電子探針X射線顯微分析儀(簡稱電子探針)利用約1Pm的細焦電子束,在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線,根據(jù)特征X射線的波長和強度,進行微區(qū)化學(xué)成分定性或定量分析。電子探針的光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同,通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器,同時兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機系統(tǒng)以外,還主要包括分光系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)等部分。電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒),X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。波譜儀的關(guān)鍵在于怎樣實現(xiàn)將未知的特征譜線與已知元素Z聯(lián)系起來?嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
(3)X射線強度測量系統(tǒng)。特征X射線,由B系統(tǒng)中的計數(shù)管接收,并轉(zhuǎn)換成電脈沖,通過脈沖高度分析儀、計數(shù)率計、定標器、電子電位計將其強度測量出來。(4)光學(xué)顯微鏡目測系統(tǒng)。用以準確選擇需要分析的區(qū)域,并作光學(xué)觀察。(5)背散射電子圖像系統(tǒng)。(6)吸收電子圖像系統(tǒng)。(7)特征X射線圖像系統(tǒng)。電子探針的技術(shù)**是利用X射線晶體光學(xué),主要應(yīng)用兩種方法:1)晶體衍射法(X射線光譜法)。利用晶體轉(zhuǎn)到一定角度,來衍射某種波長的X射線,通過讀出晶體不同的衍射角,求出X射線的波長,從而定出樣品所含的元素。青浦區(qū)優(yōu)勢探針推薦貨源探針卡是一種測試接口,主要對裸芯進行測試,通過連接測試機和芯片,通過傳輸信號對芯片參數(shù)進行測試.。
電子探針分析是指以聚焦的高速電子來激發(fā)出試樣表面組成元素的特征X射線,對微區(qū)成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗,又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是:以動能為10~30千電子伏的細聚焦電子束轟擊試樣表面,擊出表面組成元素的原子內(nèi)層電子,使原子電離,此時外層電子迅速填補空位而釋放能量,從而產(chǎn)生特征X射線。電子探針的功能主要是進行微區(qū)成分分析。它是在電子光學(xué)和X射線光譜學(xué)原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種高效率分析儀器。其原理是用細聚焦電子束入射樣品表面,激發(fā)出樣品元素的特征x射線,分析特征X射線的波長(或特征能量)即可知道樣品中所含元素的種類(定性分析),分析X射線的強度,則可知道樣品中對應(yīng)元素含量的多少(定量分析)。
2.界面探針(Interface Probes)非標準的探針,一般是為少數(shù)做大型測試機臺的客戶定做的,例如泰瑞達(Teradyne)和安捷倫(Agilent).用于測試機臺與測試夾具的接觸點和面.3.微型探針(MicroSeries Probes)兩個測試點中心間距一般為0.25mm至0.76mm.4.開關(guān)探針(Switch Probes)開關(guān)探針單獨一支探針有兩路電流.5.高頻探針(Coaxial Probes)用于測試高頻信號,有帶屏蔽圈的可測試10GHz以內(nèi)的和500MHz不帶屏蔽圈的.6.旋轉(zhuǎn)探針(Rotator Probes)彈力一般不高,因為其穿透性本來就很強,一般用于OSP處理過的PCBA測試.計算時應(yīng)用布拉格方程:nλ=2dsinθ。
血凝素與生物素有非常高的親和性,當血凝素標記上過氧化物酶或堿性磷酸酶,經(jīng)雜交反應(yīng)**終形成探針-生物素-血凝素酶復(fù)合物(ABC法),酶催化底物顯色,觀察結(jié)果。ABC法底物顯色生成不溶物,以便觀測結(jié)果。酶標記法復(fù)雜、重復(fù)性差,成本高,但便于運輸、保存,靈敏度與放射物標記法相當。探針標記方法①缺口平移標記法。利用的是DNA聚合酶I能修復(fù)DNA鏈的功能。該法先由DNaseI在DNA雙鏈上隨機切出切口,然后DNA聚合酶I沿缺口水解5´端核苷酸,同時在3´端修復(fù)加入被標記核苷酸,切口平行推移。缺口平移法快速、簡便、成本相對較低、比活性相對較高、標記均勻,多用于大分子DNA標記,(>1000bp比較好),但單鏈DNA、RNA不能用該法標記。近年來半導(dǎo)體制程技術(shù)突飛猛進,超前摩爾定律預(yù)估法則好幾年,現(xiàn)階段已向7奈米以下挺進。嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
電子探針又稱微區(qū)X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量,足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,作為X射線的激發(fā)源。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號強度,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),常用的加速電壓為10-30 KV,束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是,先利用能發(fā)出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,這是就能觀察到電子束轟擊點的位置,通過樣品移動裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點上,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上,同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡,其優(yōu)點是光學(xué)觀察和X射線分析可同時進行。放大倍數(shù)為100-500倍。嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
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