在清洗上,晶圓表面的潤(rùn)濕性對(duì)晶圓也會(huì)有一定的影響,親水性表面可以讓晶圓與清洗液更好地進(jìn)行接觸,達(dá)到更理想有效的清洗效果;反之,疏水性表面與清洗液接觸則會(huì)形成水珠狀液滴,造成清洗效果不佳,會(huì)對(duì)后續(xù)的工藝造成不良影響,導(dǎo)致?lián)p失。因此,表面接觸角的測(cè)量成為了晶圓制造過程中不可或缺的步驟。在半導(dǎo)體晶圓材料的生產(chǎn)和制造過程中,表面的潤(rùn)濕性是至關(guān)重要的。例如,當(dāng)晶圓上的微電子器件需要被沉積或鍍膜時(shí),若表面潤(rùn)濕性不良,則會(huì)導(dǎo)致涂層厚度不均或成膜缺陷等問題。接觸角測(cè)量?jī)x不僅支持靜態(tài)接觸角的測(cè)量,還具備動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量的能力。重慶材料接觸角測(cè)量?jī)x技術(shù)指導(dǎo)
水滴角是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所做的氣-液界面的切線,切線在液體一方的與固-液交接線之間的夾角,是潤(rùn)濕程度的主要量化方式.水滴角測(cè)試現(xiàn)如今已經(jīng)廣泛應(yīng)用于石油工業(yè)、浮選工業(yè)、醫(yī)藥材料、芯片產(chǎn)業(yè)、低表面能無毒防污材料、油墨、化妝品、農(nóng)藥、印染、造紙、織物整理、洗滌劑等各個(gè)領(lǐng)域.水滴角是表征固體材料的物理化學(xué)性質(zhì)的主要指標(biāo)。長(zhǎng)期以來,在測(cè)試水滴角值的過程并生成接水滴角測(cè)試儀的測(cè)試報(bào)告時(shí),將目光更多的關(guān)注到了角度值本身,通常情況下,如果接觸角角度值低于60度,就視該樣品為親水性樣品,如果水接觸角值高于60度,則該樣品視為疏水樣品;如果水接觸角值高于120度時(shí),則該樣品可以被視為超疏水接觸角值。湖北接觸角測(cè)量?jī)x售后服務(wù)全自動(dòng)系列專注于自動(dòng)多功能測(cè)量。一鍵式全自動(dòng)批量檢測(cè);多點(diǎn)編程式控制系統(tǒng),可直接搭配流水線使用。
接觸角的概念:所謂接觸角就是固一液界面與氣一液界面之切線在三相點(diǎn)處的夾角。接觸角的大小決定了潤(rùn)濕程度,接觸角本身取決于界面張力的相對(duì)大小。固體表面能被液體潤(rùn)濕,接觸角越?。疂?rùn)濕性越大,鋪展性也愈大,當(dāng)接觸角為零時(shí),叫完全潤(rùn)濕;固體表面不被液體潤(rùn)濕,說明接觸角越大,潤(rùn)濕性越小,輔展性越小,液面易收縮成球形。當(dāng)接觸角等于180度時(shí),叫完全不潤(rùn)濕。必須指出,潤(rùn)濕與不潤(rùn)濕是一種相對(duì)的概念,沒有不潤(rùn)濕物質(zhì),它們只是程度上的差異。習(xí)慣上是這樣區(qū)分的:接觸角<90度稱為潤(rùn)濕;接觸角>90度,稱為不潤(rùn)濕;接觸角等于零度,叫完全潤(rùn)濕;接觸角=180度,叫完全不潤(rùn)濕。以上所指的接觸角也叫平衡接觸角,它沒有考慮表面上的阻力,對(duì)一個(gè)彎曲液面,由于表面張力的作用。迫使彎曲液面向內(nèi)收縮而產(chǎn)生一種額外的壓力,這種額外的壓力叫做附加壓力,附加壓力的方向始終指向曲率中心,注意附加壓力只發(fā)生在彎曲液面上。
