潔凈室因其用途、氣流流型的不同,可分為各種不同冠名的潔凈室。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對象的潔凈室,通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)、精密機械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝、精細化工、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差應不小于4.9Pa,潔凈區(qū)與室外的靜壓差應不小于9.8Pa。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。作為生產(chǎn)設施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。上海排風柜檢測優(yōu)化價格
B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量??諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進行??諝鈽颖局械乃辛W泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點的風速與粒子速度兩者的關系,可測定粒子的空氣動力學直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。江蘇口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測服務至上使用激光塵埃粒子計數(shù)器可以精確測量空氣中的微粒濃度。
B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器(DPC)測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù),因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣;計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m;離散粒子計數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計數(shù)器采樣口的尺寸應適應等動力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計數(shù)器的采樣口應朝上,采樣口直徑應不小于30mm。設定計數(shù)器的粒徑范圍,使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應保留一個低于5μm(見GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中,濃度之和不應超過所用粒子計數(shù)器比較大濃度建議值的50%。
B.2.1.3粒徑限制器為獲得測量或驗證U描述符所需的計數(shù)效率特性,可在計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器的采樣管上,安裝一個粒徑限制器。改動后,計數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子,以準確且可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限制器多種多樣,其大小和配置各異,只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴散元件和虛擬撞擊器。透過率隨粒子的物理特性、限制器構造和體積流量而變化。因此,使用粒徑限制器時要小心,它們只能用于規(guī)定的流量,安裝時要防靜電累積。為了減少電荷累積,粒徑限制器應有良好的接地。檢測為送回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
潔凈室竣工驗收的外觀檢查應符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設備空調(diào)器、風機、凈化空調(diào)機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應正確、牢固、嚴密其偏差應符合有關規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應嚴密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風管系統(tǒng)及送、回風口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應嚴密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應符合有關規(guī)定。安裝驗證和操作驗證完成并進行確認工作后即進行性能驗證。江蘇排風柜檢測
它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。上海排風柜檢測優(yōu)化價格
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。上海排風柜檢測優(yōu)化價格