目前,基于SOI(絕緣體上硅)材料的波導(dǎo)調(diào)制器成為當(dāng)前的研究熱點(diǎn),也取得了許多的進(jìn)展,但在硅光芯片調(diào)制器的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中,面臨著一系列的問題,波導(dǎo)芯片與光纖的有效耦合就是難題之一。從懸臂型耦合結(jié)構(gòu)出發(fā),模擬設(shè)計(jì)了懸臂型倒錐耦合結(jié)構(gòu),通過開發(fā)相應(yīng)的有效地耦合工藝來...
首先我們要了解光學(xué)平臺的的類型,光學(xué)平臺,又稱光學(xué)面包板、光學(xué)桌面、科學(xué)桌面、實(shí)驗(yàn)平臺,供水平、穩(wěn)定的臺面,一般平臺都需要進(jìn)行隔震等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學(xué)實(shí)驗(yàn)正常進(jìn)行。有主動與被動兩大類,而被動又有橡膠與氣浮兩大類。 ...
半導(dǎo)體測試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié),其測試設(shè)備包括測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺。其中,測試機(jī)是檢測芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備,分選機(jī)和探針臺是將芯片的引腳與測試機(jī)的功能模塊連接起來的專業(yè)設(shè)備,與測試機(jī)共同實(shí)現(xiàn)批量自動化測試。受益于國內(nèi)封裝測試業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)張,半導(dǎo)體測試...
光學(xué)平臺普遍使用的振動響應(yīng)傳遞函數(shù)為柔量。在恒定(靜態(tài))力的情況下,柔量可以定義為線性或角度錯(cuò)位與所施加外力的比值。在動態(tài)變化力(振動)的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯(cuò)位)與振動力振幅的比值。平臺的任意撓度都可以通過安裝在平臺表面的部件相對位置...
探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起...
探針測試臺x-y工作臺的分類:縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:...
探針卡沒焊到位,是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū),而針虛焊和布線斷線或短路,測試時(shí)都要測不穩(wěn),所以焊針時(shí),應(yīng)憑自己的經(jīng)驗(yàn),把針尖離壓點(diǎn)中心稍微偏一點(diǎn),焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術(shù)員平時(shí)焊完卡后...
半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,從半導(dǎo)體單晶片到制成成品,須經(jīng)...
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4.顯微鏡...
12英寸晶圓在結(jié)構(gòu)上具有更高的效率,以200mm工藝為例,在良率100%的情況下,可出88個(gè)完整的晶粒,理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費(fèi)率為23%(約有20個(gè)晶粒因缺角破損而無法使用);而若以300mm工藝進(jìn)行切割,則產(chǎn)出效率將更驚人,可產(chǎn)出193個(gè)完整的晶粒...
探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位;2.基板上銅箔剝落,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊;3.探針卡布線斷線或短路;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時(shí)間后尖正常損耗;2.操作工用過粗的砂子;3.砂針尖時(shí)用力過猛;4.砂得時(shí)間過長;針尖...
“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機(jī)制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
為什么要射頻探測?由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進(jìn)行直接連接,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個(gè)問題。射頻探頭和校準(zhǔn)基板允許...
探針臺市場逐年增長:半導(dǎo)體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設(shè)備(探針臺、測試機(jī)、分選機(jī)等)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機(jī)、分選機(jī)...
手動探針臺應(yīng)用領(lǐng)域:Failureanalysis集成電路失效分析;Waferlevelreliability晶元可靠性認(rèn)證;Devicecharacterization元器件特性量測;Processmodeling塑性過程測試(材料特性分析);ICProce...
半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,從半導(dǎo)體單晶片到制成成品,須經(jīng)...
相對于平面電機(jī)工作臺,絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力...
伴隨著光纖通信技術(shù)的快速發(fā)展,小到芯片間,大到數(shù)據(jù)中心間的大規(guī)模數(shù)據(jù)交換處理,都迫切需求高速,可靠,低成本,低功耗的互聯(lián)。當(dāng)前,我們把主流的光互聯(lián)技術(shù)分為兩類。一類是基于III-V族半導(dǎo)體材料,另一類是基于硅等與現(xiàn)有的成熟的微電子CMOS工藝兼容的材料?;贗...
測試站包含自動硅光芯片耦合測試系統(tǒng)客戶端程序,其程序流程如下:首先向自動耦合臺發(fā)送耦合請求信息,并且信息包括待耦合芯片的通道號,然后根據(jù)自動耦合臺返回的相應(yīng)反饋信息進(jìn)入自動耦合等待掛起,直到收到自動耦合臺的耦合結(jié)束信息后向服務(wù)器發(fā)送測試請求信息,以進(jìn)行光芯片自...
