準備拍攝部132將通過基于元件相機41的拍攝而得到的準備圖像g作為位置信息并存儲于存儲裝置110，在元件保持狀態(tài)確認處理(s3)或者元件保持狀態(tài)確認處理2中執(zhí)行的測定處理(s35)時，基于存儲于存儲裝置110的準備圖像g來掌握元件保持部35的中心坐標35p。附圖標記說明1、電子元件安裝機(元件安裝機)；33、旋轉(zhuǎn)頭；35、元件保持部；41、元件相機；90a、z軸驅(qū)動裝置(升降裝置)；90b、第二z軸驅(qū)動裝置(升降裝置)；110、存儲裝置；130、圖像處理裝置；131、元件拍攝部；132、準備拍攝部；133、角度信息取得部；134、提取部；135、測定部；g、準備圖像；g、元件圖像；k、電路基板...

圖5a至5h示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的電路板的制造方法的各個階段的截面圖。附圖標記列表100電路板101襯底102光刻膠層103第二光刻膠層104開口105掩膜106第二開口110引入部分111絕緣層112金屬層113第二絕緣層114通孔120連接部分130刺激端131刺激電極200電子元件201焊盤300粘結(jié)劑301導電膠302第二導電膠310點膠裝置具體實施方式以下將參照附圖更詳細地描述本發(fā)明的各種實施例。在各個附圖中，相同的元件采用相同或類似的附圖標記來表示。為了清楚起見，附圖中的各個部分沒有按比例繪制。下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的具體實施方式作進一步詳細描述。圖1a至1d示出了根據(jù)本...

高靈敏度無標[本文63頁]過模波導定向耦合器的研究與設計[本文70頁]基于液態(tài)金屬直寫的柔性電子打印研究[本文88頁]DCS/WLAN濾波天線及濾波功分器設計[本文91頁]柔性無源電子器件和互連線的射頻特[本文76頁]基于矢量調(diào)制的X波段相控陣有源移相[本文80頁]分數(shù)階憶阻混沌電路動力學分析及其[本文69頁]分數(shù)階時滯憶阻混沌電路系統(tǒng)的動力[本文67頁]微環(huán)諧振器輔助馬赫―曾德爾干涉儀[本文52頁]雙極化寬帶天線及移相器的研究與設計[本文51頁]微波毫米波基片集成波導功分器實現(xiàn)[本文72頁]基于人工電磁材料的小型化功分器研究[本文73頁]基于MEMS微屏蔽傳輸線的移相器研究[本文79頁]高Q...

提取部134從八個模式的準備位置信息之中提取特定準備圖像，在使旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度與和特定位置信息對應的旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度一致的狀態(tài)下，拍攝保持于八個元件保持部35的元件p。在該情況下，與準備位置信息為一個的情況相比，能夠減小從元件供給位置至到達元件相機41的拍攝位置所需的旋轉(zhuǎn)頭33的旋轉(zhuǎn)量。由此，電子元件安裝處理能夠削減在從元件供給位置移動至元件相機41的拍攝位置為止的期間，旋轉(zhuǎn)頭33的分度所需的時間。特別是在s1的處理中，準備拍攝部132基于在分度至旋轉(zhuǎn)頭33的全部分度角度中的各分度角度的狀態(tài)下通過元件相機41拍攝到的八個模式的準備圖像g1～g8來掌握元件保持部35的中心坐標35p，并將...

提取部134從八個模式的準備位置信息之中提取特定準備圖像，在使旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度與和特定位置信息對應的旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度一致的狀態(tài)下，拍攝保持于八個元件保持部35的元件p。在該情況下，與準備位置信息為一個的情況相比，能夠減小從元件供給位置至到達元件相機41的拍攝位置所需的旋轉(zhuǎn)頭33的旋轉(zhuǎn)量。由此，電子元件安裝處理能夠削減在從元件供給位置移動至元件相機41的拍攝位置為止的期間，旋轉(zhuǎn)頭33的分度所需的時間。特別是在s1的處理中，準備拍攝部132基于在分度至旋轉(zhuǎn)頭33的全部分度角度中的各分度角度的狀態(tài)下通過元件相機41拍攝到的八個模式的準備圖像g1～g8來掌握元件保持部35的中心坐標35p，并將...

