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電子探針儀鏡筒部分的構(gòu)造大體上和掃描電子顯微鏡相同,只是在檢測(cè)器部分使用的是X射線譜儀、專門用來檢測(cè)X射線的特征波長(zhǎng)或特征能量,以此來對(duì)微區(qū)的化學(xué)成分進(jìn)行分析。因此,除專門的電子探針儀外,有相當(dāng)一部分電子探針儀是作為附件安裝在掃描電鏡或透射電鏡鏡筒上,以滿足微區(qū)組織形貌、晶體結(jié)構(gòu)及化學(xué)成分三位一體同位分析的需要 [1]。用波長(zhǎng)色散譜儀(或能量色散譜儀)和檢測(cè)計(jì)數(shù)系統(tǒng),測(cè)量特征X射線的波長(zhǎng)(或能量)和強(qiáng)度,即可鑒別元素的種類和濃度。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu)。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
X射線譜儀能譜儀電子束轟擊樣品表面將產(chǎn)生特征X射線,不同的元素有不同的X射線特征波長(zhǎng)和能量。通過鑒別其特征波長(zhǎng)或特征能量就可以確定所分析的元素。利用特征波長(zhǎng)來確定元素的儀器叫做波長(zhǎng)色散譜儀(波譜儀),利用特征能量的就稱為能量色散譜儀(能譜儀)。1、波譜儀波譜儀的關(guān)鍵在于怎樣實(shí)現(xiàn)將未知的特征譜線與已知元素Z聯(lián)系起來?為此設(shè)想有一種晶面間距為d的特定晶體(我們稱為分光晶體),當(dāng)不同特征波長(zhǎng)λ的X射線照射其上時(shí),如果滿足布拉格條件(2dsinθ=λ)將產(chǎn)生衍射。顯然,對(duì)于任意一個(gè)給定的入射角θ*有一個(gè)確定的波長(zhǎng)λ滿足衍射條件。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家利用探針盒子獲取他人手機(jī)號(hào)等隱私信息的行為涉嫌侵犯他人隱私,可能面臨民事侵權(quán)責(zé)任及治安管理處罰責(zé)任。
2.界面探針(Interface Probes)非標(biāo)準(zhǔn)的探針,一般是為少數(shù)做大型測(cè)試機(jī)臺(tái)的客戶定做的,例如泰瑞達(dá)(Teradyne)和安捷倫(Agilent).用于測(cè)試機(jī)臺(tái)與測(cè)試夾具的接觸點(diǎn)和面.3.微型探針(MicroSeries Probes)兩個(gè)測(cè)試點(diǎn)中心間距一般為0.25mm至0.76mm.4.開關(guān)探針(Switch Probes)開關(guān)探針單獨(dú)一支探針有兩路電流.5.高頻探針(Coaxial Probes)用于測(cè)試高頻信號(hào),有帶屏蔽圈的可測(cè)試10GHz以內(nèi)的和500MHz不帶屏蔽圈的.6.旋轉(zhuǎn)探針(Rotator Probes)彈力一般不高,因?yàn)槠浯┩感员緛砭秃軓?qiáng),一般用于OSP處理過的PCBA測(cè)試.
為了確定探針是否與相應(yīng)的基因組DNA雜交,有必要對(duì)探針加以標(biāo)記,以便在結(jié)合部位獲得可識(shí)別的信號(hào),通常采用放射性同位素32P標(biāo)記探針的某種核苷酸α磷酸基。但近年來已發(fā)展了一些用非同位素如生物素-親合素系統(tǒng)、地高辛配體等作為標(biāo)記物的方法。非同位素標(biāo)記的優(yōu)點(diǎn)是保存時(shí)間較長(zhǎng),而且避免了同位素的污染。**常用的探針標(biāo)記法是缺口平移法(nick translation)。首先用適當(dāng)濃度的DNA酶Ⅰ(DNAseⅠ)在探針DNA雙鏈上造成缺口,然后再借助于DNA聚合酶Ⅰ(DNa poly merasⅠ)的5’→3’的外切酶活性,切去帶有5’磷酸的核苷酸;同時(shí)又利用該酶的5’→3’聚酶活性,使32P標(biāo)記的互補(bǔ)核苷酸補(bǔ)入缺口,DNA聚合酶Ⅰ的這兩種活性的交替作用,使缺口不斷向3’的方向移動(dòng),同時(shí)DNA鏈上的核苷酸不斷為32P標(biāo)記的核苷酸所取代。應(yīng)用于地質(zhì)、冶金材料、水泥熟料研究等部門。
在不損耗試樣的情況下,電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素;但是對(duì)原子序數(shù)小于12的元素,其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測(cè)相對(duì)靈敏度為萬分之一,在有些情況下可達(dá)十萬分之一。檢測(cè)的***靈敏度因元素而異,一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點(diǎn)、線、面上的元素分析,并獲得元素分布的圖象。對(duì)原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素,定量分析的相對(duì)精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國(guó)的R.卡斯坦制造了***臺(tái)電子探針儀。1958年法國(guó)首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,有的還附加另一些附件,使之除作微區(qū)成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。還能全自動(dòng)進(jìn)行批量(預(yù)置9999測(cè)試點(diǎn))定量分析。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
探針卡是IC制造中對(duì)制造成本影響相當(dāng)大的重要制程之一。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學(xué)組成以及各元素的重量百分?jǐn)?shù)。分析前要根據(jù)試驗(yàn)?zāi)康闹苽錁悠?,樣品表面要清潔。用波譜儀分析樣品時(shí)要求樣品平整,否則會(huì)降低測(cè)得的X射線強(qiáng)度。定性分析1 點(diǎn)分析用于測(cè)定樣品上某個(gè)指定點(diǎn)的化學(xué)成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點(diǎn)分析結(jié)果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號(hào)同時(shí)檢測(cè)和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描,甚至還要更換分光晶體。2 線分析用于測(cè)定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀(波譜儀或能譜儀)固定在所要測(cè)量的某元素特征X射線信號(hào)(波長(zhǎng)或能量)的位置上,把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描,便可得到該元素沿直線特征X射線強(qiáng)度的變化,從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置,便可得到另一元素的X射線強(qiáng)度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像。可見,在Al2O3夾雜存在的地方,Al的X射線峰較強(qiáng)。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
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