真空計可以按照測量原理、結(jié)構(gòu)特點以及使用范圍等進行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa...
真空計,又稱為真空表或真空規(guī)管,是一種專門用于測量真空度或氣壓的精密儀器。它通過檢測真空環(huán)境中氣體的壓力變化,從而確定真空度的高低。真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用 在工業(yè)生產(chǎn)中,真空計也發(fā)揮著重要作用。以下是幾個具體的應(yīng)用場景:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制...
陶瓷薄膜真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,陶瓷薄膜真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,陶瓷薄膜真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量...
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:一、高精度真空計具有高精度度的特點,能夠測量非常微小的壓力變化。這種高精度使得真空計在需要精確控制真空度的場合中非常有用,如半導(dǎo)體制造、真空冶金和科學研究等領(lǐng)域。二、使用方便...
金屬薄膜真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,金屬薄膜真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,金屬薄膜真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以確保冶金產(chǎn)品的質(zhì)量...
隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展和進步,MEMS電容真空計將朝著更高靈敏度、更寬測量范圍、更好穩(wěn)定性和更低功耗的方向發(fā)展。同時,隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展,MEMS電容真空計將實現(xiàn)更加智能化和遠程化的監(jiān)測和控制功能,為各個領(lǐng)域提供更加便捷和高效的真...
真空計的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進步: 隨著半導(dǎo)體和微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷進步,真空計的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發(fā)和應(yīng)用。智能化:現(xiàn)代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠?qū)崟r監(jiān)測、分析和反饋數(shù)據(jù),提高了用戶的操作便利性和系...
真空計按測量原理分類 靜態(tài)液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...
真空計在多個領(lǐng)域中都發(fā)揮著重要作用,包括但不限于: 科研領(lǐng)域:在物理、化學、材料科學等實驗中,真空計用于測量實驗裝置內(nèi)的真空度,確保實驗環(huán)境的純凈度和穩(wěn)定性。 工業(yè)生產(chǎn):在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中,真空計用于監(jiān)控生產(chǎn)過程中的真空...
MEMS電容真空計是一種利用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的電容式真空計。以下是對MEMS電容真空計的詳細介紹: 基本原理MEMS電容真空計基于電容變化的原理來測量真空度。它包含一個彈性薄膜作為感測元件,當外界氣壓改變時,薄膜會發(fā)生形變,進而改變與上...
皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。 此外,皮拉尼真空計還常用于監(jiān)測從大氣到高真空區(qū)域開始的泵送過程(如渦輪分子...
MEMS電容真空計是一種利用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的電容式真空計。以下是對MEMS電容真空計的詳細介紹: 基本原理MEMS電容真空計基于電容變化的原理來測量真空度。它包含一個彈性薄膜作為感測元件,當外界氣壓改變時,薄膜會發(fā)生形變,進而改變與上...
真空計按測量原理分類 靜態(tài)液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...
辰儀MEMS皮拉尼真空計是完全對標MKS925和MKS901P真空計而開發(fā)的MEMS皮拉尼真空計,是采用MEMS芯片及數(shù)字化軟件控制技術(shù)開發(fā)的皮拉尼真空計。該真空計可用于半導(dǎo)體、光伏、等離子等對初中真空測量高精度要求的行業(yè),填補了MKS對國內(nèi)斷供造成的影響...
真空計的未來趨勢小型化: 真空計的體積越來越小,便于攜帶和使用。一體化:真空計測量單元與規(guī)管集成為一體,提高了測量的便捷性和準確性。集成化:將多臺真空計組合成一臺,實現(xiàn)多功能集成和測量。系統(tǒng)化:將真空度測量與相結(jié)合,形成完整的真空測量系統(tǒng)。智能化:真...
真空計按測量原理分類 靜態(tài)液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來...
幾種主要類型真空計的詳細介紹和對比 真空計按真空度刻度方法分類 真空計測量原理:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。特點:對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關(guān)。示例:U型鎊壓力計、壓縮式真空計、熱輻射真...
皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。 根據(jù)測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:...
隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展和進步,MEMS電容真空計將朝著更高靈敏度、更寬測量范圍、更好穩(wěn)定性和更低功耗的方向發(fā)展。同時,隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展,MEMS電容真空計將實現(xiàn)更加智能化和遠程化的監(jiān)測和控制功能,為各個領(lǐng)域提供更加便捷和高效的真...
辰儀陶瓷電容真空計是完全對標英福康的陶瓷電容真空計而開發(fā)的一款陶瓷膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化的陶瓷膜片真空計,產(chǎn)品測量精度已達到和英??狄恢滤?。辰儀陶瓷電容真空計已在暖通、儲能、光伏、CVD等行業(yè)銷售,產(chǎn)品性能獲得客戶認可。 辰儀陶瓷電容真...
選擇真空計時需要綜合考慮多個因素,包括真空計的類型、測量范圍與精度、被測氣體與環(huán)境以及其他相關(guān)因素。通過多方面評估這些因素,可以選擇出適合實際需求的真空計。其他因素需要考慮:穩(wěn)定性與可靠性:空計的使用壽命也是需要考慮的因素之一,好品質(zhì)的真空計通常具...
陶瓷薄膜真空計是一種高精度、高穩(wěn)定性的真空測量儀器,它結(jié)合了陶瓷材料的優(yōu)異性能和薄膜傳感技術(shù)的敏感特性。以下是對陶瓷薄膜真空計的詳細介紹: 基本原理:陶瓷薄膜真空計的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個陶瓷基片,上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為...
皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補償原理,通過測量一個發(fā)熱體與一個接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時,其溫度會升高。對于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真...
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點: 1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計。 2.易維...
辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術(shù)開發(fā)的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產(chǎn)生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點,是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。 辰儀MEM...
辰儀MEMS皮拉尼真空計是完全對標MKS925和MKS901P真空計而開發(fā)的MEMS皮拉尼真空計,是采用MEMS芯片及數(shù)字化軟件控制技術(shù)開發(fā)的皮拉尼真空計。該真空計可用于半導(dǎo)體、光伏、等離子等對初中真空測量高精度要求的行業(yè),填補了MKS對國內(nèi)斷供造成的影響...
其他角度對真空計進行分類,如根據(jù)測量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點。它能夠滿足深空探測、空氣動力學研究、臨近...
真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器,主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進行壓力測量。常見的真空計包括熱導(dǎo)式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細壓力計等。熱導(dǎo)式真空計通過測量氣體傳熱...
真空技術(shù)在生活中有著廣泛的應(yīng)用,它極大地改善了我們的生活質(zhì)量,提高了生產(chǎn)效率,隨著科技的進步和創(chuàng)新,真空技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域還將不斷拓展和深化,并在多個領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。醫(yī)療器械與醫(yī)療環(huán)境真空包裝醫(yī)療器械:注射器、輸液袋等醫(yī)療器械需要在無菌條件下使用,通過真...
幾種主要類型真空計的詳細介紹和對比 真空計按真空度刻度方法分類 真空計測量原理:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。特點:對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關(guān)。示例:U型鎊壓力計、壓縮式真空計、熱輻射真...