文90頁]聲表面波射頻標簽關鍵技術研究[本文64頁]基于可調(diào)器件的小型化可重構(gòu)微波電[本文121頁]應用于沉浸式還音的相控陣揚聲器系[本文94頁]60GHz射頻收/發(fā)開關和5-bit移相器的[本文81頁]基于憶阻突觸的神經(jīng)網(wǎng)絡及其應用研究[本文94頁]薄膜體聲波諧振器及其細胞藥物導入[本文142頁]數(shù)字微流控芯片與壓電諧振器集成系[本文87頁]有源數(shù)控移相器的研究與設計[本文91頁]基于AlN薄膜的聲表面波諧振器設計方[本文66頁]電子元器件遠程平臺檢測的信息服務[本文72頁]電子元器件遠程測試適配器的硬件設計[本文78頁]寬頻太赫茲波功能器件關鍵技術研究[本文62頁]無源無線聲表面波溫度采集...

電磁閥23和步進電機2的輸入端與外部控制器的輸出端電連接。伸縮機構(gòu)16包括電動伸縮桿15，電動伸縮桿15設置在安裝條14上，且電動伸縮桿15的伸縮端通過安裝板10與活動管12連接，電動伸縮桿15的輸入端與外部控制器的輸出端電連接，通過電動伸縮桿15的伸縮，可以通過安裝板10帶動活動管12的移動，便于抓取物料和裝配物料，給使用帶來便利。電動伸縮桿15設置有兩個，且兩個電動伸縮桿15對稱設置，定位柱21設置在兩個電動伸縮桿15之間，通過限定電動伸縮桿15的數(shù)量和位置，能夠增加結(jié)構(gòu)強度，能夠保證設計的合理性。第二送料機構(gòu)34為第二皮帶輸送機11，且第二皮帶輸送機11的輸入端與外部控制器的輸出端電連接...

本發(fā)明涉及電子元件安裝機。背景技術：專利文獻1公開了進行載荷控制的技術，在載荷控制中，在使搭載于安裝頭的吸嘴與載荷傳感器抵接時測定載荷傳感器所承受的載荷，并以使測定的載荷成為指定好的目標載荷的方式調(diào)整吸嘴的壓入量。另外，專利文獻2公開了以下技術：對在電子元件向基板的安裝工序中產(chǎn)生的信息進行收集，并基于收集到的信息進行安裝工序中產(chǎn)生的問題的解析?，F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2006-313838號公報專利文獻2：日本特開2006-165127號公報技術實現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的課題在專利文獻1記載的技術中，在即便進行了使從由吸嘴保持的電子元件施加于基板的載荷成為目標載荷那樣的馬達的控制...

所述旋轉(zhuǎn)電機上側(cè)連接有旋轉(zhuǎn)柱，所述旋轉(zhuǎn)柱上側(cè)設置有分離盒，所述分離盒內(nèi)部開設有篩選孔，所述分離盒上端面連接有安裝盒，所述安裝盒內(nèi)部設置有震動器，所述分離倉內(nèi)部設置有移動腳，所述移動腳上端面連接有接收盒。作為推薦，所述分離倉內(nèi)部設置有鋰電池，所述旋轉(zhuǎn)電機以及震動器通過導線與鋰電池相連接。作為推薦，所述旋轉(zhuǎn)電機上端面設置有聯(lián)軸器，所述旋轉(zhuǎn)電機通過聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)柱相連接。作為推薦，所述接收盒設置為半圓形結(jié)構(gòu)，所述接收盒設置有兩個，所述旋轉(zhuǎn)柱環(huán)形側(cè)面設置有接收盒，且兩個接收盒圍繞旋轉(zhuǎn)柱拼合成圓形結(jié)構(gòu)，所述接收盒內(nèi)壁設置有磁片，且磁片設置為磁性較強的磁片。作為推薦，所述篩選孔開設有多個，多個篩選孔規(guī)格相同...

