輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個以上的自由度。這種機(jī)械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地，上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前...

前驅(qū)體法優(yōu)點是：產(chǎn)物尺寸均一，品質(zhì)好。缺點是：前驅(qū)體的處理比較繁瑣，無法進(jìn)行連續(xù)生產(chǎn)。6、模板誘導(dǎo)-水熱法模板誘導(dǎo)-水熱法是將模板法和水熱法結(jié)合起來，以硫酸鋁為前驅(qū)體加入模板劑制備了薄水鋁石陶瓷，并經(jīng)1200℃煅燒制得了α-Al2O3陶瓷。模板劑加...

為了解決使用機(jī)器語言編寫應(yīng)用程序所帶來的一系列問題，人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機(jī)器指令。這種助記符號來表示計算機(jī)指令的語言稱為符號語言，也稱匯編語言。在匯編語言中，每一條用符號來表示的匯編指令與計算機(jī)機(jī)器指令一一對應(yīng)；記憶難度**減少了，不僅...

半導(dǎo)體晶圓有時在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此，機(jī)械手有時輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸，則手部的溫度上升，并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此，安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此，與配置...

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸...

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸...

它通常有幾個自由度，用以抓取或移動物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進(jìn)行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體...

吸盤類型：微孔陶瓷。 主要特點：平面度、平行度好，組織致密均勻、強(qiáng)度高、通透性好、吸附力均勻。 我廠位于享譽(yù)中國科技前沿重鎮(zhèn)的珠三角，有10多年專業(yè)生產(chǎn)加工氧化鋁、氧化鋯、氮化硅、碳化硅陶瓷生產(chǎn)加工經(jīng)驗。技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良，加工經(jīng)驗豐富。現(xiàn)...

氧化鋁耐磨陶瓷襯在礦渣微粉生產(chǎn)線的網(wǎng)管里，微粉比表面積為420～450m2,濃度在350g/Nm3,速度在28～30m/s,沖刷角度為30℃的情況下，20mm的耐磨陶瓷襯片可以使用8～10年。生料磨和熟料磨粉磨的物料比礦渣容易磨，相同厚度的耐磨陶瓷襯片，使用壽...

高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用***用于平坦，無孔...

整個蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個電機(jī)實現(xiàn)運(yùn)動控制。2臺直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個機(jī)械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少，但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求...

耐磨陶瓷片具有耐磨損失小，強(qiáng)度高、形狀可控制、整體性強(qiáng)、施工簡單、施工性能好，對于有耐磨要求的施工部位起到了很好的保護(hù)作用。隨著水泥工業(yè)新型干法生產(chǎn)，設(shè)備大型化的發(fā)展，對耐磨陶瓷片提出了新的要求。設(shè)備大型化引進(jìn)的新設(shè)備需要內(nèi)在質(zhì)量好、使用可靠，外觀質(zhì)量優(yōu)良的耐...

2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機(jī)械振動等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐...

為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸，有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了...

水熱－熱靜壓工藝 該工藝通過水作為壓力傳遞介質(zhì)制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為：硅凝膠和10%(質(zhì)量百分?jǐn)?shù))的水混合，置于高壓釜中(壓力10—15MPa，溫度300℃)，通過水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱－熱靜壓工藝中，反應(yīng)時間一般為10—1...

區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高，化學(xué)性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的...

耐磨陶瓷片具有耐磨損失小，強(qiáng)度高、形狀可控制、整體性強(qiáng)、施工簡單、施工性能好，對于有耐磨要求的施工部位起到了很好的保護(hù)作用。隨著水泥工業(yè)新型干法生產(chǎn)，設(shè)備大型化的發(fā)展，對耐磨陶瓷片提出了新的要求。設(shè)備大型化引進(jìn)的新設(shè)備需要內(nèi)在質(zhì)量好、使用可靠，外觀質(zhì)量優(yōu)良的耐...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨特的優(yōu)勢。以下是其中的三個主要方面：1.高耐久性：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因為陶瓷材料的硬度高，化學(xué)穩(wěn)定性好，抗腐蝕性能強(qiáng)。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...

接下來是單晶硅生長，最常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時又不會產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要控制晶體...

