9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施,其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應設置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設計均應遵循等電位聯(lián)結的原則,其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設,并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時,各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體,兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB50057的有關規(guī)定。在潔凈室設計時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應該實事求是。江蘇過濾器潔凈室檢測周期
D.3.10自凈時間檢測,應符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數(shù)器進行檢測,同時應符合下列要求.1)以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,定時讀數(shù)(一般可設置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準時,應將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n),可得到計算自凈時間(to),與實測自凈時間(t)進行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。安徽微生物潔凈室檢測第三方檢測機構激光粒子計數(shù)器需校準后用于0.5μm以上顆粒動態(tài)采樣。
隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴格,而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應的注射用水,對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設計是保證使用點水質(zhì)的關鍵。實踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響,同時,基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。
氣流模式可視化與層流驗證技術層流潔凈室需驗證單向氣流的均勻性和穩(wěn)定性,常用示蹤線法、粒子圖像測速技術(PIV)或煙霧測試。例如,ISO Class 5級層流罩需確保風速在0.45±0.1 m/s范圍內(nèi),且無渦流或死角。某半導體廠因層流罩風速不均導致晶圓污染,后通過調(diào)整風機頻率和導流板角度解決問題。氣流可視化檢測還需評估開門瞬間的氣流擾動,采用粒子計數(shù)器實時監(jiān)測粒子濃度恢復時間。FDA要求動態(tài)條件下驗證氣流模式,例如模擬人員走動或設備移動時的干擾。此外,回風口的位置和數(shù)量需根據(jù)房間布局優(yōu)化,避免形成低速區(qū)或逆流。潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設有上下技術夾層,上技術夾層內(nèi)設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線;下技術夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環(huán)空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產(chǎn)設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術層根據(jù)需要可為一層或二層。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。上海國內(nèi)潔凈室檢測分析
單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動。江蘇過濾器潔凈室檢測周期
壓差梯度與密封性驗證的實踐要點潔凈室需維持正壓梯度(如A級區(qū)>B級區(qū)>C級區(qū)),防止外部污染物侵入。檢測時使用微壓差計(精度±1Pa)沿潔凈走廊-氣閘間-生產(chǎn)區(qū)的路徑逐點測量,記錄并驗證壓差穩(wěn)定性。某疫苗生產(chǎn)車間因門頻繁開啟導致壓差波動超過±3Pa,引發(fā)交叉污染風險。整改措施包括安裝余壓閥和優(yōu)化人流管控,同時定期檢查門窗密封條完整性。FDA指南強調(diào),壓差系統(tǒng)需在動態(tài)條件下驗證,例如模擬設備故障或緊急開門場景。此外,回風管道的泄漏率需≤0.5%,可通過煙霧測試直觀評估氣流方向是否符合設計要求。江蘇過濾器潔凈室檢測周期