接著，準備拍攝處理(s1)進行基于安裝控制部120的控制，將旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度設定為0度(s12)。然后，準備拍攝處理(s1)進行基于準備拍攝部132的控制，進行基于元件相機41的安裝頭32的拍攝(s13)。并且，準備拍攝處理(s1)將基于在s13的處理中得到的準備圖像g而掌握的元件保持部35的中心坐標35p存儲于存儲裝置110。接著，準備拍攝處理(s1)進行基于安裝控制部120的控制，在使旋轉(zhuǎn)頭33繞著r軸線旋轉(zhuǎn)了45度之后(s15)，判定旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度是否為0度(s16)。在s16的處理中，若旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度不為0度(s16：否)，則準備拍攝處理(s1)返回s13的處理，進行基...

升降部件59具備與形成于分度軸52的凸緣部52b卡合的卡合部59a，分度軸52伴隨著升降部件59的升降而在z軸方向上升降。而且，旋轉(zhuǎn)頭53及吸嘴55伴隨著分度軸52的升降而升降。安裝頭33還具備θ軸馬達61、驅(qū)動齒輪62、從動齒輪63、旋轉(zhuǎn)體64、θ軸齒輪65及多個吸嘴齒輪66。θ軸馬達61固定于頭主體51，驅(qū)動齒輪62設置于θ軸馬達61的輸出軸。從動齒輪63設置于旋轉(zhuǎn)體64的上端部分，與驅(qū)動齒輪62嚙合。另外，θ軸齒輪65設置于旋轉(zhuǎn)體64的下端部分，與旋轉(zhuǎn)體64一體地旋轉(zhuǎn)。另外，θ軸齒輪65與在多個吸嘴軸54各自的上端部分設置的吸嘴齒輪66嚙合。通過具有這樣的結(jié)構(gòu)，多個吸嘴軸54及多個吸嘴5...

接著，準備拍攝處理(s1)進行基于安裝控制部120的控制，將旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度設定為0度(s12)。然后，準備拍攝處理(s1)進行基于準備拍攝部132的控制，進行基于元件相機41的安裝頭32的拍攝(s13)。并且，準備拍攝處理(s1)將基于在s13的處理中得到的準備圖像g而掌握的元件保持部35的中心坐標35p存儲于存儲裝置110。接著，準備拍攝處理(s1)進行基于安裝控制部120的控制，在使旋轉(zhuǎn)頭33繞著r軸線旋轉(zhuǎn)了45度之后(s15)，判定旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度是否為0度(s16)。在s16的處理中，若旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度不為0度(s16：否)，則準備拍攝處理(s1)返回s13的處理，進行基...

由于在設備臺8橫向并排有多個帶式供料器6，因此形成為無論是安裝在哪個位置的帶式供料器6，被送出的已使用載帶510都向排出通道62的帶投入口620進入。在這樣的帶回收部設有除電部件。如在上述課題部分中所陳述的那樣，將蓋帶52從載帶51剝離等而會產(chǎn)生靜電，在排出通道62內(nèi)通過的已使用載帶510被壁面吸引。本來，已使用載帶510與排出通道62維持不接觸的狀態(tài)、或者即使接觸也滑動地落入回收箱61。但是，靜電使已使用載帶510被壁面吸引，進而容易通過蓋帶52所粘接的帶上表面的粘接而將已使用載帶510向壁面粘貼。已使用載帶510利用其自身的彈性而在排出通道62內(nèi)彎曲并將行進方向改變?yōu)橄蛳碌乇惠斔?，但是在?..

