渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下，動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)（動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度，一般為150~400米/秒）。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從...

3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過電離氣體分子來測(cè)量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計(jì)原理：利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，通過離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高、測(cè)量范圍廣。缺點(diǎn)：熱陰極易...

金屬電容薄膜真空計(jì)由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí)，薄膜電容會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測(cè)量電路負(fù)責(zé)測(cè)量這個(gè)電容的變化，并將之轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。具體來說，施加到電容薄膜上的壓力變化會(huì)導(dǎo)致膜片間距離變化，進(jìn)而引起電容的變化。通過測(cè)量電容...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低意味著真空度高。用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。本書所述壓力的測(cè)量是指比大氣壓力小得多的...

辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì)，已實(shí)現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化，產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試，填補(bǔ)了MKS對(duì)國內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金...

真空計(jì)是用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，具有多種特點(diǎn)，使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn)：1. 寬量程適用：真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍（如10^-1 Pa到10^-10 Pa）。多類型選擇：不同類型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精...

陶瓷薄膜真空計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造：用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜：確保鍍膜質(zhì)量。科研實(shí)驗(yàn)：用于高精度真空測(cè)量。醫(yī)療設(shè)備：如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點(diǎn)：成本較高，對(duì)安裝和使用環(huán)境要求嚴(yán)格。維護(hù)與保養(yǎng)定期校準(zhǔn)以確...

皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來測(cè)量真空度。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲（通常為鉑絲），該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂（電阻）。在測(cè)量過程中，加熱絲由恒定電流加熱，溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí)，由于氣體分子數(shù)量減少，加...

選擇真空計(jì)應(yīng)該注意什么6.安裝與接口安裝方式：根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)選擇合適的安裝方式，如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性：確保真空計(jì)的接口與系統(tǒng)兼容。7.電源與信號(hào)輸出電源需求：選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計(jì)。信號(hào)輸出：根據(jù)需求選擇模擬信號(hào)（如4-20mA、0-10V）...

（1）真空計(jì)直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測(cè)力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān)，屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。（2）相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力，不能通...

由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛，任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境，只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵，或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來表示，根據(jù)真空度的不同，又...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低意味著真空度高。用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。本書所述壓力的測(cè)量是指比大氣壓力小得多的...

1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理，如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如，有些真空計(jì)的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方...

（1）利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)力學(xué)效應(yīng)來推算真空度，典型**有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a）皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來測(cè)量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí)，熱絲的熱傳導(dǎo)性能會(huì)受到影響，進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)...

3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過電離氣體分子來測(cè)量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計(jì)原理：利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，通過離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高、測(cè)量范圍廣。缺點(diǎn)：熱陰極易...

1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過物理形變或液柱高度差來測(cè)量壓力，適用于粗真空和低真空范圍。（1）U型管壓力計(jì)原理：利用液柱（如水或汞）的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：通常為大氣壓到約 1 Torr（133 Pa）。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點(diǎn)：精度較低，不適用于...

1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過物理形變或液柱高度差來測(cè)量壓力，適用于粗真空和低真空范圍。（1）U型管壓力計(jì)原理：利用液柱（如水或汞）的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：通常為大氣壓到約 1 Torr（133 Pa）。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點(diǎn)：精度較低，不適用于...

選擇真空計(jì)應(yīng)該注意什么6.安裝與接口安裝方式：根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)選擇合適的安裝方式，如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性：確保真空計(jì)的接口與系統(tǒng)兼容。7.電源與信號(hào)輸出電源需求：選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計(jì)。信號(hào)輸出：根據(jù)需求選擇模擬信號(hào)（如4-20mA、0-10V）...

金屬電容薄膜真空計(jì)由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí)，薄膜電容會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測(cè)量電路負(fù)責(zé)測(cè)量這個(gè)電容的變化，并將之轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。具體來說，施加到電容薄膜上的壓力變化會(huì)導(dǎo)致膜片間距離變化，進(jìn)而引起電容的變化。通過測(cè)量電容...

由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛，任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境，只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵，或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來表示，根據(jù)真空度的不同，又...

陶瓷薄膜真空計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造：用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜：確保鍍膜質(zhì)量?？蒲袑?shí)驗(yàn)：用于高精度真空測(cè)量。醫(yī)療設(shè)備：如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點(diǎn)：成本較高，對(duì)安裝和使用環(huán)境要求嚴(yán)格。維護(hù)與保養(yǎng)定期校準(zhǔn)以確...

陶瓷薄膜真空計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造：用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜：確保鍍膜質(zhì)量?？蒲袑?shí)驗(yàn)：用于高精度真空測(cè)量。醫(yī)療設(shè)備：如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點(diǎn)：成本較高，對(duì)安裝和使用環(huán)境要求嚴(yán)格。維護(hù)與保養(yǎng)定期校準(zhǔn)以確...

6. 麥克勞真空計(jì)麥克勞真空計(jì)，通過壓縮氣體測(cè)量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高，無需校準(zhǔn)。缺點(diǎn)：操作復(fù)雜，響應(yīng)慢。應(yīng)用：實(shí)驗(yàn)室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜...

由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛，任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境，只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵，或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來表示，根據(jù)真空度的不同，又...

1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過物理形變或液柱高度差來測(cè)量壓力，適用于粗真空和低真空范圍。（1）U型管壓力計(jì)原理：利用液柱（如水或汞）的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：通常為大氣壓到約 1 Torr（133 Pa）。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點(diǎn)：精度較低，不適用于...

電容薄膜真空計(jì)：屬彈性元件真空計(jì)，其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室，即參考?jí)簭?qiáng)室和測(cè)量室。測(cè)量低壓強(qiáng)（P<100帕）時(shí)，參考室抽至高真空，其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測(cè)量室壓強(qiáng)不同時(shí)，薄膜變形的程度也不同。在測(cè)量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個(gè)電容...

選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測(cè)量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素：1. 測(cè)量范圍真空度需求：根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測(cè)量范圍，如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配：確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測(cè)量范圍。2. 精度與分辨率精度要求：選...

1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理，如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如，有些真空計(jì)的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方...

真空計(jì)是一種用于測(cè)量氣體壓力的儀器，主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測(cè)試。其工作原理是通過測(cè)量氣體在不同壓力下對(duì)傳感器的影響來進(jìn)行壓力測(cè)量。常見的真空計(jì)包括熱導(dǎo)式真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)和毛細(xì)壓力計(jì)等。熱導(dǎo)式真空計(jì)通過測(cè)量氣體傳熱的方式來...

選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測(cè)量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素：1. 測(cè)量范圍真空度需求：根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測(cè)量范圍，如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配：確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測(cè)量范圍。2. 精度與分辨率精度要求：選...