由于其穩(wěn)定性非常好,大家完全可以放心使用。關(guān)鍵詞用氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質(zhì)時(shí)呈黃色或灰色,一般含有HfO2...
另一方面,由于離子鍵和其共價(jià)鍵為強(qiáng)結(jié)合鍵,鍵能比較高,低溫對(duì)其影響很小,而且它的振動(dòng)頻率極高,常溫難以對(duì)其構(gòu)成威脅,不會(huì)產(chǎn)生熱震損毀。整體性好。由于耐磨可塑料采取了雙重補(bǔ)強(qiáng)措施,有的甚至采取了多種補(bǔ)強(qiáng)措施,有效地改善了材料性能,使其體積穩(wěn)定,不可能產(chǎn)生裂縫,因...
氧化鋁耐磨陶瓷襯片是以Al2O3為主要原料,以稀有金屬氧化物為熔劑,經(jīng)一千七百度高溫焙燒而成的特種剛玉陶瓷。 Al2O3陶瓷襯片:氧化鋁含量高,結(jié)構(gòu)比較致密,具有特殊的性能,故稱為特種陶瓷。Al2O3陶瓷材料是以氧離子構(gòu)成的密排六方結(jié)構(gòu),而鋁離子填充于三分之二...
(6)分散劑 為了提高漿料的固含量,無(wú)論是水基體系還是非水基體系均需加入分散劑。分散劑可以提高漿料的穩(wěn)定性,阻止顆粒再團(tuán)聚,進(jìn)而提高漿料的固含量。 (7)消泡劑和表面活性劑 為了防止?jié){料在浸漬和擠出多余漿料的過(guò)程中起泡而影響制品的性能,需...
5.高溫氣體過(guò)濾高溫?zé)煔獾某龎m、高溫煤氣的凈化等高溫氣體的過(guò)濾都必須使用耐高溫的多孔陶瓷。6.醫(yī)藥工業(yè)食品工業(yè)過(guò)濾多孔陶瓷由于具有耐高溫、耐腐蝕和良好的生物、化學(xué)相容性,因而可用于醫(yī)藥工業(yè)中的疫苗、酶、***、核酸、蛋白質(zhì)等生理活性物質(zhì)的濃縮、分離...
年來(lái)全球硅晶圓供給不足,導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開始籌備,期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴,并有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,硅晶圓的制造可...
D、加壓速度和保壓時(shí)間加壓速度和保壓時(shí)間控制不好也會(huì)造成氧化鋯坯體出現(xiàn)分層等缺點(diǎn)。壓模下落的速度應(yīng)緩慢一些,如加壓速度過(guò)快,則坯體中氣體不易排出,從而導(dǎo)致坯體出現(xiàn)分層,表面致密而中間松散,以及存在氣泡等現(xiàn)象。如保壓時(shí)間過(guò)短,則壓力還未傳到應(yīng)有的深度...