溫州光學(xué)傳感芯片MEMS微納加工配套服務(wù)

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司成立于2022年9月，作為一家兼具產(chǎn)品開發(fā)能力和技術(shù)加工能力的科技型企業(yè)，國(guó)家科技型中小企業(yè)，寧波股權(quán)交易中心掛牌企業(yè)。啟樸芯微團(tuán)隊(duì)具有多年的MEMS智能制造與智能傳感研究經(jīng)驗(yàn)，專注像元級(jí)光譜和偏振超維光學(xué)芯片研發(fā)，及光學(xué)系統(tǒng)解決方案設(shè)計(jì)，將結(jié)構(gòu)輕便、精細(xì)度高、材料強(qiáng)度高、可定制性等技術(shù)優(yōu)勢(shì)賦予光譜成像系統(tǒng)的研制工藝，形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光譜濾波芯片及其成像系統(tǒng)，并通過自主掌握MEMS晶圓級(jí)加工制造能力，實(shí)現(xiàn)集成芯片和模塊化光譜成像相機(jī)的自主研制。作為一個(gè)兼具產(chǎn)品開發(fā)能力和技術(shù)加工能力的科技型企業(yè)，啟樸芯微團(tuán)隊(duì)精益求精。溫州光學(xué)傳感芯片MEMS微納加工配套服務(wù)

在MEMS智能制造與智能傳感裝備設(shè)計(jì)研究領(lǐng)域，啟樸芯微擁有一支由專業(yè)博士組成的精英團(tuán)隊(duì)，曾多次獲得、省部級(jí)技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)項(xiàng)，并參與國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定，在微納傳感器件的設(shè)計(jì)、制造、應(yīng)用領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富。自成立以來，本著“斫雕為樸，芯程再啟”的宗旨，啟樸芯微持續(xù)參與MEMS智能制造與智能傳感裝備的設(shè)計(jì)研究，已形成多項(xiàng)發(fā)明專利、實(shí)用新型專利，團(tuán)隊(duì)?wèi){借深厚的學(xué)術(shù)背景和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，不斷攻克技術(shù)難關(guān)，推動(dòng)公司產(chǎn)品和服務(wù)的持續(xù)升級(jí)，贏得了廣大客戶的信賴和支持。福建智能制造MEMS微納加工業(yè)務(wù)咨詢啟樸芯微，持續(xù)追求“精耕細(xì)耘，以業(yè)為本”的服務(wù)目標(biāo)，精益求精！

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“啟樸芯微”）是一家專注于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的****，成立于西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院的孵化體系中，并在短時(shí)間內(nèi)憑借技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)及代工服務(wù)，擁有自主可控的8英寸MEMS工藝產(chǎn)線，兼容6/4英寸晶圓級(jí)加工，覆蓋光刻、深硅刻蝕、薄膜沉積、晶圓鍵合、激光切割等**工藝能力，為行業(yè)提供從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)到封裝測(cè)試的全鏈條服務(wù)36。其技術(shù)團(tuán)隊(duì)在MEMS領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富，尤其在光學(xué)類與SOI（絕緣體上硅）特色工藝方面具備***優(yōu)勢(shì)，例如通過原子層沉積（ALD）技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜制備，提升器件性能與可靠性。

8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線，配套激光隱切機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)等一整套前沿技術(shù)設(shè)備，由此，啟樸芯微具備為客戶提供質(zhì)量產(chǎn)品服務(wù)的能力，百級(jí)/萬級(jí)室內(nèi)MEMS加工無菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室，賦予啟樸芯微強(qiáng)大的加工與測(cè)試能力，兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工，更充分支持實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)MEMS技術(shù)企業(yè)、科研院所和高校的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片代工和測(cè)試應(yīng)用需求。寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司專注于像元級(jí)光譜和偏振超維光學(xué)芯片及光學(xué)系統(tǒng)解決方案，擁有自主可控的寧波i首條8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線，兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工。公司擁有辦公與生產(chǎn)區(qū)域共1000余平方米，百級(jí)/萬級(jí)MEMS加工無菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室，同步配備倉儲(chǔ)空間，生產(chǎn)過程嚴(yán)格遵循相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，為國(guó)內(nèi)傳感智能技術(shù)企業(yè)、科研院所、高校提供高質(zhì)量的MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片代工、測(cè)試應(yīng)用服務(wù)。公司持續(xù)構(gòu)建具有凝聚力、自驅(qū)力的智能傳感領(lǐng)域工程師隊(duì)伍。

寧波啟樸芯微自主可控國(guó)內(nèi)首條8英寸MEMS規(guī)?；庸し?wù)ODM產(chǎn)線，實(shí)驗(yàn)區(qū)內(nèi)設(shè)置有激光隱切機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、電子束蒸鍍儀、鍵合機(jī)、濕法腐蝕系統(tǒng)、磁控濺射儀、原子層沉積設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、自動(dòng)涂膠顯影系統(tǒng)等整套技術(shù)設(shè)備，加工區(qū)域1000余平方米，具備**研發(fā)室、光學(xué)實(shí)驗(yàn)室，配套百級(jí)/萬級(jí)室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實(shí)驗(yàn)室，可以***支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圓級(jí)MEMS技術(shù)研發(fā)和加工制造，自建立以來已服務(wù)200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè)，并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務(wù)型示范平臺(tái)、寧波市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等。啟樸芯微，助力構(gòu)建千萬級(jí)本土產(chǎn)業(yè)規(guī)模，推動(dòng)行業(yè)發(fā)展！天津高精度MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

啟樸芯微，擁有先進(jìn)的8英寸MEMS研發(fā)與微納加工服務(wù)中試線，設(shè)備齊全！溫州光學(xué)傳感芯片MEMS微納加工配套服務(wù)

MEMS技術(shù)已滲透到消費(fèi)電子、汽車、醫(yī)療、工業(yè)及航空航天等多個(gè)領(lǐng)域。在消費(fèi)電子中，智能手機(jī)依賴MEMS加速度計(jì)、陀螺儀實(shí)現(xiàn)屏幕旋轉(zhuǎn)和運(yùn)動(dòng)追蹤，麥克風(fēng)與氣壓計(jì)也基于MEMS技術(shù)；智能手表通過光學(xué)MEMS傳感器監(jiān)測(cè)心率。在汽車行業(yè)，MEMS壓力傳感器用于發(fā)動(dòng)機(jī)控制，安全氣囊的觸發(fā)依賴加速度計(jì)，胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（TPMS）也由其實(shí)現(xiàn)。醫(yī)療領(lǐng)域，MEMS被用于可穿戴健康監(jiān)測(cè)設(shè)備、微型藥物輸送泵及高精度手術(shù)工具，例如內(nèi)窺鏡中的**頭。此外，工業(yè)自動(dòng)化中的振動(dòng)監(jiān)測(cè)、環(huán)境傳感（如溫濕度、氣體檢測(cè)）以及航空航天中的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)均離不開MEMS。其小型化和低功耗特性尤其適合物聯(lián)網(wǎng)（IoT）設(shè)備，推動(dòng)了智慧城市和遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)的發(fā)展。溫州光學(xué)傳感芯片MEMS微納加工配套服務(wù)