濺射鍍膜機: 原理與構造:濺射鍍膜機借助離子束轟擊靶材,使靶材原子或分子濺射出來,在工件表面沉積成膜。設備包含真空室、濺射靶、離子源和真空系統(tǒng)。依據(jù)離子源產生方式與工作原理,可分為直流濺射鍍膜機、射頻濺射鍍膜機和磁控濺射鍍膜機。直流濺射適用于導電靶材...
真空系統(tǒng)維護: 真空泵保養(yǎng): 定期換油:真空泵油是真空泵正常運行的關鍵。一般根據(jù)使用頻率和泵的型號,每 3 - 6 個月更換一次真空泵油。因為長時間使用后,泵油會受到污染,含有雜質,這會影響泵的抽氣性能。例如,在頻繁使用真空鍍膜機的工業(yè)生產環(huán)境...
開機操作過程中的注意事項: 按照正確順序開機:嚴格按照設備制造商提供的開機操作流程進行開機。通常先開啟總電源,然后依次開啟冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。例如,在開啟真空系統(tǒng)時,要等待真空泵預熱完成后再啟動抽氣程序,避免真空泵在未預熱的情況下強行工作...
離子鍍膜機: 原理與構造:離子鍍膜機將蒸發(fā)鍍膜與濺射鍍膜相結合,鍍膜材料在蒸發(fā)過程中部分被電離成離子,這些離子在電場作用下加速沉積到工件表面。其由真空室、蒸發(fā)源、離子源、工件架和真空系統(tǒng)組成。根據(jù)離子產生方式和鍍膜工藝,離子鍍膜機可分為空心陰極離子鍍...
夾具和工件架維護: 清潔和檢查:夾具和工件架在每次使用后要進行清潔,去除殘留的膜材和灰塵。同時,要定期(每季度)檢查夾具和工件架的結構完整性,查看是否有變形、損壞的情況。損壞的夾具和工件架可能導致工件固定不牢,影響鍍膜質量。 控制系統(tǒng)維護: ...
鍍膜過程中的正確操作: 合理設置鍍膜參數(shù):根據(jù)鍍膜材料、基底材料和鍍膜要求,合理設置鍍膜參數(shù),如蒸發(fā)功率、濺射功率、氣體流量、沉積時間等。避免設置過高的參數(shù),導致設備過度工作。例如,過高的蒸發(fā)功率可能使蒸發(fā)源材料過快蒸發(fā),不僅浪費材料,還可能使蒸發(fā)源...
信息存儲:在信息存儲領域,真空鍍膜技術可用于制備磁信息存儲、磁光信息存儲等存儲介質。磁控濺射鍍膜設備是這類應用的常用設備。裝飾飾品:手機殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等產品的裝飾性鍍膜處理,也可以采用真空鍍膜技術。蒸發(fā)式真空鍍膜設備是這類應用的常用設備。光電子...
真空系統(tǒng)維護: 真空泵保養(yǎng): 定期換油:真空泵油是真空泵正常運行的關鍵。一般根據(jù)使用頻率和泵的型號,每 3 - 6 個月更換一次真空泵油。因為長時間使用后,泵油會受到污染,含有雜質,這會影響泵的抽氣性能。例如,在頻繁使用真空鍍膜機的工業(yè)生產環(huán)境...
蒸發(fā)源或濺射源功能:用于蒸發(fā)鍍膜材料或濺射靶材,使膜體材料以氣態(tài)分子的形式釋放出來。類型:不同的鍍膜方法可能使用不同類型的鍍膜源,例如電子束蒸發(fā)器、濺射靶材、真空弧放電源等。 控制系統(tǒng)功能:用于監(jiān)控和控制整個設備的運行狀態(tài)和參數(shù),包括真空度、溫度、壓...
蒸發(fā)鍍膜機原理:通過加熱使鍍膜材料蒸發(fā),蒸發(fā)后的原子或分子在基體表面沉積形成薄膜。應用行業(yè):在光學領域,用于制造增透膜、反射膜等光學薄膜,以提高光學元件的性能;在裝飾行業(yè),可在飾品、五金件等表面鍍上金、銀等金屬膜,提升美觀度和價值。濺射鍍膜機原理:利用高能粒子...
