潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應用于半導體生產(chǎn)、液晶螢幕生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準,隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。驗證生物潔凈室的步驟主要分為三個部分:1、驗證安裝;2、驗證操作;3、驗證性能。實驗室環(huán)境檢測認真負責
1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。4、食品工業(yè)潔凈用房:定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區(qū)截面風速、開發(fā)的洞口風速、新風量。湖北潔凈工作臺檢測哪家好空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低。
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū),其中心對應的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對擴散元件透過率的計算,該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器(CNC)的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時,經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計應符合下列規(guī)定:1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應按微振控制要求設(shè)計。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備及連接管道應采取主動隔振措施。3應測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時,可按現(xiàn)行國家標準《隔振設(shè)計規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。
單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當?shù)模瑖獾囊恍藴屎臀恼乱仓赋隽诉@一點。例如,英國標準BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標準VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當時使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學中,這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年,我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習慣上在該詞后稱其為“層流”。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測價格
工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。實驗室環(huán)境檢測認真負責
B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數(shù)量應足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點??墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復的讀數(shù),每點的測量時間應足夠長。對多個測點而言,應記錄風速測量平均時間。B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數(shù)量應足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點??墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復的讀數(shù),每點的測量時間應足夠長。對多個測點而言,應記錄風速測量平均時間。實驗室環(huán)境檢測認真負責