***，氧化鋯陶瓷能夠直接燒成的平面度是非常好的，所以很多后膜集成電路，制冷器以及臭氧發(fā)生器等都是由氧化鋯陶瓷加工而成的，可以說這種陶瓷材質(zhì)制作而成的產(chǎn)品比其他材質(zhì)更具優(yōu)勢。第二，采用注射成型技術(shù)，通過良好的收縮比控制，再加上后期的加工，氧化鋯陶瓷...

氧化鋁陶瓷有較好的傳導(dǎo)性、機(jī)械強(qiáng)度和耐高溫性。需要注意的是需用超聲波進(jìn)行洗滌。氧化鋁陶瓷是一種用途***的陶瓷，因為其優(yōu)越的性能，在現(xiàn)代社會的應(yīng)用已經(jīng)越來越***，滿足于日用和特殊性能的需要氧化鋁陶瓷分為高純型與普通型兩種。普通型氧化鋁陶瓷系按Al...

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法 【技術(shù)領(lǐng)域】 [0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域。 【背景技術(shù)】 [0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非?？?，因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機(jī)...

氧化鋯以其優(yōu)異的高溫物理和力學(xué)性能而得到廣泛應(yīng)用，尤其被用于苛刻條件下使用的關(guān)鍵部件。由于氧化鋯的導(dǎo)熱性能低、熱膨脹系數(shù)大，因此氧化鋯制品的熱穩(wěn)定性較差。但采用部分穩(wěn)定氧化鋯原料制得的制品晶型組成的氧化鋯原料制得的陶瓷制品的熱穩(wěn)定性比較好。因此制造...

生物工程材料在傳統(tǒng)生物陶瓷基礎(chǔ)上研究開發(fā)的多孔生物陶瓷，由于生物相容性好，理化性能穩(wěn)定，***副作用的特點而被用于制作生物材料。當(dāng)用于修補(bǔ)骨缺損部位時，新生物將逐漸進(jìn)入多孔陶瓷珊瑚狀孔隙內(nèi)，慢慢將多孔陶瓷吸收，最終，這種多孔陶瓷將由新生骨制質(zhì)取代。...

氧化鋯以其優(yōu)異的高溫物理和力學(xué)性能而得到廣泛應(yīng)用，尤其被用于苛刻條件下使用的關(guān)鍵部件。由于氧化鋯的導(dǎo)熱性能低、熱膨脹系數(shù)大，因此氧化鋯制品的熱穩(wěn)定性較差。但采用部分穩(wěn)定氧化鋯原料制得的制品晶型組成的氧化鋯原料制得的陶瓷制品的熱穩(wěn)定性比較好。因此制造...

陶瓷耐磨彎頭性能： 1、由于陶瓷耐磨彎頭內(nèi)表面光滑、且永不銹蝕，也不象無縫鋼管內(nèi)表面有凸?fàn)盥菪€存在。經(jīng)有關(guān)檢測單位對內(nèi)表面粗糙度，及清水阻力特性測試，其內(nèi)表面光滑度優(yōu)于任何金屬管道，清阻力系數(shù)為0.0193，比無縫管稍低。因此該管具有運(yùn)行阻力小等特點，可減少...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨特的優(yōu)勢。首先，它們具有高熱導(dǎo)率和低熱膨脹系數(shù)，這使得它們在高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定的性能，并且對熱沖擊的抵抗力更強(qiáng)。其次，精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有高硬度和良好的耐磨性能。它們比金屬更耐腐蝕，因此適用于各種嚴(yán)苛的環(huán)境。再者，精密結(jié)構(gòu)陶瓷的電絕緣性能優(yōu)越...

為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸，有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了...

真空吸盤要求高孔隙率，超微細(xì)孔徑的場合，F(xiàn)ountyl微孔陶瓷正空吸盤，孔大小在30微米到60微米的范圍。微孔陶瓷的結(jié)構(gòu)形狀有很多種，都是由無數(shù)不同規(guī)格的硅酸鋁瓷質(zhì)顆粒集合而成，集合時不同規(guī)則地形成了幾十微米到0.1微米的自由空隙，經(jīng)過摻入高溫（１5００℃）的...