多樣的材料適應性金屬材料鍍膜方便:真空鍍膜機可以很方便地對各種金屬材料進行鍍膜。例如,對于金、銀、銅、鋁等常見金屬,既可以采用蒸發(fā)鍍膜的方式,將金屬加熱蒸發(fā)后沉積在基底上,也可以通過濺射鍍膜的方式,用離子轟擊金屬靶材來獲取金屬薄膜。這些金屬薄膜在電子、裝飾等領...
真空系統(tǒng)工作原理: 真空鍍膜機工作的第一步是建立真空環(huán)境。其真空系統(tǒng)主要由真空泵(如機械真空泵、擴散真空泵等)組成。機械真空泵通過活塞或旋片的機械運動,將鍍膜室內的氣體抽出,使氣壓初步降低。但機械真空泵只能達到一定的真空度,對于高真空要求的鍍膜過程,...
可精確控制薄膜特性: 厚度控制精確:真空鍍膜機可以精確控制薄膜的厚度。在蒸發(fā)鍍膜中,通過控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率和鍍膜時間,能夠準確地得到想要的薄膜厚度。例如,在光學鍍膜中,為了達到特定的光學性能,需要將薄膜厚度控制在納米級精度。一些先進的真空鍍膜機可...
開機操作過程中的注意事項: 按照正確順序開機:嚴格按照設備制造商提供的開機操作流程進行開機。通常先開啟總電源,然后依次開啟冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。例如,在開啟真空系統(tǒng)時,要等待真空泵預熱完成后再啟動抽氣程序,避免真空泵在未預熱的情況下強行工作...
真空鍍膜機作為一種先進的表面處理技術設備,具有廣泛的應用場景。以下是一些主要的應用領域和具體場景: 電子行業(yè): 集成電路制造:真空鍍膜機可用于制造集成電路中的金屬化層,如鋁、銅等金屬薄膜,用于連接電路中的各個元件。 平板顯示器制造:在平板...
高效性與高質量沉積效率高:真空鍍膜機能夠在短時間內迅速在基材表面形成均勻且致密的薄膜,有效提高了生產效率。鍍層質量優(yōu):鍍層組織致密、無氣泡,厚度均勻,具有優(yōu)良的耐磨、耐腐蝕、耐高溫性能,以及良好的附著力,使得鍍件在使用過程中更加穩(wěn)定可靠。 多樣的適用...
真空鍍膜機主要在較高真空度下進行鍍膜操作,具有多種功能,具體如下: 基礎功能:真空鍍膜機通過在真空環(huán)境下,利用蒸發(fā)、濺射等方式發(fā)射出膜材料粒子,這些粒子會沉積在金屬、玻璃、陶瓷、半導體以及塑料件等物體上,形成鍍膜層。 行業(yè)應用: 真空鍍膜...
生產效率高: 鍍膜速度快:真空鍍膜機的鍍膜速度相對較快,能夠在較短的時間內完成大面積、大批量的工件鍍膜,提高生產效率。例如在大規(guī)模生產電子產品外殼的鍍膜過程中,真空鍍膜機可以快速地完成表面裝飾性鍍膜或功能性鍍膜,滿足市場的大量需求。 自動化程度...
環(huán)保與節(jié)能環(huán)保無污染:真空鍍膜過程中不產生有害廢氣和廢水,對環(huán)境無污染,符合現(xiàn)代綠色生產的要求。節(jié)能高效:設備在工作過程中能有效利用能源,降低能耗,提高生產效率。 操作簡便與自動化操作簡單:真空鍍膜機通常配備有先進的控制系統(tǒng),操作簡單易學,降低了對操...
裝飾行業(yè): 首飾鍍膜:真空鍍膜機可用于為首飾(如金、銀、鉑金等)鍍制一層薄薄的金屬膜,以提高其光澤度和耐磨性。 鐘表鍍膜:在鐘表制造中,真空鍍膜機可用于為表盤、表殼等部件鍍制金屬膜或彩色膜,以增加其美觀性和耐用性。 汽車行業(yè): 汽車...
