激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量,具有非接觸、無損檢測的特點,已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用?,F(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學的幾乎全部知識的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質(zhì):單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:溫濕度、壓力傳感器誤差。濟南激光干涉儀廠商
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時穩(wěn)定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。濟南激光干涉儀廠商激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。
激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。
激光干涉儀的使用注意事項:激光干涉儀的使用注意事項激光干涉儀必須定人保管,機加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。激光干涉儀必須定人保管,機加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。對激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動,安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發(fā)生。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點。
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調(diào)整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。雷尼紹XL-80激光干涉儀
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性。濟南激光干涉儀廠商
激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。濟南激光干涉儀廠商