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相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。通過定期檢測，可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。山東排風柜檢測服務至上

4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設計應符合下列規(guī)定：1在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應按微振控制要求設計。2潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及連接管道應采取主動隔振措施。3應測定潔凈廠房內、外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供。當生產工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時，可按現(xiàn)行國家標準《隔振設計規(guī)范》GB50463的有關規(guī)定執(zhí)行。上海國內檢測值得推薦潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進機會應納入持續(xù)改進計劃中。

（三）空氣過濾器的泄露1、儀器設備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前，生產廠家應按規(guī)定進行性能試驗，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。3、技術要求檢漏的結果要符合條件：由受檢過濾器下風側測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率，對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器，應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。

人們認為這種單向、平行的氣流應該充滿整個潔凈室，但這在技術和經濟上都是不利的。隨著知識的發(fā)展，人們指出這種單向流動只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內沿著平行的流線勻速流動”，相信渦流的發(fā)生可以被盡可能的抑制。盡可能。以通過整個空間的潔凈空氣的單向流動特性為主的房間也稱為單向流動潔凈室。也就是說，不需要在整個房間內有單向平行流線、勻速、無渦流，而只需要單向平行流特性來支配房間，例如整個工作區(qū)水平空間保證單向流動，本房間為單向流動潔凈室。前面介紹的國內外相關標準和措施中單向流潔凈室所達到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達到的潔凈度。因此，密集布置的流線型擴壓器頂部進料和全孔板頂部進料也被用作實現(xiàn)垂直單向流動的手段。潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的任何問題都應立即記錄并跟蹤處理。

1工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內應只布置必要的工藝設備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產工藝和噪聲要求的前提下，對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內對空氣潔凈度要求嚴格的工序應布置在上風側，易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。4應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時，宜設有防止污染的措施，如氣閘室、傳遞窗等。6應設置單獨的物料入口，物料傳遞路線應極短，物料進人潔凈室（區(qū)）之前應進行清潔處理。層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。安徽口罩生產車間環(huán)境檢測誠信推薦

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D.3.2靜壓差測試，應符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區(qū))時，應從**里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應符合下列規(guī)定：1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數(shù)器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1um(0.5um)粒子，粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側應用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處，并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。山東排風柜檢測服務至上