電子束焊接常用于高精度、高性能焊接件的制造，如航空航天領(lǐng)域的零部件焊接。其質(zhì)量檢測(cè)至關(guān)重要，首先從外觀上檢查焊縫表面，觀察是否光滑，有無(wú)明顯的咬邊、飛濺等缺陷。內(nèi)部質(zhì)量檢測(cè)多采用射線探傷技術(shù)，由于電子束焊接焊縫深寬比大、熱影響區(qū)小，射線探傷能檢測(cè)出內(nèi)部可能存在的微小氣孔、裂紋等缺陷。在檢測(cè)航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的電子束焊接部位時(shí)，利用 X 射線探傷設(shè)備，對(duì)焊縫進(jìn)行掃描。通過(guò)分析射線底片上的影像，可清晰分辨出缺陷的特征。此外，還會(huì)對(duì)焊接接頭進(jìn)行金相組織分析，觀察電子束焊接特有的快速凝固組織形態(tài)，判斷組織是否均勻，有無(wú)異常相析出。通過(guò)這些檢測(cè)手段，確保電子束焊接的航空零部件質(zhì)量可靠，滿足航空航天領(lǐng)域?qū)�焊接件高可靠性的�?yán)苛要求。

對(duì)于一些對(duì)密封性要求極高的焊接件，如真空設(shè)備、航空發(fā)動(dòng)機(jī)燃油系統(tǒng)的焊接部位，氦質(zhì)譜檢漏是常用的檢測(cè)方法。該方法利用氦氣分子小、擴(kuò)散性強(qiáng)的特點(diǎn)，將氦氣充入焊接件內(nèi)部，然后使用氦質(zhì)譜檢漏儀在焊接件外部檢測(cè)是否有氦氣泄漏。檢測(cè)時(shí)，先將焊接件密封在一個(gè)密閉容器內(nèi)，向容器內(nèi)充入一定壓力的氦氣，使氦氣滲透到焊接件的缺陷處。氦質(zhì)譜檢漏儀通過(guò)檢測(cè)氦氣的泄漏量，可精確判斷焊接件是否存在微小泄漏以及泄漏的位置。其檢測(cè)精度極高，可達(dá) 10Pam/s 甚至更低。在半導(dǎo)體制造行業(yè)，真空設(shè)備的焊接件若存在微小泄漏，會(huì)影響設(shè)備內(nèi)的真空度，進(jìn)而影響半導(dǎo)體制造工藝。通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并修復(fù)泄漏點(diǎn)，確保真空設(shè)備的密封性，*半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。