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發(fā)布時(shí)間:2024-08-12
濺射靶材開(kāi)裂原因生產(chǎn)中使用的冷卻水溫度與鍍膜線(xiàn)實(shí)際水溫存在差異,導(dǎo)致使用過(guò)程中靶材開(kāi)裂。一般來(lái)說(shuō),輕微的裂紋不會(huì)對(duì)鍍膜生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。但當(dāng)靶材有明顯裂紋時(shí),電荷很容易集中在裂紋邊緣,導(dǎo)致靶材表面異常放電。放電會(huì)導(dǎo)致落渣、成膜異常、產(chǎn)品報(bào)廢增加。陶瓷或脆性材料靶材始終含有固有應(yīng)力。這些內(nèi)應(yīng)力是在靶材制造發(fā)展過(guò)程中可以產(chǎn)生的。此外,這些應(yīng)力不會(huì)被退火過(guò)程完全消除,因?yàn)檫@是這些材料的固有特性。在濺射過(guò)程中,氣體離子被轟擊以將它們的動(dòng)量傳遞給目標(biāo)原子,提供足夠的能量使其從晶格中逃逸。這種放熱動(dòng)量轉(zhuǎn)移使靶材溫度升高,在原子水平上可能達(dá)到極高的溫度。這些熱沖擊將靶材中已經(jīng)發(fā)展存在的內(nèi)應(yīng)力將會(huì)增加到許多倍。在這種情況下,如果不適當(dāng)散熱,靶材就可能會(huì)斷裂。二、濺射靶材開(kāi)裂應(yīng)對(duì)事項(xiàng)為了防止靶材開(kāi)裂,需要著重考慮的是散熱。需要水冷卻機(jī)構(gòu)以從靶去除不需要的熱能。另一個(gè)需要考慮的問(wèn)題是功率的增加。短時(shí)間內(nèi)施加過(guò)大的功率也會(huì)對(duì)目標(biāo)造成熱沖擊。此外,黑龍江氧化鋅陶瓷靶材價(jià)格咨詢(xún),我們建議將靶材粘合到背板上,黑龍江氧化鋅陶瓷靶材價(jià)格咨詢(xún),黑龍江氧化鋅陶瓷靶材價(jià)格咨詢(xún),這不僅為靶材提供了支撐,而且促進(jìn)了靶材與水之間更好的熱交換。如果目標(biāo)有一個(gè)裂紋,但它是粘接到背板上,仍可以正常使用。在顯示面板和觸控屏兩個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節(jié)需要使用靶材,主要用于ITO玻璃及觸控屏電極,用量比較大的是ITO靶材。黑龍江氧化鋅陶瓷靶材價(jià)格咨詢(xún)
陶瓷靶材的制備工藝烘料:稱(chēng)量前將起始原料置于烘箱中烘料3~6小時(shí),烘料溫度為100~120℃;配料:將烘干的原料按照相應(yīng)的化學(xué)計(jì)量比稱(chēng)量;球磨:將稱(chēng)量好的原料以某種制備方式混料,混料時(shí)間為4~12小時(shí),制成均勻漿料;干燥:將制得的均勻漿料烘干;煅燒:將烘干的粉料過(guò)篩并輕壓成塊狀坯體置于馬弗爐中,在800~950℃煅燒4~8小時(shí),制成煅燒粉料;球磨:將煅燒后的粉料研磨成細(xì)粉,再次球磨、烘干得到陶瓷粉料;制坯:將制成的陶瓷粉料采用鋼模手壓成直徑5~20mm、厚度約0.5~1.2mm的樣片,將樣片放入冷等靜壓機(jī)中,施加200~350MPa的壓力,保壓60~180s,制成所得陶瓷坯體;燒結(jié):將制成的陶瓷坯體置于馬弗爐中,在1100~1200℃燒結(jié)4~6小時(shí);冷卻:自然冷卻至室溫,即制得某種陶瓷靶材.注:提供的溫度、時(shí)間只當(dāng)做參考數(shù)據(jù).陶瓷靶材的特性要求純度:陶瓷靶材的純度對(duì)濺射薄膜的性能影響很大,純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產(chǎn)品的質(zhì)量的一致性越好.密度:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度.成分與結(jié)構(gòu)均勻性:為保證濺射薄膜均勻,尤其在復(fù)雜的大面積鍍膜應(yīng)用中,必須做到靶材成分與結(jié)構(gòu)均勻性好.重慶氧化物陶瓷靶材一般多少錢(qián)江蘇迪納科精細(xì)材料股份有限公司是一家主要生產(chǎn)和銷(xiāo)售陶瓷,金屬,合金等各類(lèi)型靶材。
