真空腔室材質(zhì):不銹鋼(耐腐蝕、易清潔),內(nèi)壁拋光以減少薄膜沉積死角。配置: 靶材組件:多個電弧靶(可旋轉(zhuǎn)或固定),靶材材質(zhì)根據(jù)膜層需求選擇(如鈦、鉻、鋯、不銹鋼等)。 工件架:可旋轉(zhuǎn)或行星運(yùn)動,確保工件表面均勻受鍍(公轉(zhuǎn) + 自轉(zhuǎn))。 進(jìn)...
提高導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性:對于一些需要良好導(dǎo)電或?qū)嵝阅艿牟牧?,鍍膜機(jī)可以在其表面鍍上金屬膜層,從而提高其導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性能。這一功能在電子器件和散熱器等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。增加美觀性:鍍膜處理還可以使產(chǎn)品表面呈現(xiàn)出金屬質(zhì)感或豐富的顏色效果,提升產(chǎn)品的觀賞性和裝飾效果。...
電子領(lǐng)域: 半導(dǎo)體器件制造在半導(dǎo)體芯片制造過程中,鍍膜機(jī)用于沉積各種薄膜。例如,沉積金屬薄膜作為電極,如鋁、銅等金屬薄膜可以通過氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)的方式在硅片等半導(dǎo)體襯底上形成。還會沉積絕緣薄膜,如二氧化硅薄膜,用于隔離不同的...
精確控制膜層:現(xiàn)代鍍膜機(jī)配備了先進(jìn)的控制系統(tǒng),可以精確控制鍍膜的厚度、成分、均勻性等參數(shù),確保每一批產(chǎn)品的鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定一致。以半導(dǎo)體芯片制造為例,需要精確控制鍍膜厚度在納米級別,鍍膜機(jī)能夠滿足這種高精度的要求,保證芯片的性能和可靠性。適應(yīng)多種材料:鍍膜機(jī)可以在...
電子行業(yè)半導(dǎo)體器件制造案例:英特爾、臺積電等半導(dǎo)體制造企業(yè)在芯片制造過程中大量使用真空鍍膜設(shè)備。在芯片的電極形成過程中,通過 PVD 的濺射鍍膜技術(shù),以銅(Cu)或鋁(Al)為靶材,在硅片(Si)基底上濺射沉積金屬薄膜作為電極。同時,利用 CVD 技術(shù),如等離...
膜層性能優(yōu)異光學(xué)性能好:通過真空鍍膜技術(shù)可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學(xué)儀器、太陽能電池等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。例如,在相機(jī)鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
五金裝飾行業(yè): 五金件表面鍍膜案例:在五金裝飾領(lǐng)域,真空鍍膜設(shè)備用于對各種五金制品進(jìn)行裝飾和防護(hù)鍍膜。例如,對門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜。通過 PVD 的蒸發(fā)鍍膜或濺射鍍膜技術(shù),在五金件表面鍍上各種顏色的金屬膜或陶瓷膜。如鍍氮化鈦(TiN)可以得到金黃...
鍍膜材料的汽化或離化: 根據(jù)鍍膜工藝的不同,主要有以下兩種方式使鍍膜材料轉(zhuǎn)化為可沉積的粒子: 蒸發(fā)鍍膜(物理的氣相沉積 PVD 的一種)原理:通過加熱鍍膜材料(如金屬、合金、氧化物等),使其從固態(tài)直接汽化或升華為氣態(tài)原子 / 分子。 加熱...
化學(xué)氣相沉積(CVD)原理:利用氣態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在高溫、催化劑等條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)的薄膜物質(zhì),并沉積在基底表面。反應(yīng)過程中,氣態(tài)反應(yīng)物通過擴(kuò)散或氣流輸送到基底表面,在表面發(fā)生吸附、反應(yīng)和脫附等過程,終形成薄膜。反應(yīng)類型:常見的反應(yīng)類型有熱分解反應(yīng)、化學(xué)...
膜體材料的釋放:在真空環(huán)境中,膜體材料通過加熱蒸發(fā)或濺射的方式被釋放出來。蒸發(fā)過程是通過加熱蒸發(fā)源,使膜體材料蒸發(fā)成氣態(tài)分子;濺射過程則是利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。分子的沉積:蒸發(fā)或濺射出的膜體分子在真空室內(nèi)自由飛行,并終沉積...
