福建油性光刻膠品牌 吉田半導體供應

發(fā)貨地點:廣東省東莞市

發(fā)布時間:2025-05-12

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詳細信息

廣東吉田半導體材料有限公司成立于 2023 年,總部位于東莞松山湖經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū),注冊資本 2000 萬元。作為高新企業(yè)和廣東省專精特新企業(yè),公司專注于半導體材料的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,產(chǎn)品線覆蓋芯片光刻膠、LCD 光刻膠、納米壓印光刻膠、半導體錫膏、焊片及靶材等領域。其光刻膠產(chǎn)品以高分辨率、耐蝕刻性和環(huán)保特性著稱,廣泛應用于芯片制造、顯示面板及精密電子元件生產(chǎn)。

公司依托 23 年行業(yè)經(jīng)驗積累,構建了完整的技術研發(fā)體系,擁有全自動化生產(chǎn)設備及多項技術。原材料均選用美國、德國、日本進口的材料,并通過 ISO9001:2008 質(zhì)量管理體系認證,生產(chǎn)流程嚴格執(zhí)行 8S 現(xiàn)場管理標準,確保產(chǎn)品穩(wěn)定性與一致性。目前,吉田半導體已與多家世界 500 強企業(yè)及電子加工企業(yè)建立長期合作,產(chǎn)品遠銷全球市場,致力于成為半導體材料領域的企業(yè)。
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化學反應:

正性膠:曝光后光敏劑(如重氮醌DQN)分解,生成羧酸,在堿性顯影液中溶解;

負性膠:曝光后光敏劑引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構。

5. 顯影(Development)

顯影液:

正性膠:堿性水溶液(如0.26N四甲基氫氧化銨TMAH),溶解曝光區(qū)域;

負性膠:有機溶劑(如二甲苯、醋酸丁酯),溶解未曝光區(qū)域。

方法:噴淋顯影(PCB)或沉浸式顯影(半導體),時間30秒-2分鐘,需控制顯影液濃度和溫度。

6. 后烘(Post-Bake)

目的:固化膠膜,提升耐蝕刻性和熱穩(wěn)定性。

條件:

溫度:100-150℃(半導體用正性膠可能更高,如180℃);

時間:15-60分鐘(厚膠或高耐蝕需求時延長)。

7. 蝕刻/離子注入(后續(xù)工藝)

蝕刻:以膠膜為掩膜,通過濕法(酸堿溶液)或干法(等離子體)刻蝕基板材料(如硅、金屬、玻璃);

離子注入:膠膜保護未曝光區(qū)域,使雜質(zhì)離子只能注入曝光區(qū)域(半導體摻雜工藝)。

8. 去膠(Strip)

方法:

濕法去膠:強氧化劑(如硫酸+雙氧水)或有機溶劑(如N-甲基吡咯烷酮NMP);

干法去膠:氧等離子體灰化(半導體領域,無殘留)。

福建油性光刻膠品牌光刻膠新興及擴展應用。

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 晶圓制造(前道工藝)

功能:在硅片表面形成高精度電路圖形,是光刻工藝的主要材料。

細分場景:

邏輯/存儲芯片:用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻膠(分辨率0.25-1μm)、14nm以下先進制程的ArF浸沒式光刻膠(分辨率≤45nm),以及極紫外(EUV)光刻膠(目標7nm以下,研發(fā)中)。

功率半導體(如IGBT):使用厚膜光刻膠(膜厚5-50μm),滿足深溝槽刻蝕需求。

MEMS傳感器:通過高深寬比光刻膠(如SU-8)實現(xiàn)微米級結(jié)構(如加速度計、陀螺儀的懸臂梁)。

 芯片封裝(后道工藝)

先進封裝技術:

