浙江電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負責(zé)

（七）室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器，設(shè)備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣對有噪聲設(shè)計要求的各個場所分別測定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下，非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA；單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA；潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定（1）測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計一般只測A聲級的數(shù)值。必要時測倍頻程聲壓級。（2）潔凈室面積在15m點采樣，除房間兩對角線相交的室中心位置外，另在房間四角對角線上對稱的選取4點。（3）執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號及標(biāo)準(zhǔn)實施日期。（4）被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標(biāo)圖。（5）被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑或沉降菌、浮游菌、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測潔凈室的溫濕度、噪聲。（6）測試用的儀器的編號和標(biāo)定征書測試方法細則及測試中的特殊情況.（7）測試結(jié)果包括在采樣點坐標(biāo)圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。（8）對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處***懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。浙江電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負責(zé)

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響上海電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負責(zé)潔凈室檢測不僅是合規(guī)要求，更是保障產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。

A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠離測試點，并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣，進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右，要均勻科學(xué)布點，而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點的數(shù)目都不得少于2個，總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點數(shù)，工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右，送風(fēng)口測點位置離開送風(fēng)面30cm左右，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點，每個采樣點一般采樣一次。

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高，因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn)，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室。混合流潔凈室：單向流和非單向的氣流的潔凈室。

B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標(biāo)區(qū)，其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對擴散元件透過率的計算，該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%，對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器（DPC）或凝聚核計數(shù)器（CNC）的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時，經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。通過潔凈室檢測，可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險。遼寧潔凈工作臺檢測優(yōu)化價格

潔凈室檢測數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合，綜合分析。浙江電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負責(zé)

單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室這個名詞是不貼切的，國外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點，例如英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室，只是照顧習(xí)慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語，并在注中指出，層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊（亂）流潔凈室而在當(dāng)時采用的習(xí)慣用語，“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動，而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中，這種流動狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個術(shù)語，在該術(shù)語后面同時也指出習(xí)慣上稱“層流”。浙江電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負責(zé)