8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測(cè)量技術(shù),適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):測(cè)量范圍廣,適用性強(qiáng)。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)(1)放射性電離真空計(jì)原理:利用放射性物質(zhì)電離氣體分子測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):無(wú)需電源,穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):放射性物質(zhì)存在安全隱患。應(yīng)用:特殊環(huán)境真空測(cè)量。(2)聲波真空計(jì)原理:通過(guò)聲波傳播速度變化測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):非接觸式測(cè)量。缺點(diǎn):精度較低。應(yīng)用:特定工業(yè)應(yīng)用。皮拉尼真空計(jì)測(cè)量范圍?溫州mems皮拉尼真空計(jì)公司
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。根據(jù)測(cè)量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過(guò)加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時(shí),燈絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)測(cè)量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時(shí),燈絲的溫度和電阻值也會(huì)相應(yīng)變化。通過(guò)測(cè)量通過(guò)燈絲的電流變化,可以間接測(cè)量真空壓力。上海電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)電容真空計(jì)的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)。
辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開(kāi)發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開(kāi)發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響。
真空計(jì)的拆裝需要謹(jǐn)慎操作,以確保設(shè)備不受損壞并保持測(cè)量精度。以下是拆裝真空計(jì)的一般步驟和注意事項(xiàng)。拆卸步驟斷電與泄壓:關(guān)閉電源,確保系統(tǒng)斷電。緩慢泄壓,確保系統(tǒng)內(nèi)無(wú)殘余壓力。斷開(kāi)連接:斷開(kāi)電氣連接,標(biāo)記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開(kāi)真空計(jì)與系統(tǒng)的連接。拆卸真空計(jì):按說(shuō)明書(shū)拆卸固定螺栓或夾具。小心取下真空計(jì),避免碰撞或掉落。檢查與清潔:檢查真空計(jì)和連接部件有無(wú)損壞或污染。清潔接口和密封面,確保無(wú)雜質(zhì)。皮拉尼真空計(jì)的測(cè)量原理和特點(diǎn)有?
1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方便地更換新的傳感器,從而延長(zhǎng)真空計(jì)的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發(fā)展,真空計(jì)正朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。小型化的真空計(jì)更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計(jì)則能夠與其他設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行集成,實(shí)現(xiàn)更加智能化的監(jiān)測(cè)和控制。然而,真空計(jì)也存在一些局限性,如某些類型的真空計(jì)易被污染、測(cè)量范圍相對(duì)較窄等。因此,在選擇和使用真空計(jì)時(shí),需要綜合考慮其優(yōu)缺點(diǎn)以及具體的應(yīng)用需求。綜上所述,真空計(jì)具有高精度、使用方便、穩(wěn)定性能良好、測(cè)量范圍廣、多種測(cè)量原理、易維護(hù)以及小型化和集成化等特點(diǎn)。這些特點(diǎn)使得真空計(jì)在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿ΑU婵沼?jì)的讀數(shù)可能會(huì)受到外部環(huán)境因素的影響。上海陶瓷真空計(jì)
哪些品牌的真空計(jì)質(zhì)量更好?溫州mems皮拉尼真空計(jì)公司
真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng)、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí),這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計(jì)通過(guò)測(cè)量這種壓力來(lái)間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度。不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,例如:利用力學(xué)性能的真空計(jì):如波爾登真空計(jì)和薄膜電容規(guī),它們通過(guò)測(cè)量氣體對(duì)某種力學(xué)元件(如薄膜)的作用力來(lái)推算真空度。利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過(guò)測(cè)量氣體分子在電離過(guò)程中產(chǎn)生的電流來(lái)推算真空度。這類真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測(cè)量精度。溫州mems皮拉尼真空計(jì)公司