激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線(xiàn)度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。為通過(guò)受激發(fā)射線(xiàn)的放射達(dá)到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長(zhǎng)輸出。激光具有三個(gè)重要特性:激光波長(zhǎng)非常穩(wěn)定,可以滿(mǎn)足精密測(cè)量的要求。激光波長(zhǎng)非常短,可以用于高精度測(cè)量。激光具有干涉特性。激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測(cè)量。廣州科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀供應(yīng)商
激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、比較高測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線(xiàn)性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。湖北激光干涉儀品質(zhì)保障激光干涉儀具有有線(xiàn)性測(cè)量鏡組、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線(xiàn)性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒(méi)有變化時(shí),激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。當(dāng)高壓連接在陽(yáng)極和陰極之間時(shí),混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過(guò)放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來(lái)成為輸出激光光束。其中,為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),通過(guò)加熱器控制激光管長(zhǎng)度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以?xún)?nèi),此時(shí)穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測(cè)量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長(zhǎng)輸出。
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應(yīng)用呢?可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,滿(mǎn)足機(jī)床誤差修正的要求。具有實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能??梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線(xiàn)度;并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)??梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線(xiàn)圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。激光干涉儀有測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。
鏡組的靈活使用:激光干涉儀具有有線(xiàn)性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線(xiàn)度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿(mǎn)足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線(xiàn)性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí),激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用,常見(jiàn)的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測(cè)量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測(cè)量技巧,在滿(mǎn)足測(cè)量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光干涉儀購(gòu)買(mǎi)
激光干涉儀使用注意事項(xiàng):盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。廣州科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀供應(yīng)商
激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)較高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。廣州科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀供應(yīng)商