整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制。2臺直驅(qū)電機負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺直流電機負(fù)責(zé)整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少，但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨特的優(yōu)勢。以下是其中的三個主要方面：1.高耐久性：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因為陶瓷材料的硬度高，化學(xué)穩(wěn)定性好，抗腐蝕性能強。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...

進行光刻： 將設(shè)計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過...

四、固化:待耐磨涂層完全固化后(常溫24小時),即可投入使用。注意事項:1、每次配膠不超過4kg為宜,配好的膠在30min內(nèi)用完,以免膠固化造成浪費。2、材料配制時,稱量要準(zhǔn)確,混合要均勻,涂抹時膠層要壓實3、溫度低于15度時,涂層固化慢,固化不完...

它通常有幾個自由度，用以抓取或移動物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體...

氧化鋯陶瓷是具有獨特的物理和化學(xué)性質(zhì)，如高硬度，低的熱傳導(dǎo)性，熔點高，抗高溫和腐蝕，化學(xué)惰性和兩性性質(zhì)，在電子陶瓷、功能陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷等方面的應(yīng)用迅速發(fā)展。作為特種陶瓷材料在電子、航天、航空和核工業(yè)等高新技術(shù)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而氧化鋯陶瓷材料的致命缺點...

隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展，我們越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機器人代替人工作業(yè)，那么我們來說說工業(yè)機器人如六軸機器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器，六軸機器人的六個軸，每個軸都是一個電機配備減速機來傳動，各個軸的運動...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)...

**耐磨陶瓷料現(xiàn)在大家對環(huán)保越來越重視了低碳綠色已經(jīng)成為世界發(fā)展的首要趨勢，隨著人們生活水平和經(jīng)濟水平的不時提高。社會各界人士也將綠色低碳轉(zhuǎn)化為自己的一種生活態(tài)度。耐磨行業(yè)也不甘落后，刮起這股清新之風(fēng)，綠色之風(fēng)將會帶動整個行業(yè)的科技創(chuàng)新邁向一個全新的領(lǐng)域，上升...

微孔陶瓷真空吸盤的特點： 高吸附力：微孔陶瓷真空吸盤通過大量微孔的設(shè)計，能夠提供強大的吸附力，確保工件牢固地固定在吸盤表面，不易脫落。耐用性強：陶瓷材料具有高溫耐性、耐磨性和耐腐蝕性等特點，能夠在惡劣的工作環(huán)境下長時間穩(wěn)定工作。準(zhǔn)確度高：微孔陶瓷真空...

6.按照涂料實際需要量，領(lǐng)出所需涂料及相關(guān)產(chǎn)品，并運抵現(xiàn)場。7.現(xiàn)場清點涂料的數(shù)量，要注意，多組分涂料的每個組份要按套相互對應(yīng)，不能出現(xiàn)有一個組份缺少或多出的情況。2.現(xiàn)場產(chǎn)品質(zhì)量的確認(rèn)，1.確認(rèn)產(chǎn)品包裝完好，沒有因運輸過程導(dǎo)致的灑、漏及包裝嚴(yán)重變形等情況。2...

在航空航天領(lǐng)域，精密結(jié)構(gòu)陶瓷展現(xiàn)出了非凡的實力。由于航空航天器在飛行過程中會面臨高溫、高壓、高速等極端條件，傳統(tǒng)材料往往難以滿足要求。而精密結(jié)構(gòu)陶瓷以其出色的耐高溫性能，能夠承受數(shù)千度的高溫而不熔化、不軟化。例如，在航空發(fā)動機的熱端部件中，采用精密結(jié)構(gòu)陶瓷材料...

3、等靜壓成型 對形狀特殊和尺寸大的氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷，需采用等靜壓成型。等靜壓成型的坯體由于各方向所受壓力均勻相等，且壓力大，因此成型后的坯體密度高，均勻性好，燒成收縮小，不易變形、開裂、分層。該成型方法可避免干壓時易出現(xiàn)的分層，特別是成型較厚的氧化鋯...

(7)堇青石、鈦酸鋁材料，其特點是熱膨脹系數(shù)小，因而***用于熱沖擊環(huán)境。添加劑(1)助熔劑陶瓷助熔劑的主要作用是降低燒成溫度，增加液相，擴大燒成范圍，提高坯體的力學(xué)強度和化學(xué)穩(wěn)定性。常用的助熔劑有長石、珍珠巖、滑石、蛇紋石、硅灰石、石灰石、白云石...

6)自適應(yīng)控制。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設(shè)計。控制器的設(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和...

吸音材料多孔陶瓷具有連通開氣孔，當(dāng)聲波傳入時，在很小的氣孔內(nèi)受力振蕩。振動受到的摩擦和阻礙，使聲波傳播受到***，導(dǎo)致聲音衰減，從而起到吸音的作用。是一種消除噪聲公害，益于人們身心健康的好材料。作為吸音材料的多孔陶瓷要求較小的孔徑(20～150/u...

為圓柱的單晶硅晶錠更便于運輸，有效的避免了在運輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

氧化鋯陶瓷是具有獨特的物理和化學(xué)性質(zhì)，如高硬度，低的熱傳導(dǎo)性，熔點高，抗高溫和腐蝕，化學(xué)惰性和兩性性質(zhì)，在電子陶瓷、功能陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷等方面的應(yīng)用迅速發(fā)展。作為特種陶瓷材料在電子、航天、航空和核工業(yè)等高新技術(shù)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而氧化鋯陶瓷材料的致命缺點...

場景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán)，場景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實際的應(yīng)用場景，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中，這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。 機械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢？它的應(yīng)用特點十分明顯，主要代替人工從...

與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確，有著很多潛在的優(yōu)點，在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件...

離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽離子與銨鹽陽離子將自發(fā)地進行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結(jié)構(gòu)會因銨鹽的引入而發(fā)生彎曲變形,彎曲的片層之間發(fā)生縮聚,將有機物包圍在片層當(dāng)中,經(jīng)高溫?zé)Y(jié)除去有機物,...

2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機械振動等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐...

(4)致孔劑 加入致孔劑是為了提高陶瓷的氣孔率、擴大比表面積。致孔劑主要有天然有機細(xì)粉、煤粉、石灰石、白云石、燒沸石、珍珠巖、浮石等。一般來講，增加致孔劑的用量可以提高陶瓷的氣孔率，但是會引起陶瓷強度下降，因此必須控制致孔劑的添加比例。以石灰石和白云...

有機泡沫浸漬工藝 有機泡沫浸漬法是用有機泡沫浸漬陶瓷漿料，干燥后燒掉有機泡沫，獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。 溶膠－凝膠工藝 溶膠- 凝膠工藝主...

晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械...

可選地，所述托板包括： 主板； 排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接； 所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。 ...

材質(zhì) (1)高硅質(zhì)硅酸鹽材料，它主要以硬質(zhì)瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷顆粒為骨料，具有耐水性、耐酸性，使用溫度達700℃。 (2)鋁硅酸鹽材料，它以耐火粘土熟料、燒礬土、硅線石和合成莫來石顆粒為骨料。具有耐酸性和耐弱堿性，使用溫度達1 ...

(6)分散劑 為了提高漿料的固含量，無論是水基體系還是非水基體系均需加入分散劑。分散劑可以提高漿料的穩(wěn)定性，阻止顆粒再團聚，進而提高漿料的固含量。 (7)消泡劑和表面活性劑 為了防止?jié){料在浸漬和擠出多余漿料的過程中起泡而影響制品的性能，需...