二次離子質(zhì)譜(SIMS)能夠?qū)饘俨牧线M行深度剖析,精確分析材料表面及內(nèi)部不同深度處的元素組成和同位素分布。該技術(shù)通過用高能離子束轟擊金屬樣品表面,使表面原子濺射出來并離子化,然后通過質(zhì)譜儀對二次離子進行分析。在半導體制造中,對于金屬互連材料,SIMS 可用于檢測金屬薄膜中的雜質(zhì)分布以及金屬與半導體界面處的元素擴散情況,這對于提高半導體器件的性能和可靠性至關(guān)重要。在金屬材料的腐蝕研究中,SIMS 能夠分析腐蝕產(chǎn)物在材料表面和內(nèi)部的分布,深入了解腐蝕機制,為開發(fā)更有效的腐蝕防護方法提供依據(jù)。
超聲波探傷是一種廣泛應用于金屬材料內(nèi)部缺陷檢測的無損檢測技術(shù)。其原理是利用超聲波在金屬材料中傳播時,遇到缺陷(如裂紋、氣孔、夾雜物等)會發(fā)生反射、折射和散射的特性。探傷儀產(chǎn)生高頻超聲波,并通過探頭將其傳入金屬材料內(nèi)部,然后接收反射回來的超聲波信號。根據(jù)信號的特征,如反射波的幅度、傳播時間等,判斷缺陷的位置、大小和形狀。超聲波探傷具有檢測靈敏度高、檢測速度快、對人體無害等優(yōu)點。在航空航天領域,對金屬結(jié)構(gòu)件進行超聲波探傷至關(guān)重要。例如飛機的機翼、機身等關(guān)鍵部件,在制造和使用過程中,通過定期的超聲波探傷檢測,能及時發(fā)現(xiàn)內(nèi)部可能存在的微小缺陷,避免這些缺陷在飛機飛行過程中擴展導致嚴重的安全事故,保障飛機的飛行安全。