廣州PCB光刻膠

來源: 發(fā)布時間:2025-05-02

正性光刻膠

  • 半導(dǎo)體分立器件制造:對于二極管、三極管等半導(dǎo)體分立器件,正性光刻膠可實現(xiàn)精細(xì)的圖形化加工,滿足不同功能需求。比如在制作高精度的小尺寸分立器件時,正性光刻膠憑借其高分辨率和良好對比度,能精確刻畫器件的結(jié)構(gòu),提高器件性能。
  • 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造:MEMS 器件如加速度計、陀螺儀等,結(jié)構(gòu)復(fù)雜且尺寸微小。正性光刻膠用于 MEMS 制造過程中的光刻步驟,可在硅片等材料上制作出高精度的微結(jié)構(gòu),確保 MEMS 器件的功能實現(xiàn)。


松山湖半導(dǎo)體材料廠家吉田,全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn)!廣州PCB光刻膠

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廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,主要涵蓋厚板、負(fù)性、正性、納米壓印及光刻膠等類別,以滿足不同領(lǐng)域的需求。

厚板光刻膠:JT-3001 型號,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),保質(zhì)期 1 年。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,如特定電路板制造。

負(fù)性光刻膠

  • SU-3 負(fù)性光刻膠:分辨率優(yōu)異,對比度良好,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),重量 100g。常用于對曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。


正性光刻膠 東莞厚膜光刻膠供應(yīng)商光刻膠的顯示面板領(lǐng)域。

  • LCD 正性光刻膠 YK-200:具有較大曝光、高分辨率、良好涂布和附著力,重量 100g。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝,確保 LCD 生產(chǎn)中圖形精確轉(zhuǎn)移和良好涂布效果。
  • 半導(dǎo)體正性光刻膠 YK-300:具備耐熱耐酸、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性,重量 100g。主要用于半導(dǎo)體制造工藝,滿足半導(dǎo)體器件對光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求。
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納米壓印光刻膠


  • 微納光學(xué)器件制造:制作衍射光學(xué)元件、微透鏡陣列等微納光學(xué)器件時,納米壓印光刻膠可實現(xiàn)高精度的微納結(jié)構(gòu)復(fù)制。通過納米壓印技術(shù),將模板上的微納圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上,再經(jīng)過后續(xù)處理,可制造出具有特定光學(xué)性能的微納光學(xué)器件,應(yīng)用于光通信、光學(xué)成像等領(lǐng)域。
  • 生物芯片制造:在 DNA 芯片、蛋白質(zhì)芯片等生物芯片的制造中,需要在芯片表面構(gòu)建高精度的微納結(jié)構(gòu),用于生物分子的固定和檢測。納米壓印光刻膠可幫助實現(xiàn)這些精細(xì)結(jié)構(gòu)的制作,提高生物芯片的檢測靈敏度和準(zhǔn)確性。

  •  技術(shù)挑戰(zhàn):

    ? 技術(shù)壁壘:EUV光刻膠、3nm以下制程材料仍處研發(fā)階段,光刻膠分辨率、靈敏度與國際水平存在差距(如東京應(yīng)化ArF膠分辨率達(dá)14nm)。

    ? 供應(yīng)鏈風(fēng)險:樹脂、光引發(fā)劑等原材料自給率不足8%,部分依賴進(jìn)口(如日本信越化學(xué));美國對華技術(shù)封鎖可能影響設(shè)備采購。

    ? 客戶驗證:光刻膠需通過晶圓廠全流程測試,驗證周期長(1-2年),國內(nèi)企業(yè)在頭部客戶滲透率較低。

    未來展望:

    ? 短期(2025-2027年):KrF/ArF光刻膠國產(chǎn)化率預(yù)計提升至10%-15%,南大光電、上海新陽等企業(yè)實現(xiàn)28nm-7nm制程產(chǎn)品量產(chǎn),部分替代日本進(jìn)口。

    ? 中期(2028-2030年):EUV光刻膠進(jìn)入中試驗證階段,原材料自給率提升至30%,國內(nèi)企業(yè)在全球市場份額突破15%。

    ? 長期(2030年后):實現(xiàn)光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控,技術(shù)指標(biāo)對標(biāo)國際前列,成為全球半導(dǎo)體材料重要供應(yīng)商。
    光刻膠國產(chǎn)替代的主要難點有哪些?

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    1. 全品類覆蓋
      吉田半導(dǎo)體產(chǎn)品線涵蓋正性 / 負(fù)性光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠、厚膜光刻膠及水性光刻膠等,覆蓋芯片制造、顯示面板、PCB 及微納加工等多領(lǐng)域需求,技術(shù)布局全面性于多數(shù)國內(nèi)廠商。
    2. 關(guān)鍵技術(shù)突破
      納米壓印技術(shù):JT-2000 納米壓印光刻膠耐高溫達(dá) 250℃,支持納米級精度圖案復(fù)制,適用于第三代半導(dǎo)體(GaN/SiC)及 Mini LED 等新興領(lǐng)域,技術(shù)指標(biāo)接近國際先進(jìn)水平。
      水性環(huán)保配方:JT-1200 水性感光膠以水為溶劑替代傳統(tǒng)有機(jī)溶劑,低 VOC 排放,符合 RoHS 和 REACH 標(biāo)準(zhǔn),環(huán)保性能優(yōu)于同類產(chǎn)品。
      厚膜工藝能力:JT-3001 厚板光刻膠膜厚可控(達(dá)數(shù)十微米),滿足高密度像素陣列及 MEMS 器件的制造需求。
    半導(dǎo)體光刻膠:技術(shù)領(lǐng)域取得里程碑。甘肅LED光刻膠廠家

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    關(guān)鍵工藝流程

     涂布:

    ? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠,厚度控制在0.1-5μm(依制程精度調(diào)整),需均勻無氣泡(旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm)。

     前烘(Soft Bake):

    ? 加熱(80-120℃)去除溶劑,固化膠膜,增強(qiáng)附著力(避免顯影時邊緣剝離)。

     曝光:

    ? 光源匹配:

    ? G/I線膠:汞燈(適用于≥1μm線寬,如PCB、LCD)。

    ? DUV膠(248nm/193nm):KrF/ArF準(zhǔn)分子激光(用于28nm-14nm制程,如存儲芯片)。

    ? EUV膠(13.5nm):極紫外光源(用于7nm以下制程,需控制納米級缺陷)。

    ? 曝光能量:需精確控制(如ArF膠約50mJ/cm2),避免過曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真。

     顯影:

    ? 采用堿性溶液(如0.262N四甲基氫氧化銨,TMAH),曝光區(qū)域膠膜溶解,未曝光區(qū)域保留,形成三維立體圖案。

     后烘(Post-Exposure Bake, PEB):

    ? 化學(xué)增幅型膠需此步驟,通過加熱(90-130℃)激發(fā)光酸催化反應(yīng),提高分辨率和耐蝕刻性。
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    標(biāo)簽: 光刻膠 錫片