Flip Chip(倒裝芯片):用光刻膠形成凸點(Bump)下的 Redistribution Layer(RDL),線寬精度要求≤10μm。

2.5D/3D封裝:在硅通孔(TSV)工藝中,光刻膠用于定義通孔開口(直徑5-50μm)。

技術研發(fā):從配方到工藝的經(jīng)驗壁壘

 配方設計的“黑箱效應”
光刻膠配方涉及成百上千種成分的排列組合,需通過數(shù)萬次實驗優(yōu)化。例如,ArF光刻膠需在193nm波長下實現(xiàn)0.1μm分辨率,其光酸產(chǎn)率、熱穩(wěn)定性等參數(shù)需精確匹配光刻機性能。日本企業(yè)通過數(shù)十年積累形成的配方數(shù)據(jù)庫,國內(nèi)企業(yè)短期內(nèi)難以突破。

 工藝控制的極限挑戰(zhàn)
光刻膠生產(chǎn)需在百級超凈車間進行,金屬離子含量需控制在1ppb以下。國內(nèi)企業(yè)在“吸附一重結(jié)晶一過濾一干燥”耦合工藝上存在技術短板,導致產(chǎn)品批次一致性差。例如,恒坤新材的KrF光刻膠雖通過12英寸產(chǎn)線驗證,但量產(chǎn)良率較日本同類型產(chǎn)品低約15%。

 EUV光刻膠的“代際鴻溝”
EUV光刻膠需在13.5nm波長下工作,傳統(tǒng)有機光刻膠因吸收效率低、熱穩(wěn)定性差面臨淘汰。國內(nèi)企業(yè)如久日新材雖開發(fā)出EUV光致產(chǎn)酸劑,但金屬氧化物基光刻膠(如氧化鋅)的納米顆粒分散技術尚未突破,導致分辨率達10nm,而國際水平已實現(xiàn)5nm。
吉田質(zhì)量管控與認證壁壘。

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廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,主要涵蓋厚板、負性、正性、納米壓印及光刻膠等類別,以滿足不同領域的需求。

厚板光刻膠:JT-3001 型號,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好,符合歐盟 ROHS 標準,保質(zhì)期 1 年。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,如特定電路板制造。

負性光刻膠

  • SU-3 負性光刻膠:分辨率優(yōu)異,對比度良好,曝光靈敏度高,光源適應,重量 100g。常用于對曝光精度和光源適應性要求較高的微納加工、半導體制造等領域。
  • 負性光刻膠 JT-1000:有 1L 和 100g 兩種規(guī)格,具有優(yōu)異的分辨率、良好的對比度和高曝光靈敏度,光源適應。主要應用于對光刻精度要求高的領域,如半導體器件制造。
  • 耐腐蝕負性光刻膠 JT-NF100:重量 1L,具備耐腐蝕特性。適用于有腐蝕風險的光刻工藝,如特殊環(huán)境下的半導體加工或電路板制造。


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產(chǎn)品優(yōu)勢:多元化布局與專業(yè)化延伸

 全品類覆蓋
吉田產(chǎn)品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導體錫膏等,形成“光刻膠+配套材料”的完整產(chǎn)品線。例如:

芯片光刻膠:覆蓋i線、g線光刻膠,適用于6英寸、8英寸晶圓制造。

納米壓印光刻膠:用于MEMS、光學器件等領域,替代傳統(tǒng)光刻工藝。

 專業(yè)化延伸
公司布局半導體用KrF光刻膠,計劃2025年啟動研發(fā),目標進入中芯國際、長江存儲等晶圓廠供應鏈。

質(zhì)量與生產(chǎn)優(yōu)勢:嚴格品控與自動化生產(chǎn)

 ISO認證與全流程管控
公司通過ISO9001:2008質(zhì)量體系認證,生產(chǎn)環(huán)境執(zhí)行8S管理,原材料采用美、德、日進口高質(zhì)量材料,確保產(chǎn)品批次穩(wěn)定性。
質(zhì)量指標:光刻膠金屬離子含量低于0.1ppb,良率超99%。

 自動化生產(chǎn)能力
擁有行業(yè)前列的全自動化生產(chǎn)線,年產(chǎn)能達2000噸(光刻膠及配套材料),支持大規(guī)模訂單交付。

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