探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...
光學平臺平面度,對于隔振性能,沒有任何影響,甚至若為了追求高平面度,往往會去除掉光學平臺的隔振性能,原因如下:我們知道,光學平臺臺面,若為達到高平面度,通常需要反復磨削,在加工過程中,多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變,為了減少形變,通常要加厚臺面,但我們通過振動恢復...
相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力...
隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術,具有技術壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要...
探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋...
探針治具的校準:我們希望校準過程盡可能的把測試網(wǎng)絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉,當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準,然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探...
手動探針臺應用領域:Failureanalysis集成電路失效分析;Waferlevelreliability晶元可靠性認證;Devicecharacterization元器件特性量測;Processmodeling塑性過程測試(材料特性分析);ICProce...
探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起...
探針治具的校準:我們希望校準過程盡可能的把測試網(wǎng)絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉,當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準,然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探...
探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探...
隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術,具有技術壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要...
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和...
光纖耦合系統(tǒng)的功能:1、借助自動協(xié)同仿真求解器管理取得可靠的結果。光纖耦合系統(tǒng)會同步參與多物理場仿真的求解器,并可進行求解器任務執(zhí)行,同時執(zhí)行收斂檢查、重啟、HPC部署和錯誤處理等任務。根據(jù)所需詳細程度的不同,可以實現(xiàn)穩(wěn)態(tài)/靜態(tài)、瞬態(tài)和這些類型的組合分析。先進...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)主要工作可以分為四個部分:1、利用開發(fā)出的耦合封裝工藝,對硅光芯片調(diào)制器進行耦合封裝并進行性能測試。分析并聯(lián)MZI型硅光芯片調(diào)制器的調(diào)制特性,針對調(diào)制過程,建立數(shù)學模型,從數(shù)學的角度出發(fā),總結出調(diào)制器的直流偏置電壓的快速測試方法。并通過調(diào)制...
在光芯片領域,芯片耦合封裝問題是光子芯片實用化過程中的關鍵問題,芯片性能的測試也是至關重要的一步驟,現(xiàn)有的硅光芯片耦合測試系統(tǒng)是將光芯片的輸入輸出端光纖置于顯微鏡下靠人工手工移動微調(diào)架轉(zhuǎn)軸進行調(diào)光,并依靠對輸出光的光功率進行監(jiān)控,再反饋到微調(diào)架端進行調(diào)試。芯片...
采用球形光纖端面不只可以提高光纖與光纖之間的耦合效率,而且利于實驗光路調(diào)試。但是采用這樣一種較為簡單的耦合方法存在一些比較嚴重的問題:燒制過程中不易把握溫度及用力大小,比較難燒制出所需的球形;采用球形光纖直接耦合的耦合效率遠遠低于采用分離透鏡耦合法所能達到的耦...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)中的硅光與芯片的耦合方法及其硅光芯片,方法包括以下步驟:1、使用微調(diào)架將光纖端面與模斑變換器區(qū)域精確對準,調(diào)節(jié)至合適耦合間距后采用紫外膠將光纖分別與固定塊和墊塊粘接固定;2、將硅光芯片粘貼固定在基板上,硅光芯片的端面耦合波導為懸臂梁結構,具...
硅光芯片與光纖耦合系統(tǒng)的開發(fā):光纖耦合系統(tǒng)用于硅基直波導芯片的具有高集成度的特點,其芯片尺寸非常小,為毫米級別,其波導尺寸更是在亞微米尺寸,與SMF-28單模光纖的9um芯徑相比,相隔需要至少一個數(shù)量級。因此我們的直波導芯片的耦合實驗需要精密的空間定位調(diào)節(jié)裝置...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)系統(tǒng)的服務器為完成設備控制及自動測試應包含有自動化硅光芯片耦合測試系統(tǒng)服務端程序,可以使用于根據(jù)測試站請求信息分配測試設備,并自動切換光矩陣進行自動測試。服務器連接N個測試站、測試設備、光矩陣。其中N個測試站連接由于非占用式特性采用網(wǎng)口連接...
通過調(diào)整預制棒的結構參數(shù)能得到所需結構與尺寸的光子晶體光纖耦合系統(tǒng),具有非常靈活設計自由度。不同的空氣孔結構和排布使得折射率引導型光子晶體光纖耦合系統(tǒng)具有特定的模式傳輸特性。特別需要指出的是,研究還發(fā)現(xiàn)折射率引導型光子晶體光纖耦合系統(tǒng)包層中空氣孔的周期排列不是...
