結(jié)構(gòu)組成 MEMS電容真空計(jì)主要由真空規(guī)管和測(cè)量電路兩部分組成。真空規(guī)管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結(jié)構(gòu)等組件。測(cè)量電路則用于對(duì)電容變化進(jìn)行處理，得到真空度的值。此外，MEMS電容真空計(jì)還可能包含一些輔助組件，如溫度補(bǔ)償器、校準(zhǔn)電路等，以提高測(cè)量精度...

真空計(jì)按測(cè)量原理分類(lèi) 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理：利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的，因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)...

真空計(jì)按測(cè)量原理分類(lèi) 靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理：利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的，因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)...

隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展和進(jìn)步，MEMS電容真空計(jì)將朝著更高靈敏度、更寬測(cè)量范圍、更好穩(wěn)定性和更低功耗的方向發(fā)展。同時(shí)，隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展，MEMS電容真空計(jì)將實(shí)現(xiàn)更加智能化和遠(yuǎn)程化的監(jiān)測(cè)和控制功能，為各個(gè)領(lǐng)域提供更加便捷和高效的真...

陶瓷薄膜真空計(jì)是一種高精度、高穩(wěn)定性的真空測(cè)量?jī)x器，它結(jié)合了陶瓷材料的優(yōu)異性能和薄膜傳感技術(shù)的敏感特性。以下是對(duì)陶瓷薄膜真空計(jì)的詳細(xì)介紹： 基本原理：陶瓷薄膜真空計(jì)的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個(gè)陶瓷基片，上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為...

辰儀MEMS電容真空計(jì)是辰儀完全自主開(kāi)發(fā)的，采用MEMS技術(shù)開(kāi)發(fā)的電容真空計(jì)，該真空計(jì)是通過(guò)直接的壓力變化產(chǎn)生的電容值的變化得出真空度的一種真空測(cè)量方法，精度可達(dá)到萬(wàn)分之一，且不受氣體種類(lèi)的限制的優(yōu)點(diǎn)，是高精度高穩(wěn)定性真空測(cè)量的理想選擇。 辰儀MEM...

真空計(jì)是一種用于測(cè)量氣體壓力的儀器，主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測(cè)試。其工作原理是通過(guò)測(cè)量氣體在不同壓力下對(duì)傳感器的影響來(lái)進(jìn)行壓力測(cè)量。常見(jiàn)的真空計(jì)包括熱導(dǎo)式真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)和毛細(xì)壓力計(jì)等。熱導(dǎo)式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體傳熱...

MEMS電容真空計(jì)是一種利用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)制造的電容式真空計(jì)。以下是對(duì)MEMS電容真空計(jì)的詳細(xì)介紹： 基本原理MEMS電容真空計(jì)基于電容變化的原理來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)彈性薄膜作為感測(cè)元件，當(dāng)外界氣壓改變時(shí)，薄膜會(huì)發(fā)生形變，進(jìn)而改變與上...