光學(xué)平臺主要的一個(gè)目標(biāo)是消除平臺上任意兩個(gè)以上部件之間的相對位移。光學(xué)平臺重要特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負(fù)相關(guān)的,因此共振頻率應(yīng)盡可能地增大,從而將振動強(qiáng)度小化。平臺和面包板會在一個(gè)特定的頻率范圍內(nèi)發(fā)生振動。為了改善性能,每種尺寸的平臺和面包板的阻尼效...
精密光學(xué)平臺的功能介紹?小編先給大家舉個(gè)例子,在好萊塢電影里面你可以看到攝影機(jī)、巨型鏡頭、cgi仿真動畫、3d渲染、vr虛擬現(xiàn)實(shí)等,當(dāng)前基于dem的光路模擬技術(shù)已經(jīng)取得了很大的發(fā)展。在電影光學(xué)設(shè)計(jì)中,對復(fù)雜線路的測量、仿真,isi等檢測系統(tǒng)以及光電模塊的檢測,...
光學(xué)平臺的隔振性能取決于臺面本身和支架的隔振性能,總體上說,光學(xué)平臺的隔振,通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn):隔振支架:通常來說,氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架,部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(常見10~200Hz)減少一至兩個(gè)數(shù)量級臺面物理性能:要求臺面有一定...
精密光學(xué)平臺的功能介紹?小編先給大家舉個(gè)例子,在好萊塢電影里面你可以看到攝影機(jī)、巨型鏡頭、cgi仿真動畫、3d渲染、vr虛擬現(xiàn)實(shí)等,當(dāng)前基于dem的光路模擬技術(shù)已經(jīng)取得了很大的發(fā)展。在電影光學(xué)設(shè)計(jì)中,對復(fù)雜線路的測量、仿真,isi等檢測系統(tǒng)以及光電模塊的檢測,...
光纖耦合系統(tǒng)使用高分辨率差分調(diào)節(jié)器,是將自由空間激光優(yōu)化耦合入單模光纖的理想選擇,即使在可見波長的光纖模場直徑只為3μm??觳鸸饫w夾使用帶狹槽的中心套圈,帶有六個(gè)安裝表面,每個(gè)用于直徑從125μm到2.66mm的光纖。只需旋轉(zhuǎn)套圈就能將正確的安裝狹槽對準(zhǔn)壓臂。...
我們對單模光纖間的相互耦合、多模光纖出射光場的光束及光強(qiáng)做了基本的了解及分析,為后面的多-單模光纖耦合系統(tǒng)的架構(gòu)打下基礎(chǔ)。其次,通過對耦合器件自聚焦透鏡及球透鏡的分析及研究,設(shè)計(jì)并研制出了多模光纖到單模光纖耦合系統(tǒng)的雛形。先使用自聚焦透鏡來匯聚從多模光纖出射光...
光學(xué)平臺實(shí)芯理化板:沒有特殊要求的普通物理實(shí)驗(yàn)臺可以使用實(shí)芯理化板來作為臺面,但是要注意保養(yǎng),并且不可以使用尖利的物品劃擦,三聚氰胺板也可以作為普通物理實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)臺的臺面。光學(xué)平臺石材臺面板:針對一些高溫度、高壓力、高磨損的物理實(shí)驗(yàn),石材類的物理實(shí)驗(yàn)臺面比較有...
在集成電路可靠性測試內(nèi),晶圓級別檢測的主要作用是進(jìn)行特載流子注入檢測。利用變焦費(fèi)米能級與實(shí)際量進(jìn)行熱載流子檢測。在集成電路構(gòu)件內(nèi),利用過源電壓遺漏出現(xiàn)的載流子漏電極限,主要因?yàn)樵谳^大電場強(qiáng)度遺漏四周,載流子流入較大電場范圍下,高能能量子就會轉(zhuǎn)到熱載流子。同...
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測試...
如果需要一款高量測精度的探針臺,并不是有些廠商單純的認(rèn)為,通過簡單的機(jī)械加工加上一臺顯微鏡就可以完成,我們在探針臺設(shè)備的研發(fā)中有著近二十年的經(jīng)驗(yàn),并有著精細(xì)機(jī)械加工的技術(shù)能力,可以為您提供高準(zhǔn)確的探針臺電學(xué)檢測儀器,同時(shí)我們與世界電學(xué)信號測試廠家有著多年的合作...