真空腔體功能:真空腔體是整個設備的主要部分,用于容納待鍍膜物體和鍍膜材料。材料:腔體通常由不銹鋼材料制作,以確保其不生銹、堅實耐用。規(guī)格:根據(jù)加工產品的要求,真空腔的大小會有所不同,目前應用較多的規(guī)格有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。連接閥:...
真空鍍膜機是一種先進的表面處理技術設備,主要用于在各種材料表面形成一層或多層薄膜,以賦予基材新的性能,如提高耐磨性、耐腐蝕性、光學性能等。以下是對真空鍍膜機的詳細介紹: 工作原理: 真空鍍膜機的工作原理主要基于氣相沉積(PVD)技術,涉及真空技...
化學氣相沉積(CVD)原理(在部分真空鍍膜機中也有應用)在CVD過程中,將含有薄膜組成元素的氣態(tài)前驅體(如金屬有機化合物、氫化物等)引入真空鍍膜機的反應室。這些氣態(tài)前驅體在高溫、等離子體或催化劑等條件的作用下,在基底表面發(fā)生化學反應。例如,在制備氮化硅薄膜時,...
主要分類:真空鍍膜機根據(jù)鍍膜方式的不同,可以分為蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜兩大類: 蒸發(fā)沉積鍍膜:包括真空電阻加熱蒸發(fā)、電子槍加熱蒸發(fā)等。這類方法可以通過加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并沉降在基片表面,然后形成薄膜。 濺射沉積...
關機后的維護操作: 按照正確順序關機:鍍膜完成后,按照設備制造商提供的關機流程進行關機。一般先關閉鍍膜相關的功能部件,如蒸發(fā)源或濺射靶的電源,然后關閉真空系統(tǒng),等待真空室壓力恢復到正常大氣壓后,再關閉冷卻系統(tǒng)和總電源。這樣可以避免設備在高溫、高真空等...
膜體材料的釋放:在真空環(huán)境中,膜體材料(如金屬、合金、化合物等)通過加熱蒸發(fā)或濺射的方式被釋放出來。蒸發(fā)過程通常涉及加熱蒸發(fā)源,使膜體材料蒸發(fā)成氣態(tài)分子;濺射過程則利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。 分子的沉積:蒸發(fā)或濺射出的膜體...
膜體材料的釋放:在真空環(huán)境中,膜體材料(如金屬、合金、化合物等)通過加熱蒸發(fā)或濺射的方式被釋放出來。蒸發(fā)過程通常涉及加熱蒸發(fā)源,使膜體材料蒸發(fā)成氣態(tài)分子;濺射過程則利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。 分子的沉積:蒸發(fā)或濺射出的膜體...
直流磁控濺射:在陽極基片和陰極靶之間加一個直流電壓,陽離子在電場的作用下轟擊靶材。直流磁控濺射的特點是其濺射速率一般都比較大,但一般只能用于金屬靶材。射頻磁控濺射:利用射頻電源產生交變電磁場,使電子在交變電磁場的作用下不斷與氣體分子發(fā)生碰撞并電離出離子來轟擊靶...
真空度:真空度是真空鍍膜機的關鍵指標,它直接影響鍍膜質量。高真空度可減少雜質氣體對膜層的污染,提高膜層純度與致密性。如蒸發(fā)鍍膜要求達到 10?3 - 10??Pa,濺射鍍膜通常需 10?? - 10??Pa。要根據(jù)鍍膜材料和工藝要求選擇合適真空度的設備。鍍膜速...
蒸發(fā)鍍膜原理: 氣相沉積 - PVD 的一種)蒸發(fā)鍍膜是真空鍍膜機常見的工作方式之一。在蒸發(fā)源(如電阻加熱蒸發(fā)源、電子束加熱蒸發(fā)源等)中放置鍍膜材料。以電阻加熱蒸發(fā)源為例,當電流通過高電阻的加熱絲(如鎢絲)時,加熱絲會產生熱量。如果將鍍膜材料放置在加...