分子真空泵的應(yīng)用情況: 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。真空泵的油要具有良好的熱氧化安定性。減壓蒸餾真空泵多少錢
真空泵相關(guān)的術(shù)語解釋: 1.流量 單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。 2.流導(dǎo) 表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U=Q/(P2- P1) 3.壓力或壓強 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。 4.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。 5.極限真空 真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣,再經(jīng)12小時抽真空,較后一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。上海工業(yè)真空泵哪里有賣真空泵用于抽潔凈氣體,不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、溶劑及粉末等。
為達到較佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,真空泵選型應(yīng)考慮下述各點: 1.當(dāng)您選擇油封泵時,您應(yīng)該首先了解您的真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、擋油阱、擋板等,也能達到清潔真空要求。 2.了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸汽,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。 3.當(dāng)選擇油封真空泵時,要考慮真空泵排出來的油蒸汽(油煙)對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,應(yīng)該選無油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。
隨著真空技術(shù)對其在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中應(yīng)用壓力范圍的要求越來越普遍,它們中的大多數(shù)必須由幾個真空泵組成以形成一個系統(tǒng)以達到科學(xué)研究和生產(chǎn)過程的要求。常用的真空泵包括:干螺桿真空泵,水環(huán)泵,往復(fù)泵,滑閥泵,旋片泵,羅茨泵和擴散泵等。這些泵是真空泵技術(shù)在我國國民經(jīng)濟的泵類各行業(yè)中應(yīng)用的主要力量。 真空泵體的結(jié)構(gòu)分為:垂直結(jié)構(gòu)和水平結(jié)構(gòu)。垂直結(jié)構(gòu):進氣口和排氣口水平放置,因此易于安裝和連接管道。但是,該泵的重心較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性較差,因此主要用于小型泵。水平結(jié)構(gòu):泵的進氣口在頂部,排氣口在底部。有時,為了方便真空系統(tǒng)管道的安裝和連接,可以從水平方向連接排氣口,即進氣口和出氣口的方向相互垂直。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體,會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng),腐蝕泵內(nèi)零件。
真空泵是指使用機械,物理,化學(xué)或物理化學(xué)方法從被抽出的容器中抽出空氣以獲得真空的設(shè)備。一般而言,真空泵是一種使用各種方法來增強,產(chǎn)生和維持封閉空間中的真空的裝置。由于真空應(yīng)用部門涉及的工作壓力范圍很廣,因此任何類型的真空泵都不可能完全適合所有工作壓力范圍。只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求使用不同類型的真空泵。為了促進各種真空過程的使用和需求,有時會根據(jù)其性能要求組合多個真空泵,以形成適用于該真空系統(tǒng)的真空單元。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。江蘇工業(yè)真空泵工廠
真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。減壓蒸餾真空泵多少錢
真空泵相關(guān)的術(shù)語解釋: 1.真空的定義 真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。 2.真空度 處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。 3.真空度單位 通常用托(Torr)為單位,國際上取用帕(Pa)作為單位。 1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱 4.托與帕的轉(zhuǎn)換 1托=133.322帕,或1帕=7.5×10-3托。 5.平均自由程 作無規(guī)則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。減壓蒸餾真空泵多少錢
愛德華真空設(shè)備股份有限公司是一家泵及真空設(shè)備.真空干燥設(shè)備.電子真空器件.空氣壓縮機制造.小時.貨物及技術(shù)進出口。氣動工具及配件.塑料制品制造.銷售。公司專業(yè)生產(chǎn)各種型號規(guī)格羅茨機械增壓泵、滑閥式真空泵和雙級旋片泵系列產(chǎn)品、QBY系列氣動隔膜泵。的公司,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實、誠實可信的企業(yè)。愛德華真空設(shè)備擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊,以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供羅茨泵,滑閥泵,旋片泵,隔膜泵。愛德華真空設(shè)備不斷開拓創(chuàng)新,追求出色,以技術(shù)為先導(dǎo),以產(chǎn)品為平臺,以應(yīng)用為重點,以服務(wù)為保證,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,提供更優(yōu)服務(wù)。愛德華真空設(shè)備始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時代,對自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使愛德華真空設(shè)備在行業(yè)的從容而自信。