B.4.3.2送風口處測量的送風量為了排除送風口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風罩測量末端過濾器或送風散流器的總送風量。可使用配有流量計的風量罩直接測量,也可用風罩出風的風速乘以有效面積求出送風量。風罩的上開口應完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏風造成的讀數(shù)不準,風罩的上沿應密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計的風量罩,則可在風罩的出風端口直接測量各個末端過濾器或送風散流器的風量。。。。。。。使用激光塵埃粒子計數(shù)器可以精確測量空氣中的微粒濃度。山東生物安全柜檢測方便客戶
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數(shù),記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風量除以法凈室的容積求得安徽國內(nèi)檢測方便客戶工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。
15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規(guī)定:1總平面布置時,應核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設備、儀器的振動影響;2設有精密設備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;3對設有精密設備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設備及其管道,應采取主動隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設備、儀器,經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,應采取被動隔振措施。
1工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應只布置必要的工藝設備,以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴格的工序應布置在上風側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。4應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線,并預留設備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時,宜設有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應設置單獨的物料入口,物料傳遞路線應極短,物料進人潔凈室(區(qū))之前應進行清潔處理。潔凈室環(huán)境檢測依據(jù)行業(yè)標準及國家標準。
每臺風機出風面至少1點平均風速范圍:m/s±20%額定風量測定用風量罩測試送風量風量罩的上開口應完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風口,風機進風口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計設置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個過濾器和安裝所有邊框和接點。采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件:a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f)采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過濾器檢漏標準泄露率≤6.高效過濾器完整性檢測標準(高效過濾器檢漏標準)ISO14644-3。潔凈室檢測前,應對檢測區(qū)域進行充分清潔和消毒。北京潔凈工作臺檢測方便客戶
遵循GMP、ISO等國際標準進行潔凈室檢測,提升產(chǎn)品質(zhì)量信譽。山東生物安全柜檢測方便客戶
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。山東生物安全柜檢測方便客戶