在上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下,能夠調(diào)節(jié)添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導(dǎo)體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內(nèi)容均可以同樣地應(yīng)用于本發(fā)明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯(lián)劑以及包含該硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻方法。請認準蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。成都鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家
引線框架的腐蝕是如何生產(chǎn)的呢?引線框架的材料主要是電子銅帶,常見在引線框架中通過亮鎳、錫和錫鉛鍍層下進行鍍鎳完成保護金屬材料的目的,在材質(zhì)過程中42合金引線相對來說容易發(fā)生應(yīng)力-腐蝕引發(fā)的裂紋。為了保障引線框架的優(yōu)異的導(dǎo)電性和散熱性,處理方式通過電鍍銀、片式電鍍線,將引線和基島表面作特殊處理,這樣能夠保障焊線和引線框架的良好焊接性能。引線框架電鍍銀蝕刻工藝流程主要分:上料-電解除油-活化-預(yù)鍍銅-預(yù)鍍銀-局部鍍銀-退銀-防銀膠擴散-防銅變色-烘干-收料。通過該蝕刻工藝流程能夠保障引線框架蝕刻過程中電鍍層的厚度、光亮度、粗糙度、潔凈度等。因此,蝕刻引線框架對工藝和工廠的管理需要嚴格控制。 成都鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家BOE蝕刻液的生產(chǎn)廠家。
一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法技術(shù)領(lǐng)域1.本技術(shù)涉及化學(xué)蝕刻技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。背景技術(shù):2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續(xù)給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學(xué)蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術(shù)實現(xiàn)要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術(shù)難題,本技術(shù)提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。4.具體地,本技術(shù)首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數(shù)的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定,以實現(xiàn)了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調(diào)控,并在一定程度上實現(xiàn)了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35
推薦的,所述制備裝置主體的兩端緊密貼合有防燙隔膜。推薦的,所述高效攪拌裝置是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,內(nèi)部頂部兩側(cè)的震蕩彈簧件,震蕩彈簧件頂端的運轉(zhuǎn)電機組,運轉(zhuǎn)電機組頂端的控制面板,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿和致密防腐桿內(nèi)部內(nèi)側(cè)的攪動孔共同組合而成。推薦的,所述注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐內(nèi)部一側(cè)的嵌入引流口,嵌入引流口一端的負壓引流器,負壓引流器一端的注入量控制容器,注入量控制容器內(nèi)部內(nèi)側(cè)的注入量觀察刻度線和注入量控制容器一側(cè)的限流銷共同組合而成。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本種實用新型的有益效果是:1.通過設(shè)置高效攪拌裝置,該裝置通過運轉(zhuǎn)電機組驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤帶動高效攪拌裝置進行旋轉(zhuǎn)搖勻,高效攪拌裝置內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿,致密防腐桿內(nèi)部的攪動孔能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。2.通過設(shè)置高效攪拌裝置,通過設(shè)置注入量精確調(diào)配裝置,工作人員通過負壓引流器將鹽酸硝酸引向注入量控制容器內(nèi),通過觀察注入量控制容器內(nèi)的注入量觀察刻度線對注入量進行精確控制,當?shù)竭_設(shè)定的注入量時將限流銷插入進行限流即可?!覆┭蠡瘜W(xué)」蝕刻液提銅 提供微電子領(lǐng)域個性化解決方案!
如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,為了達到上述的實施目的,本實用新型另提出一種蝕刻設(shè)備,設(shè)置于一濕式蝕刻機的一槽體內(nèi),蝕刻設(shè)備至少包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)、一基板、一輸送裝置,以及一風刀裝置;基板設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的下方;輸送裝置設(shè)置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,其中滾輪與基板接觸以運行基板;風刀裝置設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的一端部,風刀裝置包括有一設(shè)置于基板上方的***風刀。銅蝕刻液是用來蝕刻銅金屬的化學(xué)藥水;合肥銅蝕刻液蝕刻液按需定制
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本發(fā)明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。背景技術(shù):參照圖1,可以確認3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來制造。在不損傷氧化物膜的同時將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術(shù)之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時*將氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不損傷氧化物膜的范圍內(nèi)將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力強的添加劑,由此可能發(fā)生氮化物膜沒有被完全去除的工序不良(參照圖2)。此外,想要將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力弱的添加劑,由此雖然氮化物膜被完全去除,但是可能發(fā)生對氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照圖3)。以往,為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當水平的防蝕能力的添加劑時,按照添加劑的種類和濃度通過實驗進行確認。沒有這樣的實驗確認就選擇添加劑實際上是不可能的。成都鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家