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發(fā)布時間:2025-07-09
石墨烯、二硫化鉬等二維材料的器件制備依賴高精度圖案轉移,Polos 光刻機的激光直寫技術避免了傳統(tǒng)濕法轉移的污染問題。某納米電子實驗室在 SiO基底上直接曝光出 10nm 間隔的電極陣列,成功制備出石墨烯場效應晶體管,其電子遷移率達 2×10 cm/(Vs),接近理論極限。該技術支持快速構建多種二維材料異質結,使器件研發(fā)效率提升 5 倍,相關成果推動二維材料在柔性電子、量子計算領域的應用研究進入快車道。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領域。該系統(tǒng)的經濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。無掩模技術優(yōu)勢:摒棄傳統(tǒng)掩模,圖案實時調整,研發(fā)成本降低 70%,小批量生產經濟性突出。天津POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
在tumor轉移機制研究中,某tumor研究中心利用 Polos 光刻機構建了仿生tumor微環(huán)境芯片。通過無掩模激光光刻技術,在 PDMS 基底上制造出三維tumor血管網絡與間質纖維化結構,其中血管直徑可精確控制在 10-50μm。實驗顯示,該芯片模擬的tumor微環(huán)境中,tumor細胞遷移速度較傳統(tǒng)二維培養(yǎng)提升 2.3 倍,且化療藥物滲透效率降低 40%,與臨床數(shù)據(jù)高度吻合。該團隊通過軟件實時調整通道曲率和細胞外基質密度,成功復現(xiàn)了tumor細胞上皮 - 間質轉化(EMT)過程,相關成果發(fā)表于《Cancer Research》,并被用于新型抗轉移藥物的篩選平臺開發(fā)。天津POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸Polos-BESM 光刻機:無掩模激光技術,成本降低 50%,任意圖案輕松輸入,適配實驗室微納加工。
德國 Polos 光刻機系列是電子學領域不可或缺的精密設備。其無掩模激光光刻技術,讓電路圖案曝光不再受限于掩模,能夠實現(xiàn)超高精度的圖案繪制。在芯片研發(fā)過程中,Polos 光刻機可precise刻畫出納米級別的電路結構,為芯片性能提升奠定基礎。 科研團隊使用 Polos 光刻機,成功開發(fā)出更高效的集成電路,降低芯片能耗,提高運算速度。而且,該光刻機可輕松輸入任意圖案,滿足不同電子元件的多樣化設計需求。無論是新型傳感器的電路制作,還是微型處理器的研發(fā),Polos 光刻機都能以高精度、低成本的優(yōu)勢,為電子學領域的科研成果產出提供有力保障,推動電子技術不斷創(chuàng)新。
在微流體領域,Polos系列光刻機通過無掩模技術實現(xiàn)了復雜3D流道結構的快速成型。例如,中科院理化所利用類似技術制備跨尺度微盤陣列,研究細胞球浸潤行為,為組織工程提供了新型生物界面設計策略10。Polos設備的精度與靈活性可支持此類仿生結構的批量生產,推動醫(yī)療診斷芯片的研發(fā)。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協(xié)的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優(yōu)勢。Polos-BESM XL:大尺寸加工空間,保留緊湊設計,科研級精度實現(xiàn)復雜結構一次性成型。
某集成電路實驗室利用 Polos 光刻機開發(fā)了基于相變材料的存算一體芯片。其激光直寫技術在二氧化硅基底上實現(xiàn)了 100nm 間距的電極陣列,器件的讀寫速度達 10ns,較傳統(tǒng) SRAM 提升 100 倍。通過在電極間集成 20nm 厚的 Ge2Sb2Te5 相變材料,芯片實現(xiàn)了計算與存儲的原位融合,能效比達 1TOPS/W,較傳統(tǒng)馮諾依曼架構提升 1000 倍。該技術被用于邊緣計算設備,使圖像識別延遲從 50ms 縮短至 5ms,相關芯片已進入小批量試產階段。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領域。該系統(tǒng)的經濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。能源收集:微型壓電收集器效率 35%,低頻振動發(fā)電支持無源物聯(lián)網。北京PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米
緊湊桌面設計:Polos-BESM系統(tǒng)only占桌面空間,適合實驗室高效原型開發(fā)。天津POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
在科研領域,設備的先進程度往往決定了研究的深度與廣度。德國的 Polos - BESM、Polos - BESM XL、SPS 光刻機 POLOS 帶來了革新之光。它們運用無掩模激光光刻技術,摒棄了傳統(tǒng)光刻中昂貴且制作周期長的掩模,極大降低了成本。這些光刻機可輕松輸入任意圖案進行曝光,在微流體、電子學和納 / 微機械系統(tǒng)等領域大顯身手。例如在微流體研究中,能precise制造復雜的微通道網絡,助力藥物傳輸、細胞培養(yǎng)等研究。在電子學方面,可實現(xiàn)高精度的電路圖案曝光,為芯片研發(fā)提供有力支持。其占用空間小,對于空間有限的研究實驗室來說堪稱完美。憑借出色特性,它們已助力眾多科研團隊取得成果,成為科研創(chuàng)新的得力助手 。天津POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