半導體凈化車間潔凈室檢測規(guī)范性強

D.3.7噪聲檢測，應符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試，應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū)）內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室（區(qū))照度檢測不應包括生產(chǎn)設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25m2設一個測點。單向流潔凈室靠送風氣流“活塞”般的擠壓作用，迅速把室內(nèi)污染排出。半導體凈化車間潔凈室檢測規(guī)范性強

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數(shù)量受到送風風口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設計照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設備有干擾時，也可采用其他形式光源。上海過濾器潔凈室檢測服務商不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。

5.1.1隨著科學技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計算機的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。

7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風速、結(jié)構(gòu)形式應根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應設置排水設施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：1應有良好的氣密性，漏風率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應有足夠的強度和剛度，內(nèi)表面應平整、光滑，外表面不應結(jié)露；3布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室（區(qū))服務時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組；送風機宜采取變頻調(diào)速措施。送風機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效(高中效）、高效(亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；5應設置排水裝置。潔凈室等級劃分世界各國均有自定規(guī)格。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設備、生產(chǎn)環(huán)境控制設施協(xié)調(diào)，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。安徽電子廠房環(huán)境潔凈室檢測誠信推薦

負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。半導體凈化車間潔凈室檢測規(guī)范性強

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規(guī)定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構(gòu)造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。半導體凈化車間潔凈室檢測規(guī)范性強