這些材料如何通過接觸角測(cè)量呢?1、涂層技術(shù):在涂層工業(yè)中,接觸角測(cè)量可用于評(píng)估涂層的性能,例如涂層的附著力、耐腐蝕性以及防污性能。如薄膜材料需要親水性強(qiáng),需要用接觸角量化材料的疏水角度,從而進(jìn)行表面改性。2、接觸角在生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用:在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,接觸角測(cè)量可以用于研究生物液體(如血液、細(xì)胞培養(yǎng)液)與生物材料(如假體、醫(yī)療設(shè)備)之間的相互作用,有助于了解生物界面的性質(zhì)。如果表面疏水,更有利于液滴能順利的滑落。3、半導(dǎo)體晶圓的潤(rùn)濕性研究:接觸角測(cè)量被用于研究半導(dǎo)體晶圓材料表面的潤(rùn)濕性能,作為下一道工序的應(yīng)用,即液滴在固體表面上展開或凝聚的能力。這對(duì)于理解液體在微納米尺度上的行為非常重要。4、納米技術(shù):在納米尺度的研究中,表面現(xiàn)象和液體行為變得更加明顯,接觸角測(cè)量可以幫助研究人員了解納米尺度上的液體-固體相互作用。5、材料表面性質(zhì)研究:接觸角測(cè)量可以用來研究材料的表面性質(zhì),比如固體表面的親水性或疏水性。這些信息對(duì)于選擇合適的材料、設(shè)計(jì)涂層以及改進(jìn)材料性能都非常有價(jià)值。接觸角越大,表示材料表面越疏水,接觸角越小則材料表面越親水。
接觸角測(cè)量?jī)x通過光學(xué)投影的原理,對(duì)氣、液、固三相界面輪廓進(jìn)行保真采集精密分析。接觸角測(cè)量?jī)x測(cè)試方法包括座滴法、增液/縮液法、傾斜法、懸滴法、纖維裹附法、氣泡捕獲法、批量擬合法、插板法等。“座滴法”是指液滴坐落在固體表面的測(cè)試方法,又分為靜態(tài)接觸角與動(dòng)態(tài)接觸角兩種測(cè)量方式。當(dāng)液滴在固體表面達(dá)到穩(wěn)定,沒有明顯的潤(rùn)濕或吸收行為時(shí),即為此樣品的靜態(tài)接觸角?!皟A斜法”是測(cè)量前進(jìn)角和后退角的其中一種方法,可以通過傾斜樣平臺(tái)或傾斜整個(gè)儀器來完成。當(dāng)液滴開始移動(dòng)時(shí),液滴前端角度為前進(jìn)角,后端角度為后退角。接觸角測(cè)量?jī)x可以用于評(píng)估生物材料表面的潤(rùn)濕性和親水性等性質(zhì),和生物材質(zhì)的表面特性。表面接觸角測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)
視頻光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x在芯片材料——光刻膠的研發(fā)生產(chǎn)中起著關(guān)鍵作用。重慶材料接觸角測(cè)量?jī)x技術(shù)指導(dǎo)
接觸角分為靜態(tài)接觸角和動(dòng)態(tài)接觸角。靜態(tài)接觸角是指液體與固體表面相接觸時(shí),所形成的接觸角,不隨時(shí)間變化。接觸角測(cè)量?jī)x可以通過將固體樣品放置在水滴上并記錄其與固體表面接觸時(shí)的水滴形狀來測(cè)量靜態(tài)接觸角。該儀器會(huì)自動(dòng)計(jì)算出水滴與固體表面之間的夾角,從而得到靜態(tài)接觸角的值。該設(shè)備功能齊全、拓展性能非常高的接觸角產(chǎn)品,具有出色的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)接觸角分析功能,能解決常規(guī)接觸角測(cè)量,表/界面張力測(cè)量中的問題,可以出色的完成研究性的應(yīng)用。重慶材料接觸角測(cè)量?jī)x技術(shù)指導(dǎo)