精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理,從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來,已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù),獲得了眾多好評。精密環(huán)控設(shè)備為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。江蘇白光干涉儀恒溫恒濕
自動安全保護系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障,為設(shè)備的穩(wěn)定運行和用戶的使用安全提供防護。故障自動保護程序時刻監(jiān)控設(shè)備的運行狀態(tài),一旦檢測到異常情況,如溫度過高、壓力過大、電氣故障等,系統(tǒng)會立即啟動相應(yīng)的保護措施,停止設(shè)備的危險運行,避免設(shè)備損壞或引發(fā)安全事故,實現(xiàn)全天候無憂運行。同時,故障實時聲光報警提醒,能及時引起用戶的注意。用戶可以根據(jù)報警信息迅速判斷故障類型和位置,及時采取應(yīng)對措施。此外,遠程協(xié)助故障處理功能,使用戶能夠通過網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)技術(shù)人員取得聯(lián)系,技術(shù)人員可以遠程查看設(shè)備的運行數(shù)據(jù)和故障信息,指導(dǎo)用戶進行故障排查和修復(fù),縮短了故障處理時間,提高了設(shè)備的可用性。江蘇白光干涉儀恒溫恒濕擁有超高水準(zhǔn)潔凈度控制能力,可達百級以上潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
對于光學(xué)儀器,溫度哪怕有細微變化,都會引發(fā)諸多問題。由于大多數(shù)光學(xué)儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質(zhì)的部件,這些材料熱膨脹系數(shù)各異。當(dāng)溫度升高時,鏡片會膨脹,鏡筒等支撐結(jié)構(gòu)也會發(fā)生相應(yīng)變化,若膨脹程度不一致,就會使鏡片在鏡筒內(nèi)的位置精度受到影響,光路隨之發(fā)生偏差。例如在顯微鏡觀察中,原本清晰聚焦的樣本圖像會突然變得模糊,科研人員無法準(zhǔn)確獲取樣本細節(jié),影響實驗數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。對于望遠鏡而言,溫度波動導(dǎo)致的光路變化,會讓觀測天體時的成像偏離理想位置,錯過重要天文現(xiàn)象的記錄。
在電池制造流程里,電解液的注入環(huán)節(jié)堪稱重中之重,其對溫濕度的要求近乎嚴苛。哪怕是極其細微的溫度波動,都可能引發(fā)電解液的密度與黏度發(fā)生改變。這看似不起眼的變化,卻會直接干擾注液量的控制。一旦注液量出現(xiàn)偏差,電池內(nèi)部的電化學(xué)反應(yīng)便無法在正常狀態(tài)下進行,導(dǎo)致電池容量大打折扣,使用壽命也大幅縮短。而當(dāng)濕度攀升過高,空氣中游離的水分便會趁機混入電解液之中。這些水分會與電解液的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成一系列有害雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會無情地腐蝕電池內(nèi)部結(jié)構(gòu),嚴重破壞電池的穩(wěn)定性與安全性,給電池的使用埋下諸多隱患。其控制系統(tǒng)精細處理循環(huán)氣流各環(huán)節(jié),確保柜內(nèi)溫濕度的超高精度控制。
超高水準(zhǔn)潔凈度控制使精密環(huán)控柜在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著無可替代的作用。該系統(tǒng)可輕松實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,內(nèi)部潔凈度可優(yōu)于 ISO class3 (設(shè)備工作區(qū)) 。這一特性得益于其先進的空氣過濾系統(tǒng),多層高效過濾器能夠有效攔截空氣中的塵埃顆粒、微生物等污染物。在對潔凈度要求極高的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,微小的塵埃顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)瑕疵,影響性能和良品率。精密環(huán)控柜提供的超潔凈環(huán)境,能極大降低塵埃對芯片制造過程的干擾,確保芯片的高質(zhì)量生產(chǎn)。在生物制藥領(lǐng)域,藥品的生產(chǎn)過程必須保證無菌無塵,防止微生物污染。其超高的潔凈度控制能力,為藥品的研發(fā)和生產(chǎn)提供了符合標(biāo)準(zhǔn)的潔凈空間,保障了藥品的安全性和有效性。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部,關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)下溫度穩(wěn)定性高,可達 +/-5mK 精度。0.005℃恒溫恒濕控制箱
高精密環(huán)控設(shè)備可移動,容易維護和擴展。江蘇白光干涉儀恒溫恒濕
我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),控制輸出精度達 0.1%,能精細掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔,滿足嚴苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,可達百級、十級、一級。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK,內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m,為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場,保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,8 小時內(nèi)穩(wěn)定性可達 ±0.5%;壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時,助力長時間實驗與制造。在潔凈度上,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,既確保實驗結(jié)果準(zhǔn)確可靠,又保障精密儀器正常工作與使用壽命,推動科研與生產(chǎn)進步。江蘇白光干涉儀恒溫恒濕