層狀復合薄膜的磁[本文85頁]新型雙曲憶阻混沌系統(tǒng)的動力學分析[本文84頁]阻混沌電路的設計及其在圖像加[本文82頁]基于憶阻器的神經(jīng)網(wǎng)絡設計及其動力[本文73頁]低損耗大尺寸微波單晶薄膜外延及原[本文78頁]大功率法拉第旋轉(zhuǎn)器的研究[本文79頁]回旋管準光模式變換器的研究及優(yōu)化[本文59頁]用于通信的大功率高隔離多工器的技[本文77頁]基于微環(huán)諧振器的可調(diào)諧Fano諧振[本文73頁]基于FPGA的憶阻混沌神經(jīng)網(wǎng)絡分析[本文68頁]用于X波段賦形天線的功分器設計[本文67頁]基于SOI的耦合器的關鍵技術研究[本文62頁]寬脈寬大功率微波開關設計[本文56頁]硅波導特種光柵耦合器的設計與研究[本...

元件能夠吸附在真空吸盤24；通過電動伸縮桿15的伸出，使活動管12的向上移動，將元件的部分從皮帶輸送機1上拿起；通過步進電機2的工作，可以帶動齒輪3的轉(zhuǎn)動，齒輪3可以帶動第二齒輪4的轉(zhuǎn)動，第二齒輪4可以使轉(zhuǎn)動管5在固定柱6上轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動管5的轉(zhuǎn)動帶動元件的部分的轉(zhuǎn)動，使元件的部分位于元件的第二部分的上方；通過電動伸縮桿15的縮回，可以通過安裝板10帶動活動管12的向下移動，打開第二電磁閥25，通過進氣管26可以使真空吸盤24進入空氣，能夠方便使元件脫離真空吸盤24，使元件的部分位于元件的第二部分的裝配槽內(nèi)部；通過第二皮帶輸送機11的工作，使元件的部分和元件的第二部分移動至壓板17的下方，通過第二...

此時，在電子元件安裝裝置中，通過間距進給而從帶式供料器6的供給帶盤23對元件帶50進行放卷，通過從載帶510剝離蓋帶52而能夠進行基于安裝頭11的電子元件55的取出。并且，被剝離的已使用蓋帶520反轉(zhuǎn)而改變方向，被輸送至輸送輥35而被放入回收箱61內(nèi)。另一方面，已使用載帶510直接前進而從帶式供料器6的前端冒出并從帶投入口620進入排出通道62內(nèi)，同樣地被回收箱61回收。在該帶回收部設有除電刷63、長條除電刷65或者除電繩66、除電板等除電部件，因此即使已使用載帶510因蓋帶52的剝離而帶電，也通過該除電部件來進行除電。并且，避免了除電后的已使用載帶510在通過排出通道62內(nèi)時被吸引而粘貼于壁...

在直至通過載荷測定裝置200測定的載荷收斂于目標扭矩t為止所需要的時間較長的情況下，判定部180判定為元件保持裝置30存在異常。這樣，馬達控制裝置440基于元件保持裝置30的實際位置與元件保持裝置30的指令位置的位置偏差來運算扭矩指令值，并將基于該運算出的扭矩指令值而得到的電流(電流指令)向z2軸馬達71供給。而且，馬達信息獲取部470將馬達控制裝置440用于z2軸馬達71的位置控制的扭矩指令值獲取為馬達信息，判定部180對基于扭矩指令值得到的馬達信息與載荷進行比較，進行元件保持裝置30的異常判定。即，元件安裝機1將與z2軸馬達71的反饋控制所使用的扭矩指令值相關的數(shù)據(jù)用于元件保持裝置30的異...