從整體上看,ITO在光電綜合性能上高于AZO靶材,但AZO靶材的優(yōu)勢(shì)或?qū)榘胁膸?lái)降本空間。在相關(guān)實(shí)驗(yàn)中利用AZO靶材和ITO靶材制備了3組實(shí)驗(yàn)薄膜(共6份樣品)。實(shí)驗(yàn)中主要從光學(xué)性能和電學(xué)性能上對(duì)AZO薄膜和ITO薄膜進(jìn)行了對(duì)比。在特定情況下AZO靶材與ITO靶材電學(xué)性能差距縮小。根據(jù)比較終實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)來(lái)看,AZO薄膜和ITO薄膜的方塊電阻以及電阻率隨著薄膜的厚度增加而降低,并且隨著薄膜厚度的增加,AZO薄膜與ITO薄膜方塊電阻以及電阻率之間的差距逐步縮小。當(dāng)AZO薄膜厚度為640nm時(shí),方塊電阻以及電阻率為32Ωsq-1和20.48*10-4Ωcm。AZO薄膜光學(xué)性能優(yōu)于ITO薄膜。ITO薄膜的光學(xué)性能隨著厚度的增加明顯變差,但是對(duì)于AZO薄膜,透射率并沒(méi)有隨著厚度的增加而明顯下降,在厚度為395nm時(shí),高透射率光譜范圍比較寬,可見(jiàn)光區(qū)平均透射率比較高,光學(xué)總體性能比較好,可充當(dāng)透射率要求在85%以上的寬光譜透明導(dǎo)電薄膜的光學(xué)器件
靶材間隙對(duì)大面積鍍膜的影響除了致密化,如果靶材在生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)異常,大顆粒會(huì)因受熱而脫落或縮孔。結(jié)果會(huì)形成更多的氣孔(內(nèi)部缺陷),靶材中更大或更密的氣孔會(huì)因電荷集中而放電,影響使用。靶材密度低,加工、運(yùn)輸或安裝時(shí)氣孔易破裂。相對(duì)密度高、孔隙少的靶材具有良好的導(dǎo)熱性。濺射靶材表面的熱量很容易快速傳遞到靶材或襯板內(nèi)表面的冷卻水中,保證了成膜過(guò)程的穩(wěn)定性。濺射靶材的純度對(duì)薄膜的性能有很大的影響。當(dāng)潔凈的基材進(jìn)入高真空鍍膜室時(shí),如果在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下靶材純度不夠。那樣的話(huà),靶材中的雜質(zhì)粒子會(huì)在濺射過(guò)程中附著在玻璃表面,導(dǎo)致某些位置的膜層不牢固,出現(xiàn)剝離現(xiàn)象。因此,靶材的純度越高,薄膜的性能就越好。冷等靜壓法制備ITO靶材優(yōu)點(diǎn)。
靶材作為半導(dǎo)體、顯示面板、光伏電池等的關(guān)鍵原料,預(yù)計(jì)2025年全球市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)333億美元,從下游來(lái)看,能夠認(rèn)為半導(dǎo)體靶材市場(chǎng)、顯示面板靶材市場(chǎng)以及光伏面板靶材市場(chǎng)未來(lái)成長(zhǎng)空間較大,國(guó)產(chǎn)替代需求強(qiáng)烈。而HJT電池靶材有望快速實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代國(guó)產(chǎn)靶材廠商有望在HJT電池時(shí)代實(shí)現(xiàn)靶材上的彎道超車(chē)。對(duì)于異質(zhì)結(jié)電池這個(gè)全新領(lǐng)域,靶材還未大規(guī)模應(yīng)用,考慮到電池廠商與海外企業(yè)合作研發(fā)效率較低,同時(shí)隆華科技等國(guó)內(nèi)的靶材廠商品質(zhì)已經(jīng)在顯示面板領(lǐng)域得到充分展現(xiàn)。因此從HJT電池靶材應(yīng)用源頭開(kāi)始,HJT電池靶材國(guó)產(chǎn)化就已先行一步。ITO靶材是將氧化銦和氧化錫粉末按比例混合后經(jīng)過(guò)生產(chǎn)加工成型,再高溫氣氛燒結(jié)形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。陜西智能玻璃陶瓷靶材咨詢(xún)報(bào)價(jià)