光纖耦合系統(tǒng)的耦合過程:(1)將粘接后的芯片裝夾固定在調(diào)整架底座上;(2)將FA分別裝夾固定在左右兩側的高精度六維微調(diào)架上;(3)在CCD圖像監(jiān)控系統(tǒng)下,依據(jù)屏幕上的十字交叉線,將光纖FA與芯片調(diào)節(jié)平行;(4)將兩端FA分別接上紅光源,將FA與芯片波導初步對準...
通過調(diào)整預制棒的結構參數(shù)能得到所需結構與尺寸的光子晶體光纖耦合系統(tǒng),具有非常靈活設計自由度。不同的空氣孔結構和排布使得折射率引導型光子晶體光纖耦合系統(tǒng)具有特定的模式傳輸特性。特別需要指出的是,研究還發(fā)現(xiàn)折射率引導型光子晶體光纖耦合系統(tǒng)包層中空氣孔的周期排列不是...
經(jīng)過多年發(fā)展,硅光芯片耦合測試系統(tǒng)如今已經(jīng)成為受到普遍關注的熱點研究領域。利用硅的高折射率差和成熟的制造工藝,硅光子學被認為是實現(xiàn)高集成度光子芯片的較佳選擇。但是,硅光子學也有其固有的缺點,比如缺乏高效的硅基有源器件,極低的光纖-波導耦合效率以及硅基波導明顯的...
硅光芯片是將硅光材料和器件通過特殊工藝制造的集成電路,主要由光源、調(diào)制器、探測器、無源波導器件等組成,將多種光器件集成在同一硅基襯底上。硅光芯片的具有集成度高、成本低、傳輸帶寬更高等特點,因為硅光芯片以硅作為集成芯片的襯底,所以能集成更多的光器件;在光模塊里面...
光纖耦合系統(tǒng)中的光纖是一個重要參數(shù)是光信號在光纖內(nèi)傳輸時功率的損耗。在過去的30多年里,由于技術的逐漸完善,普通光纖中的損耗一直在降低,目前已經(jīng)趨于本征損耗。熔融硅光纖中具有較低損耗的波長約在1550nm附近,在此波長上的損耗約為0.12dB/km。對于光子晶...
保偏光纖耦合系統(tǒng)是實現(xiàn)線偏振光耦合、分光以及復用的關鍵系統(tǒng)件。它的大特點在于能穩(wěn)定地傳輸兩個正交的線偏振光,并能保持各自的偏振態(tài)不變,從而成為各種工業(yè)應用干涉型傳感系統(tǒng)、相干光通信、光纖陀螺以及光纖水聽系統(tǒng)等所需的關鍵光學系統(tǒng)件。光纖耦合系統(tǒng)是組成這些光纖傳感...
硅光芯片與光纖耦合系統(tǒng)的開發(fā):光纖耦合系統(tǒng)用于硅基直波導芯片的具有高集成度的特點,其芯片尺寸非常小,為毫米級別,其波導尺寸更是在亞微米尺寸,與SMF-28單模光纖的9um芯徑相比,相隔需要至少一個數(shù)量級。因此我們的直波導芯片的耦合實驗需要精密的空間定位調(diào)節(jié)裝置...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)硅光陣列微調(diào)設備,微調(diào)設備包括有垂直設置的第1角度調(diào)節(jié)機構與第二角度調(diào)節(jié)機構,微調(diào)設備可帶動設置于微調(diào)設備上的硅光陣列在垂直的兩個方向?qū)崿F(xiàn)角度微調(diào)。本發(fā)明還提供一種光子芯片測試系統(tǒng)硅光陣列耦合設備,包括有微調(diào)設備以及與微調(diào)設備固定連接的位移...
光纖耦合系統(tǒng)在低速領域已由實驗證明具有優(yōu)良的性能,但在高速領域卻存在光纖的帶寬較低,限制了系統(tǒng)的時間響應這樣一個重要的因素。因此考慮采用色散較小的單模光纖,使系統(tǒng)的時間響應不再受限于光纖帶寬。但是這樣的話,經(jīng)探頭收集到的信號光是使用多模光纖來進行接收的以盡可能...