提取部從多個準備位置信息之中提取特定位置信息，元件拍攝部在使旋轉(zhuǎn)頭的分度角度與和特定位置信息對應的旋轉(zhuǎn)頭的分度角度一致的狀態(tài)下拍攝保持于多個元件保持部的電子元件。在該情況下，與準備位置信息為一個的情況相比，電子元件安裝機能夠減小從元件供給位置至到達元件相機的拍攝位置為止所需的旋轉(zhuǎn)頭的旋轉(zhuǎn)量。由此，電子元件安裝機能夠在從安裝頭到達元件相機的拍攝位置至開始基于元件相機的拍攝為止的期間產(chǎn)生待機時間，因此能夠高效地進行電子元件的安裝作業(yè)。附圖說明圖1是本說明書的實施方式中的電子元件安裝機的立體圖。圖2是說明安裝頭的結(jié)構(gòu)的圖。圖3是控制裝置的框圖。圖4是說明按照旋轉(zhuǎn)頭的各分度角度拍攝安裝頭而得到的準備圖...

與馬達控制裝置對馬達的驅(qū)動相關的馬達信息與馬達將元件保持裝置向按壓載荷測定裝置的方向驅(qū)動的力對應。換句話說，馬達信息不是與元件保持裝置對于基板實際賦予的載荷相當，而是與該載荷的推定值相當。假設，若元件保持裝置正常，則載荷測定裝置測定出的載荷與馬達信息一致或者具有相關性。另一方面，若元件保持裝置異常，則載荷測定裝置測定出的載荷與馬達信息不一致，或者不具有相關性。因此，判定部通過對載荷測定裝置測定出的載荷與馬達信息進行比較，能夠發(fā)現(xiàn)元件保持裝置的異常。附圖說明圖1是本說明書的實施方式的電子元件安裝機的立體圖。圖2是表示安裝頭的結(jié)構(gòu)的圖。圖3是控制裝置的框圖。圖4是馬達控制裝置的框圖。圖5是表示由載...

位置控制部443基于來自參數(shù)文件生成部441的指令位置(位置指令值)與根據(jù)來自旋轉(zhuǎn)檢測裝置442的旋轉(zhuǎn)相位信息得到的實際位置的位置偏差，生成速度指令。微分器446通過對從旋轉(zhuǎn)檢測裝置442得到的實際位置進行微分，得到z2軸馬達71的速度信息。速度控制部444基于來自位置控制部443的速度指令值與z2軸馬達71的速度信息的偏差，生成扭矩指令(電流指令)。電流控制部445根據(jù)來自速度控制部444的扭矩指令值與基于從電流檢測器142反饋的實際電流的檢測值而得到的實際扭矩的偏差，生成使z2軸馬達71驅(qū)動的電力轉(zhuǎn)換器(未圖示)的驅(qū)動信號。此外，z2軸馬達71的速度信息例如能夠根據(jù)旋轉(zhuǎn)相位信息的頻率來計算...

如圖4所示，準備拍攝部132在分度至旋轉(zhuǎn)頭33的全部分度角度中的各分度角度的狀態(tài)下，通過元件相機41拍攝安裝頭32。具體而言，在本實施方式中，安裝頭32具備八個元件保持部35，因此每當使旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度旋轉(zhuǎn)了45度時，進行基于元件相機41的安裝頭32的拍攝。并且，準備拍攝部132分別對于通過拍攝而得到的合計八個模式的準備圖像g1～g8掌握元件保持部35的中心坐標35p，將與所掌握的中心坐標35p相關的數(shù)據(jù)與拍攝時的旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度建立關聯(lián)地存儲于存儲裝置110。另外，在圖4中，用雙點劃線圖示了在準備圖像g1～g8中看不到的各吸嘴座34的卡合片36、z軸驅(qū)動裝置90a的一對夾持部95a及...