真空鍍膜設(shè)備包括多種類型,如蒸發(fā)鍍膜機(jī)、濺射鍍膜機(jī)、離子鍍膜機(jī)等,它們的主要工作原理可以概括為以下幾個步驟:真空環(huán)境的創(chuàng)建:在真空室內(nèi)創(chuàng)建高真空環(huán)境,以減少空氣分子對蒸發(fā)的膜體分子的碰撞,使結(jié)晶體細(xì)密光亮。膜體材料的釋放:通過加熱蒸發(fā)或濺射的方式,將膜體材料(...
化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備: 常壓CVD(APCVD):在大氣壓下進(jìn)行化學(xué)氣相沉積,可以適用于大面積基材的鍍膜,如太陽能電池的減反射膜。 低壓CVD(LPCVD):在低壓環(huán)境下進(jìn)行沉積,膜層的質(zhì)量較高,適用于半導(dǎo)體器件的制造。 等離子增強(qiáng)...
技術(shù)優(yōu)勢高純度:真空環(huán)境避免雜質(zhì)摻入。均勻性:精確控制膜厚和成分。附著力強(qiáng):離子轟擊可改善薄膜與基材的結(jié)合。多功能性:可制備金屬、氧化物、氮化物等多種薄膜。常見類型蒸發(fā)鍍膜機(jī):適用于金屬、合金薄膜。磁控濺射鍍膜機(jī):適用于高硬度、耐磨損涂層。離子鍍膜機(jī):結(jié)合...
真空系統(tǒng)操作啟動真空泵時,要按照規(guī)定的順序進(jìn)行操作。一般先啟動前級泵,待前級泵達(dá)到一定的抽氣能力后,再啟動主泵。在抽氣過程中,要密切關(guān)注真空度的變化,通過真空計等儀表實時監(jiān)測真空度。如果真空度上升緩慢或無法達(dá)到設(shè)定值,應(yīng)立即停止抽氣,檢查設(shè)備是否存在泄漏或其他...
設(shè)備檢查在啟動真空鍍膜機(jī)之前,操作人員必須對設(shè)備進(jìn)行檢查。查看真空泵的油位是否處于正常范圍,油質(zhì)有無污染或乳化現(xiàn)象。若油位過低,會影響真空泵的抽氣性能,導(dǎo)致真空度無法達(dá)到要求;而油質(zhì)變差則可能損壞真空泵的內(nèi)部零件。此外,還要檢查真空管道是否有泄漏,可通過涂抹肥...
膜層性能優(yōu)異光學(xué)性能好:通過真空鍍膜技術(shù)可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學(xué)儀器、太陽能電池等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。例如,在相機(jī)鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
汽車行業(yè)汽車燈具鍍膜案例:汽車大燈制造商如歐司朗、海拉等會使用真空鍍膜設(shè)備對大燈燈罩進(jìn)行鍍膜。通過 PVD 的濺射鍍膜技術(shù),在燈罩表面沉積二氧化硅(SiO?)或氧化鋁(Al?O?)等材料的薄膜,這些薄膜可以提高燈罩的抗劃傷能力、抗紫外線能力和耐候性,防止燈...
電子信息行業(yè): 半導(dǎo)體與集成電路: 應(yīng)用場景:芯片制造中的金屬互連層(如鋁、銅)、阻擋層(如氮化鈦)及鈍化保護(hù)層。 技術(shù)需求:高純度、低缺陷的薄膜沉積,需采用PVD(如磁控濺射)或ALD技術(shù),確保導(dǎo)電性和穩(wěn)定性。 平板顯示與觸摸屏:...
精確的厚度控制:真空鍍膜設(shè)備可以通過精確控制鍍膜時間、蒸發(fā)速率、氣體流量等參數(shù),實現(xiàn)對膜層厚度的精確控制,能夠滿足不同應(yīng)用場景對膜層厚度的嚴(yán)格要求。比如在電子芯片制造中,需要在芯片表面鍍上厚度精確的金屬膜或介質(zhì)膜來實現(xiàn)特定的電學(xué)性能,真空鍍膜設(shè)備可以將膜層厚度...
適用基體多樣金屬基體:各種金屬制品,如汽車零部件、五金工具、電子產(chǎn)品外殼等,都可以通過真空鍍膜來提高其表面性能和裝飾效果。例如汽車輪轂通過真空鍍膜可以獲得美觀的外觀和良好的耐腐蝕性。 塑料基體:對于塑料材質(zhì)的產(chǎn)品,如手機(jī)外殼、家電面板等,真空鍍膜可以...
