GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng)集成的模塊化大批量生產系統(tǒng),用于對準晶圓鍵合特色技術數(shù)據(jù)GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng)可實現(xiàn)蕞高水平的自動化和過程集成。批量生產的晶圓對晶圓對準和蕞大200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執(zhí)行。器件制造...
納米壓印應用二:面板尺寸的大面積納米壓印 EVG專有的且經過大量證明的SmartNIL技術的***進展,已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3(550 mm x 650 mm)的基板上實現(xiàn)。對于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術和光子元...
2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像...
TS-300 TS系列產品中比較大的系列,比TS-140 / TS-150更大。 在公制(M6 x 25mm)或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。 頻率 負載范圍TS-300 負載范圍TS-3...
1)白光輪廓儀的典型應用: 對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包...
Herz Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應器 LFS-3性能 LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應器直接放到地板上和AVI系列產品連在組成一個正向...
EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV納米壓印光刻系統(tǒng)。 用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)?技術范圍達150m。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以**小的占地面積提供了** 新...
隨著時代的發(fā)展,輪廓儀也越來重要了,不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分...
EVG?850LT的LowTemp?等離子激/活模塊 2種標準工藝氣體:N2和O2以及2種其他工藝氣體:高純度氣體(99.999%),稀有氣體(Ar,He,Ne等)和形成氣體(N2,Ar含量蕞/高為4%的氣體)2) 通用質量流量控制器:蕞多可對4種工藝氣體進行...
HERCULES 光刻軌道系統(tǒng)技術數(shù)據(jù): 對準方式: 上側對準:≤±0.5 μm; 底側對準:≤±1,0 μm; 紅外校準:≤±2,0 μm /具體取決于基材 先進的對準功能: 手動對準; 自動對準; ...
EVG120光刻膠自動處理系統(tǒng): 智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能(框架軟件平臺) 用于過程和機器控制的集成分析功能 并行任務/排隊任務處理功能 設備和過程性能跟/蹤功能 智能處理功能: 事/故和警報分析/智能維護管理和跟/蹤...
生物醫(yī)療器械應用中的涂層生物醫(yī)療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層。 有些涂層是為了保護設備免受腐蝕,而其他的則是為了預防組 織損傷、***或者是排異反應。 藥 物傳輸涂層也變得日益普通。 其它生物醫(yī)學器械,如血管成型球囊,具有**的隔膜,必須具有均...
我們應該如何正確使用輪廓儀? 一、準備工作 1.測量前準備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 二、測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固...
為了優(yōu)化工藝鏈,HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,這是大批量生產的基石,不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能,該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環(huán)境,以確保比較低的缺 陷率和比較高質量的原版復制。 通過為大批量...
EVG?560自動晶圓鍵合機系統(tǒng)全自動晶圓鍵合系統(tǒng),用于大批量生產特色技術數(shù)據(jù)EVG560自動化晶圓鍵合系統(tǒng)蕞多可容納四個鍵合室,并具有各種鍵合室配置選項,適用于所有鍵合工藝和蕞/大300mm的晶圓。EVG560鍵合機基于相同的鍵合室設計,并結合了EVG手動鍵...
TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振 從0.7 Hz 到100 Hz 在21世紀納米技術(即先進的半導體**相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產), 振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度...
硬涂層厚度測量Filmetrics 系統(tǒng)在汽車和航空工業(yè)得到廣泛應用,用于測量硬涂層和其他保護性薄膜的厚度。F10-HC 是為彎曲表面和多層薄膜 (例如, 底涂/硬涂層) 而專門設計的。 汽車前燈在汽車前燈組件的制造中需要進行多點測量,因為涂層厚度對...
新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔*后,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描...
TS特點: ◎在全部的6個自由度范圍內,從0.7Hz到100Hz,TS系列產品提供優(yōu)良的主動隔振性能。 ◎當儀器裝載時,高度調整會自動進行。 ◎即使當負載偏離中心時,自動調平功能也能保持水準。當高重心的儀器被加載時,給予穩(wěn)定性。 ◎...
EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經濟高 效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于**小50 nm的特征尺寸。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結構...
EVG公司技術開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補充說:“我們開發(fā)新技術和工藝以應對*復雜的挑戰(zhàn),幫助我們的客戶成功地將其新產品創(chuàng)意商業(yè)化。技術,我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心?!霸诰哂斜Wo客戶IP的強大政...
FSM 413 紅外干涉測量設備 關鍵詞:厚度測量,光學測厚,非接觸式厚度測量,硅片厚度,氮化硅厚度,激光測厚,近紅外光測厚,TSV, CD, Trench,砷化鎵厚度,磷化銦厚度,玻璃厚度測量,石英厚度,聚合物厚度, 背磨厚度,上下兩個測試頭。Mi...
UV納米壓印光刻系統(tǒng) EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT:具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng) ■高精度對準臺 ■自動楔形誤差補償機制 ■電動和程序控制的曝光間隙 ■支持***的UV-LED技術 ...
一旦認為模具有缺陷,墨水標記就會滲出模具,以便于視覺隔離。典型的目標是在100萬個管芯中,少于6個管芯將是有缺陷的。還需要考慮其他因素,因此可以優(yōu)化芯片恢復率。 質量體系確保模具的回收率很高。晶圓邊緣上的裸片經常會部分丟失。芯...
FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng) FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360 FSM拉曼的應用 l 局部應力; l 局部化學成分 l 局部損傷 紫外光可測試的深度 ***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚...
晶圓級封裝在封裝方式上與傳統(tǒng)制造不同。該技術不是將電路分開然后在繼續(xù)進行測試之前應用封裝和引線,而是用于集成多個步驟。在晶片切割之前,將封裝的頂部和底部以及焊錫引線應用于每個集成電路。測試通常也發(fā)生在晶片切割之前。 像許多其他常見的組件封...
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別: 關于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪...
TS-150 TS-150結合了久經考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計 TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db 缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多 TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出...
EVG120光刻膠自動處理系統(tǒng): 智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能(框架軟件平臺) 用于過程和機器控制的集成分析功能 并行任務/排隊任務處理功能 設備和過程性能跟/蹤功能 智能處理功能: 事/故和警報分析/智能維護管理和跟/蹤...
NIL系統(tǒng)肖特增強現(xiàn)實負責人RuedigerSprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm,對于實現(xiàn)我們客戶滿足當今和未來**AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經濟產量來說至關重要。通過攜手合作,EVG和肖特彰顯了當今...