從上向下插入相對應的限位槽14上，將電子元件依次放入隔板31和第二隔板32交叉形成的分隔槽內(nèi)，手動將蓋板4與盒體1蓋合即可，為了節(jié)省空間，可將隔板31底端兩側(cè)的滑塊13從外向里插入第二盒體2開設的滑動槽23內(nèi)，使其不易松動，將第二盒體2卡位塊21上的卡位環(huán)22扣在盒體1固定塊11上的卡位槽12上，將其固定，當設置多個第二盒體2的時候，第二盒體2底端兩側(cè)也可設置滑塊13，將多個第二盒體2依次疊放，由盒體1進行封頂。應說明的是：以上所述*為本實用新型的推薦實施例而已，并不用于限制本實用新型，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所...

本實用新型涉及一種包裝盒，特別涉及一種電子元件用包裝盒，屬于電子元件包裝用技術領域。背景技術：電子元件是組成電子產(chǎn)品的基礎，電子元件種類繁多，大小不一，應用領域，在對電子元件包裝時，需要使用到包裝盒，但現(xiàn)今大部分包裝盒，不便于拆卸，不便于疊放，使其占地面積大，再存放電子元件時，不能進行有效的分類，致使實用性差等問題。技術實現(xiàn)要素：本實用新型提供一種電子元件用包裝盒，通過設有分隔結(jié)構(gòu)、蓋板、固定塊、滑塊、卡位塊和限位槽等有效的解決了現(xiàn)今大部分包裝盒，不便于拆卸，不便于疊放，使其占地面積大，再存放電子元件時，不能進行有效的分類，致使實用性差等問題。為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下...

作為本實用新型的一種推薦技術方案，所述第二送料機構(gòu)為第二皮帶輸送機，且第二皮帶輸送機的輸入端與外部控制器的輸出端電連接。作為本實用新型的一種推薦技術方案，所述固定柱上裝配有限位板，且限位板設置在轉(zhuǎn)動管的上側(cè)。作為本實用新型的一種推薦技術方案，所述第二運動機構(gòu)包括第二滑軌，第二滑軌設置在固定條的下表面，第二滑軌上裝配有第二直線電機，第二直線電機的輸入端與外部控制器的輸出端電連接。作為本實用新型的一種推薦技術方案，所述進氣機構(gòu)包括進氣管，進氣管設置在真空吸盤的排氣口處，且進氣管上設有第二電磁閥，第二電磁閥的輸入端與外部控制器的輸出端電連接。作為本實用新型的一種推薦技術方案，所述運動機構(gòu)包括滑軌，滑...

本實用新型涉及一種包裝盒，特別涉及一種電子元件用包裝盒，屬于電子元件包裝用技術領域。背景技術：電子元件是組成電子產(chǎn)品的基礎，電子元件種類繁多，大小不一，應用領域，在對電子元件包裝時，需要使用到包裝盒，但現(xiàn)今大部分包裝盒，不便于拆卸，不便于疊放，使其占地面積大，再存放電子元件時，不能進行有效的分類，致使實用性差等問題。技術實現(xiàn)要素：本實用新型提供一種電子元件用包裝盒，通過設有分隔結(jié)構(gòu)、蓋板、固定塊、滑塊、卡位塊和限位槽等有效的解決了現(xiàn)今大部分包裝盒，不便于拆卸，不便于疊放，使其占地面積大，再存放電子元件時，不能進行有效的分類，致使實用性差等問題。為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下...

旋涂法或注塑法形成保護膜。保護膜可以防機械損傷，水汽侵蝕及化學腐蝕，增加了電子元件的可靠性和穩(wěn)定性。在該實施例中，將如上所述的電路板組件通電，或電連接至其他電子電路，即可形成電子設備。電子設備例如包括植入裝置、可穿戴設備、手機、電腦、相機、顯示器等，由于該方案可以形成小尺寸柔性電路板組件，因此尤其適用于微型電子設備。圖2和圖3分別示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的電路板組件的局部立體圖和局部分解圖。電路板組件包括電路板100、電子元件200以及粘接劑300。電路板100包括至少一個通孔114，電子元件200包括與通孔114相應的焊盤201，通孔114與焊盤201一一對應。電子元件200經(jīng)由粘接劑300連...