膜層性能優(yōu)異光學(xué)性能好:通過真空鍍膜技術(shù)可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學(xué)儀器、太陽能電池等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。例如,在相機(jī)鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
真空系統(tǒng)操作啟動真空泵時,要按順序操作,先啟動前級泵,再啟動主泵。抽氣過程中,通過真空計監(jiān)測真空度,若真空度上升緩慢或不達(dá)標(biāo),應(yīng)立即停止抽氣,檢查設(shè)備是否泄漏或存在其他故障。鍍膜時,要保持真空環(huán)境穩(wěn)定,減少人員在設(shè)備周圍走動,防止氣流干擾。鍍膜參數(shù)設(shè)置根據(jù)待鍍...
真空鍍膜設(shè)備種類繁多,根據(jù)鍍膜工藝和要求的不同,可以分為多種類型。以下是一些常見的真空鍍膜設(shè)備及其特點:蒸發(fā)鍍膜設(shè)備:原理:通過加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并沉降在基片表面形成薄膜。應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于裝飾性鍍膜,如手機(jī)殼、表殼、眼鏡架、五金、...
環(huán)保與節(jié)能低污染:與一些傳統(tǒng)的鍍膜工藝相比,真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中不使用大量的化學(xué)溶劑和電鍍液,減少了廢水、廢氣和廢渣的排放,對環(huán)境的污染較小。例如傳統(tǒng)的電鍍工藝會產(chǎn)生含有重金屬離子的廢水,處理難度大且成本高,而真空鍍膜則基本不存在此類問題。節(jié)能高效:真空鍍...
真空鍍膜設(shè)備是一種通過在真空環(huán)境中使鍍膜材料汽化或離化,然后沉積到工件表面形成薄膜的設(shè)備,其工作原理涉及真空環(huán)境營造、鍍膜材料汽化或離化、粒子遷移以及薄膜沉積等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。 真空環(huán)境的營造: 目的:減少空氣中氣體分子(如氧氣、氮氣)對鍍膜過程的干...
鍍膜材料的汽化或離化: 根據(jù)鍍膜工藝的不同,主要有以下兩種方式使鍍膜材料轉(zhuǎn)化為可沉積的粒子: 蒸發(fā)鍍膜(物理的氣相沉積 PVD 的一種)原理:通過加熱鍍膜材料(如金屬、合金、氧化物等),使其從固態(tài)直接汽化或升華為氣態(tài)原子 / 分子。 加熱...
膜層質(zhì)量好厚度均勻:在真空環(huán)境中,鍍膜材料的原子或分子能夠均勻地分布在基底表面,從而獲得厚度均勻的薄膜。例如,在光學(xué)鏡片鍍膜中,均勻的膜層厚度可以保證鏡片在不同區(qū)域的光學(xué)性能一致。純度高:真空鍍膜設(shè)備內(nèi)部的高真空環(huán)境有效減少了雜質(zhì)氣體的存在,降低了鍍膜過程中雜...
電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備:原理:利用電子束直接加熱靶材,使其蒸發(fā)并沉積在基片上。應(yīng)用:主要用于鍍制多層精密光學(xué)膜,如AR膜、長波通、短波通等,廣泛應(yīng)用于玻璃蓋板、攝像頭、眼鏡片、光學(xué)鏡頭等產(chǎn)品。離子鍍真空鍍膜設(shè)備:原理:通過離子轟擊靶材或基片,促進(jìn)靶材物質(zhì)的濺射和基...
真空鍍膜設(shè)備是在真空環(huán)境下,通過物理或化學(xué)方法將金屬、合金、半導(dǎo)體或化合物等材料沉積在基體表面形成薄膜的設(shè)備,膜層性能優(yōu)越: 高純度:在真空環(huán)境下進(jìn)行鍍膜,可有效減少雜質(zhì)氣體的混入,能獲得高純度的膜層。例如在光學(xué)鍍膜中,高純度的膜層可以減少光的散射和...
電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備:原理:利用電子束直接加熱靶材,使其蒸發(fā)并沉積在基片上。應(yīng)用:主要用于鍍制多層精密光學(xué)膜,如AR膜、長波通、短波通等,廣泛應(yīng)用于玻璃蓋板、攝像頭、眼鏡片、光學(xué)鏡頭等產(chǎn)品。離子鍍真空鍍膜設(shè)備:原理:通過離子轟擊靶材或基片,促進(jìn)靶材物質(zhì)的濺射和基...