5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應(yīng)減少凹凸面。2踢腳不應(yīng)突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當(dāng)必須采用時(shí)宜采用干燥作業(yè),抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50210中高級(jí)抹灰的要求。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。...............有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。湖北生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦
B.2.1.3粒徑限制器為獲得測(cè)量或驗(yàn)證U描述符所需的計(jì)數(shù)效率特性,可在計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器的采樣管上,安裝一個(gè)粒徑限制器。改動(dòng)后,計(jì)數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子,以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過(guò)率。粒徑限制器多種多樣,其大小和配置各異,只要它們具有所要求的透過(guò)率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器。透過(guò)率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此,使用粒徑限制器時(shí)要小心,它們只能用于規(guī)定的流量,安裝時(shí)要防靜電累積。為了減少電荷累積,粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。河北消毒液凈化車間環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好潔凈室(區(qū))溫度應(yīng)為18~26℃,相對(duì)濕度應(yīng)為45%~65%。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
4.1.1潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定,并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí),應(yīng)位于比較大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè),或全年極小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。3應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔,人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇,應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響,并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。4.1.3潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的極近距離宜大于50m。4.1.4潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道,也可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。4.1、5潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。4.1.6潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化??射佒膊萜海粦?yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物,并不得妨礙消防作業(yè)。潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行的密閉性較好的空間。
4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施。2存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜,潔凈工作服宜集中掛人帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處,并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。6嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。驗(yàn)證生物潔凈室的步驟主要分為三個(gè)部分:1、驗(yàn)證安裝;2、驗(yàn)證操作;3、驗(yàn)證性能。上海國(guó)內(nèi)檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格
壓差檢測(cè)有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。湖北生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦
每臺(tái)風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點(diǎn)平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測(cè)定用風(fēng)量罩測(cè)試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過(guò)濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過(guò)濾器之間沒(méi)有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計(jì)設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個(gè)過(guò)濾器和安裝所有邊框和接點(diǎn)。采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件:a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個(gè)濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f)采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過(guò)濾器完整性檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)(高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3。湖北生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