靶材開(kāi)裂影響因素裂紋形成通常發(fā)生在陶瓷濺射靶材和脆性材料濺射靶材(如鉻、銻、鉍等)中。黑龍江氧化鋅陶瓷靶材價(jià)格咨詢(xún)
氧化鋁薄膜是一種重要的功能薄膜材料,由于具有較高的介電常數(shù)、高熱導(dǎo)率、抗輻照損傷能力強(qiáng)、抗堿離子滲透能力強(qiáng)以及在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)透明等諸多優(yōu)異的物理、化學(xué)性能,使其在微電子器件、電致發(fā)光器件、光波導(dǎo)器件以及抗腐蝕涂層等眾多領(lǐng)域有著廣的應(yīng)用。磁控濺射具有濺射鍍膜速度快,膜層致密,附著性好等特點(diǎn),很適合于大批量,高效率工業(yè)生產(chǎn)等明顯優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用日趨廣,成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中主要的技術(shù)之一。濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電場(chǎng)的作用下,對(duì)陰極靶材表面進(jìn)行轟擊,把靶材表面的分子、原子、離子及電子等濺射出來(lái),被濺射出來(lái)的粒子帶有一定的動(dòng)能,沿一定的方向射向基體表面,在基體表面形成鍍層。用這種技術(shù)制備氧化鋁膜時(shí)一般都以純鋁為靶材,濺射用的惰性氣體通常選擇氬氣(Ar),因?yàn)樗臑R射率比較高。用氬離子轟擊鋁靶并通入氧氣,濺射出的鋁離子和電離得到的氧離子沉積到基片上從而得到氧化鋁膜。按磁控濺射中使用的離子源不同,磁控濺射方法有以下幾種:①直流反應(yīng)磁控濺射;②脈沖磁控濺射;③射頻磁控濺射;④微波-ECR等離子體增強(qiáng)磁控濺射;⑤交流反應(yīng)磁控濺射等。黑龍江氧化鋅陶瓷靶材價(jià)格咨詢(xún)
迪納科材料,2011-07-22正式啟動(dòng),成立了濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等幾大市場(chǎng)布局,應(yīng)對(duì)行業(yè)變化,順應(yīng)市場(chǎng)趨勢(shì)發(fā)展,在創(chuàng)新中尋求突破,進(jìn)而提升迪納科,迪丞,東玖,靶材的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,把握市場(chǎng)機(jī)遇,推動(dòng)電子元器件產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步。旗下迪納科,迪丞,東玖,靶材在電子元器件行業(yè)擁有一定的地位,品牌價(jià)值持續(xù)增長(zhǎng),有望成為行業(yè)中的佼佼者。隨著我們的業(yè)務(wù)不斷擴(kuò)展,從濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等到眾多其他領(lǐng)域,已經(jīng)逐步成長(zhǎng)為一個(gè)獨(dú)特,且具有活力與創(chuàng)新的企業(yè)。公司坐落于南京市江寧區(qū)芳園西路10號(hào)九龍湖國(guó)際企業(yè)園創(chuàng)新中心A座8層,業(yè)務(wù)覆蓋于全國(guó)多個(gè)省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。