準備拍攝部132以旋轉(zhuǎn)頭33的全部分度角度來進行安裝頭32的拍攝。與此相對，在第二實施方式中，準備拍攝部132以旋轉(zhuǎn)頭33的全部分度角度中的一部分分度角度來進行拍攝。另外，對與上述實施方式相同的元件標注相同的附圖標記，并省略其說明。2-1.準備拍攝處理首先，說明第二實施方式中的準備拍攝處理。在本實施方式中，準備拍攝部132對于分度至旋轉(zhuǎn)頭33的八個模式的分度角度中的兩個模式的分度角度的安裝頭32進行基于元件相機41的拍攝。具體而言，實施方式的準備拍攝處理(s1)在s15的處理中使旋轉(zhuǎn)頭33旋轉(zhuǎn)45度，與此相對，第二實施方式的準備拍攝處理在相當于s15的處理的處理中使旋轉(zhuǎn)頭33旋轉(zhuǎn)180度。由此...

所述轉(zhuǎn)軸上端穿過所述外殼頂部中端開設有的通孔并固定安裝有轉(zhuǎn)動盤，所述轉(zhuǎn)動盤頂部左右兩端對稱固定安裝有兩組電動推桿，兩組所述電動推桿上端推動端固定安裝有固定板，所述固定板頂部固定安裝有連接架，所述連接架左右兩側(cè)固定安裝有兩組安裝槽，兩組所述安裝槽內(nèi)部靠近里側(cè)的一端的下方固定安裝有軸承座b，所述軸承座b上轉(zhuǎn)動連接有絲杠，所述絲杠上端穿過所述安裝槽頂部開設有的通孔并與抱閘電機的輸出端相固定安裝，所述絲杠上螺紋連接有絲杠螺母，所述絲杠螺母朝向外側(cè)一端上固定安裝有支架，所述絲杠螺母朝向里側(cè)一端上固定安裝有滑塊，所述滑塊右端滑動連接在所述安裝槽內(nèi)部里側(cè)上設置有的滑槽上，所述安裝槽外部前后兩側(cè)固定安裝有固定...

有機物濃度)理想的是20ppb以下，且理想的是進行了脫氣處理。另外，通過提高液浸液的折射率，而可提高微影性能。就此種觀點而言，可將如提高折射率的添加劑添加至水中、或使用重水(d2o)來代替水。在溫度23±3℃、濕度45±5％下，使用本發(fā)明中的感光化射線性或感放射線性樹脂組合物所形成的抗蝕劑膜的后退接觸角為70°以上，適合于經(jīng)由液浸介質(zhì)進行曝光的情況，抗蝕劑膜的后退接觸角推薦為75°以上，更推薦為75°～85°。若上述后退接觸角過小，則無法適宜地用于經(jīng)由液浸介質(zhì)進行曝光的情況，且無法充分地發(fā)揮減少水痕(水印)缺陷的效果。為了實現(xiàn)推薦的后退接觸角，推薦為在上述感光化射線性或感放射線性組合物中含有后...

s31)。接著，元件保持狀態(tài)確認處理2基于在s31的處理中取得的角度信息，進行旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度是否與存儲于存儲裝置110的兩個模式的準備位置信息的分度角度中的任意一個一致的判定(s131)。并且，在旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度與任意一個準備位置信息的分度角度一致的情況下(s131：是)，元件保持狀態(tài)確認處理2進行基于提取部134的控制，提取旋轉(zhuǎn)頭33與分度角度一致的準備位置信息作為特定位置信息(s32：提取工序)，并移向s33的處理。與此相對，在旋轉(zhuǎn)頭33的分度角度與兩個模式中的任意一個分度角度都不一致的情況下(s131：否)，元件保持狀態(tài)確認處理2進行基于提取部134的控制，提取兩個模式的位置信...